CS200046B1 - Způsob zviditelnění plenární dufúzní struktury na povrchu křemíku - Google Patents

Description

Vynález se týká způsobu zviditelnění plenární difúzní struktury na povrchu křemíku při aelektlvhí difúzi příměsi z plynné směsi sloučenin obsahujících vázaný chlór do povrchu křemíku s oxidovou maskou.

Dosavadní způsob pro kontaktování struktur používá rozlišení pomocí leptání křemíku v kyselém prostředí směsí kyselin obsahujících kyselinu fluorovodíkovou HP a kyselinu dusičnou HNOj přes resistovou masku. Leptáním vzniká struktura výstupků, která je zachována i po difúzi a Je využita pro nastaveni kontaktních masek. Nevýhodu tohoto postupu je, že /· · pro dobrou viditelnost plošně členěné struktury je potřebné oleptat dostatečně silnou vrstvu křemíku (3 až 5/Um u broušeného povrchu). Jinou používanou metodou je tak zvaná reoxidaoe povrchu křemíku, kdy ke zviditelnění struktury dochází následujícím ppááupem. Nejprve Je provoděna oxidace, maska a vyleptání oxidu přes resistovou masku a potom následuje druhá oxidace, při která na míatech, jež byly oleptány, naroste nová vrstva oxidu. Fo aplikaci póvé masky stejného tvaru jako v prvním stupni procesu dojde ke zviditelnění plenární dlt fúzní struktury. Nevýhodou uvedeného postupu Je časově náročná dvojnásobná oxidace a maskování. Rovněž je znám postup selektivní difúze z plynná směsi sloučenin obsahujících vázaný fosfor, například POCly Tato difúze je běžně používaná a nosným plynem obsahujícím směs kyslíku Oga dusíku Ng, který nemění složení po celou dobu difúze.

Nevýhody výše uvedených způsobů odstraňuje způsob podle vynálezu, který řeží daný úkol

200 046 tak, že během poslední třetiny difuzní doby se v difúzním prostoru vytvoří neoxidační prostředí s maximálním obsahem 0,1 % objemových kyslíku 0^·

Zviditelnění plošná členěné struktury polovodičové součástky podle vynálezu je provedeno při difúzní operaci upravením reakčních podmínek difúze s použitím difuzantů obsahujících vázaný chlór. Z_a nepřítomnosti kyslíku v nosném plynu vzniká termálním rozkladem jako jeden z produktů rozkladu volný chlór, který leptá křemík. Kysličník křemičitý pasivuje křemík před účinky volného chloru. Vlivem leptání křemíku dochází ke změně drsnosti povrchu, které se při osvícení v mikroskopu jeví jako změna kontrastu, ^roti kyselému lep·, tání nedocházelo ke znatelnému hloubkovému Leptání a tím odstranění nejvýše dotované vrstvy. Dalěí výhodou je větěí reprodukovatelnost postupu, výraznější odlišení plošné členěné struktury, meněí pracnost a úspora chemikálií proti dosavadnímu způsobu. ^Aovněž technologický proces výroby je jednodušší.

Příklad provedení

Pro difúzi fosforu n+ emitoru na struktuře tyristorů se používá difúze fosforu z kapalného oxychloridu fosforečného POCly Difúze probíhá po dobu 2 hodin při teplotě difúze 1 230 °C Nosný plyn má průtok dusíku 1 1/mln, 0,1 l/mln kyslíku a je sycen parami oxichloridu fosforečného. Sycení probíhá při teplotě difuzantu 4-15 °C a průtokem 0,1 1/min dusíku. £ro optické rozlišení difúzní struktury je v poslední hodině difúze zastaven průtok kyslíku.

Po oleptání skloviny v kyselině fluorovodíkové je destička bez dalěích operací připravena pro běžný způsob kontaktování.

Uvedeného postupu lze využít i pro difúzi B, Aa za předpokladu použití difuzantů obsahujících vázaný chlor anebo přidáním chlozu, do průtoku o koncentraci 1 % za nepřítomnosti plynného kyslíku.

Claims (1)

1. PŘEDMĚT VYNÁLEZU

   Způsob zviditelnění plenární difúzní struktury na povrchu křemíku při selektivní difúzi příměsí z plynné aměei sloučenin obsahujících vázaný chlor do povrchu křemíku s oxidovou maskou jejich termálním rozkladem, vyznačený tím, že během poslední třetiny difúzní doby se v difúzním prostoru vytvoří neoxidační prostředí s maximálním obsahem 0, 1 % obj. kyslíku Og.