CN85200140U - 高效抽氢致冷机低温泵 - Google Patents
高效抽氢致冷机低温泵 Download PDFInfo
- Publication number
- CN85200140U CN85200140U CN 85200140 CN85200140U CN85200140U CN 85200140 U CN85200140 U CN 85200140U CN 85200140 CN85200140 CN 85200140 CN 85200140 U CN85200140 U CN 85200140U CN 85200140 U CN85200140 U CN 85200140U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- cold
- battle array
- parts
- baffle plate
- blade
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Images
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
本发明属于真空技术领域。
各种制冷机低温泵都普遍存在着对氢等非凝性气体的抽气效率较低的弱点。本发明提供了一种具有较高抽氢效率的新型结构的致冷机低温泵。该泵采用了房顶式人字形挡板，板状立式百叶窗挡板和板状立式人字形抽气部件，使泵对氢等非凝性气体的抽气效率大大优于同类泵。这种泵可用于任何需要清洁超高真空环境的场合。
Description
本发明属于真空技术领域。
致冷机低温泵由一级冷阵、二级冷阵和泵壳三个部分组成，泵的结构是影响主要工作性能的决定因素，现有的各种致冷机低温泵在结构上未能兼顾各方面的要求，致使部分性能不佳，尤其是对氢等非凝性气体的抽气效率较低。美国专利US4285710，英国专利GB2059512A，GB2061391A所示的致冷机低温泵在结构上有了合理的改进，使泵对可凝性气体的抽气效率有了一定程度的提高，但对非凝性气体的抽气效率无显著改善，而且吸附剂易受到可凝性气体的污染，使泵在工作中对非凝性气体难以保持稳定的抽速。
本发明的目的在于提供一种对氢等非凝性气体具有较高抽气效率的致冷机低温泵。
本发明中的一级冷阵由圆筒形辐射屏蔽屏〔1〕，两块对称倾斜的平面底板〔2〕，泵口处的房顶式人字形挡板〔3〕，以及在二级冷阵两侧对称设置的两个板状立式百叶窗挡板〔4〕所构成。二级冷阵是由两个直立对称安放的板状立式人字形抽气部件〔5〕组成的。房顶式人字形挡板的外形呈房顶状，顶部有一形如房顶的人字形叶片，两边各有数个平行倾斜排列的人字形叶片。板状立式百叶窗挡板的外形为矩形板状，主要由若干个不等距排列的条形片状叶片构成。板状立式人字形抽气部件的外形呈板状，内有若干个平行排列的人字形叶片，叶片的局部部位上敷有吸附剂〔7〕。
本发明兼顾了各项性能的要求，既对各类气体具有较高的抽气效率，又具有良好的光屏蔽性能，而且充分发挥了吸附剂的作用。特别是对氢等非凝性气体具有很高的抽气效率。
附图是本发明的结构示意图。
本发明可以采用以下方案实施：房顶式人字形挡板〔3〕中的各叶片分别焊接在两块连接板上，连接板同辐射屏蔽屏〔1〕用螺栓连接。在板状立式百叶窗挡板〔4〕中，各叶片之间的距离随叶片所在位置的高度的降低而增大，叶片两端焊在一框架上，框架用螺栓与辐射屏蔽屏相连。所有挡板中的叶片和底板〔2〕也可以直接焊接在辐射屏蔽屏上。二级冷阵由两个板状立式人字形抽气部件〔5〕和隔板〔6〕对称组装而成。在抽气部件中，各人字形叶片靠抽气部件入口处的前半部分是水平面，且与抽气入口面互相垂直，后半部分是斜面，内侧敷有吸附剂〔7〕。抽气部件中的叶片焊在框架上，框架与二级冷头〔9〕用螺栓连接。一级冷阵中各部位的内侧均发黑，外侧抛光镀银，一方面反射外界热辐射，减小一级冷头〔8〕的热负载，另一方面吸收进入泵内的热辐射，减小对二级冷阵的反射。二级冷阵所有部位均抛光镀银，以反射热辐射，减小二级冷头的热负载。吸附剂采用活性炭，采用环氧树脂或低温胶粘接在二级冷阵上，焊接用低温银焊。冷阵中螺栓连接处需用铟垫片，使得连接处有足够的接触面，以保证良好的热传导性。
本发明中各结构参数均要根据设计时所选用的泵的口径和高度而定。实施例：泵径为150mm。辐射屏蔽屏的高度为160mm，内径为140mm。房顶式人字形挡板中各人字形叶片的张角为90°，挡板两边人字形叶片的排列方向的夹角为90°。两板状立式百叶窗挡板相距30mm，高度为120mm，各挡板中有叶片11片，叶片倾角为45°，叶片间距从上到下由6mm依次增至25mm。底板倾斜角度为45°。在每个板状立式人字形抽气部件中，人字形叶片的张角为135°，叶片间距为5mm，抽气部件全高120mm。
补正 85200140
文件名称 页 行 补正前 补正后
权利要求书 1 1 其特征…… 本发明的特征……
Claims (4)
1、一种真空泵，由一级冷阵，二级冷阵和泵壳组成，其特征在于一级冷阵由房顶式人字形挡板[3]和板状立式百叶窗挡板[4]，以及圆筒形泵内两块倾斜设置的平面底板[2]所构成，二级冷阵采用板状立式人字形抽气部件[5]。
2、根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于一级冷阵中的房顶式人字形挡板〔3〕的顶部，有一形如房顶的叶片，两边对称倾斜排列了数个人字形叶片，挡板外形呈房顶状。
3、根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于在二级冷阵两侧对称设置了两个板状立式百叶窗挡板〔4〕，挡板中各叶片之间的距离不等，且随叶片位置的高度的降低而增大，挡板外形为矩形板状。
4、根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于二级冷阵是由两个对置放置的板状立式人字形抽气部件〔5〕和两抽气部件之间的隔板〔6〕组成，抽气部件中有若干个平行排列的人字形叶片，叶片前半部分平面与抽气部件的入口面互相垂直。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 85200140 CN85200140U (zh) | 1985-04-01 | 1985-04-01 | 高效抽氢致冷机低温泵 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 85200140 CN85200140U (zh) | 1985-04-01 | 1985-04-01 | 高效抽氢致冷机低温泵 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN85200140U true CN85200140U (zh) | 1985-09-10 |
