CN2913394Y - 软轴单晶硅炉 - Google Patents

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CN2913394Y CN 200620117811 CN200620117811U CN2913394Y CN 2913394 Y CN2913394 Y CN 2913394Y CN 200620117811 CN200620117811 CN 200620117811 CN 200620117811 U CN200620117811 U CN 200620117811U CN 2913394 Y CN2913394 Y CN 2913394Y
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CN 200620117811
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Inventor
张志新
王军
安桂正
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Beijing JingyuntongTechnology Co.,Ltd.
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BEIJING DONGFANG KEYUN CRYSTAL TECHNOLOGY Co Ltd
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Abstract

本实用新型属于一种软轴单晶硅炉，采用硅籽晶提升结构的旋转和提拉为软轴，软轴为钢丝绳，穿过箱体的传动轴内的花键轴上设有绕丝轮，绕丝轮和轴接在箱体内的压套轮相交，与两轮相交点对应箱体的压盖上设有带阻尼套的进线口，钢丝绳一端接在绕丝轮上，另一端穿过带阻尼套的进线口连接位于主炉室内的重锤，电机通过减速箱带动传动轴转动。本实用新型能用简单的结构实现旋转提拉稳定性好，降低设备高度，达到理想的使用效果。

Description

软轴单晶硅炉
技术领域
本实用新型属于一种软轴单晶硅炉。
背景技术
传统的单晶硅炉主要用于生产硅半导体材料，单晶硅炉包括硅半导体材料生长合成的主炉室、位于主炉室上端的硅籽晶提升结构和电控自动糸统。传统的单晶硅炉的硅籽晶提升结构采用硬轴旋转和提拉，从而使中心轴较长，造成设备高度较大较高，且旋转提拉稳定性差，造成产品正品率低，使用制作成本高，维修麻烦。
发明内容
本实用新型的目的是设计一种软轴单晶硅炉，使其能用简单的结构实现旋转提拉稳定性好，降低设备高度，达到理想的使用效果。为此，本实用新型采用硅籽晶提升结构的旋转和提拉为软轴，软轴为钢丝绳，穿过箱体的传动轴内的花键轴上设有绕丝轮，绕丝轮和轴接在箱体内的压套轮相交，与两轮相交点对应箱体的压盖上设有带阻尼套的进线口，钢丝绳一端接在绕丝轮上，另一端穿过带阻尼套的进线口连接位于主炉室内的重锤，电机通过减速箱带动传动轴转动。上述结构达到了本实用新型的目的。
本实用新型的优点是能用简单的结构实现旋转提拉稳定性好，降低设备高度达90％，达到理想的使用效果，大幅度提高了产品的正品率，且结构简单，制作使用成本低，维修和使用简便效果好。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图
图2为图1的俯视和提升重锤结构示意图
具体实施方案
如图1至图2所示，一种软轴单晶硅炉，由箱体1、传动轴14和重锤18所组成，箱体固接在主炉室上端。硅籽晶提升结构的旋转和提拉为软轴，软轴为钢丝绳17。穿过箱体的传动轴内的花键轴10上设有绕丝轮6，绕丝轮可沿花键轴轴向(纵向)移动，但不能在其轴上横向转动箱体内设有供绕丝轮轴向移动的空间，绕丝轮下端固接在滑套3的一端，该滑套滑配穿过箱体上的调节法兰盘2，供绕丝轮稳步移动。绕丝轮和轴接在箱体内的压套轮4相交，与两轮相交点对应箱体的压盖15上设有带阻尼套16的进线口，绕丝轮在轮面下端与压套轮相交。钢丝绳一端接在绕丝轮上，另一端穿过带阻尼套的进线口连接位于主炉室内的重锤18，重锤下端设卡头19用卡吊籽晶上端。电机5通过连轴器7传动减速箱8，该减速箱再通过连轴器9传动减速箱12的蜗轮13蜗杆减速带动传动轴转动。为传动轴与进入箱体内的传动轴用连轴器11连接，以供方便安装。
所述的电机位固设在箱体的一侧。
使用时，重锤和卡头同位于主炉室内中央，其上端的钢丝绳穿过主炉室上端中央孔接在绕丝轮上，开动电机，电机通过连轴器传动减速箱，该减速箱再通过连轴器传动另一减速箱的蜗轮蜗杆减速缓慢带动传动轴和花键轴转动，花键轴上设有绕丝轮转动带动钢丝绳沿收紧作用的阻尼套和压套轮缠在绕丝轮上，由于绕丝轮可沿花键轴轴向(纵向)移动，可使缠绕的钢丝始终对准阻尼套孔(即始终在对中位置)，在滑套的下端设限位杆，实现对钢丝绳的极限限位。阻尼套孔设有钢丝绳旋孔，可使钢丝绳在缓慢提升籽晶体时而缓慢旋转。电机反转时为放下钢丝绳，故不再累述。
总之