Family
ID=4796551
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 85200140 Ceased CN85200140U (zh) | 1985-04-01 | 1985-04-01 | 高效抽氢致冷机低温泵 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN85200140U (zh) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101576075B (zh) * | 2009-06-08 | 2011-01-05 | 北京航空航天大学 | 内置式低温泵抽速测量装置及方法 |
| CN106930924A (zh) * | 2015-12-30 | 2017-07-07 | 核工业西南物理研究院 | 一种具有三级吸附结构的直板式内置低温泵结构 |
| CN110608149A (zh) * | 2018-06-14 | 2019-12-24 | 上海优拓低温技术有限公司 | 一种低温泵 |
| CN111542698A (zh) * | 2017-11-17 | 2020-08-14 | 爱德华兹真空泵有限责任公司 | 具有增强型正面阵列的低温泵 |
| TWI771527B (zh) * | 2017-11-17 | 2022-07-21 | 美商艾德華真空有限責任公司 | 具週邊第一及第二階段陣列之低溫泵 |
-
1985
- 1985-04-01 CN CN 85200140 patent/CN85200140U/zh not_active Ceased
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101576075B (zh) * | 2009-06-08 | 2011-01-05 | 北京航空航天大学 | 内置式低温泵抽速测量装置及方法 |
| CN106930924A (zh) * | 2015-12-30 | 2017-07-07 | 核工业西南物理研究院 | 一种具有三级吸附结构的直板式内置低温泵结构 |
| CN106930924B (zh) * | 2015-12-30 | 2019-01-08 | 核工业西南物理研究院 | 一种具有三级吸附结构的直板式内置低温泵结构 |
| CN111542698A (zh) * | 2017-11-17 | 2020-08-14 | 爱德华兹真空泵有限责任公司 | 具有增强型正面阵列的低温泵 |
| TWI771527B (zh) * | 2017-11-17 | 2022-07-21 | 美商艾德華真空有限責任公司 | 具週邊第一及第二階段陣列之低溫泵 |
| US11421670B2 (en) | 2017-11-17 | 2022-08-23 | Edwards Vacuum Llc | Cryopump with enhanced frontal array |
| US11466673B2 (en) | 2017-11-17 | 2022-10-11 | Edwards Vacuum Llc | Cryopump with peripheral first and second stage arrays |
| TWI791676B (zh) * | 2017-11-17 | 2023-02-11 | 美商艾德華真空有限責任公司 | 具強化前陣列之低溫泵 |
| CN110608149A (zh) * | 2018-06-14 | 2019-12-24 | 上海优拓低温技术有限公司 | 一种低温泵 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN85200140U (zh) | 高效抽氢致冷机低温泵 | |
| CN104733553A (zh) | 一种带热管散热器的太阳能电池组件 | |
| CN212161501U (zh) | 一种防爆式电力机车主变压器 | |
| CN2865210Y (zh) | 面板型散热系统 | |
| CN112229226A (zh) | 一种水冷式篦冷机的推料装置 | |
| CN210537204U (zh) | 一种led显示屏散热装置 | |
| CN212004814U (zh) | 一种连接底座 | |
| CN113091331A (zh) | 一种高效光热转化太阳能集热装置 | |
| CN216709608U (zh) | 一种船舶用板式冷却器 | |
| CN2852243Y (zh) | 电脑散热装置的结构 | |
| CN220155529U (zh) | 一种稳定散热性好的整流桥模块 | |
| CN212519199U (zh) | 一种室内超清tv显示模块 | |
| CN218915474U (zh) | 一种空调制冷机冷凝设备 | |
| CN214835722U (zh) | 一种平开窗用断桥隔热结构 | |
| CN220606208U (zh) | 一种高强度的网络通信机盒 | |
| CN212156826U (zh) | 插卡型路灯灯具 | |
| CN220586699U (zh) | 一种液气分流型散热模组 | |
| CN213119572U (zh) | 平板太阳能集热器的密封结构 | |
| CN210895334U (zh) | 一种计算机用散热底座 | |
| CN212878281U (zh) | 一种多层可升降取暖茶几 | |
| CN218995966U (zh) | 一种轻量化航空机箱 | |
| CN220958024U (zh) | 一种自循环降温的太阳能led路灯 | |
| CN215774052U (zh) | 基于可视化模型架构的煤岩识别设备 | |
| CN215764045U (zh) | 一种新型显示屏支撑装置 | |
| CN215892192U (zh) | 一种太阳能led路灯蓄电保护装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CE01 | Termination of patent right | ||
| CE01 | Termination of patent right |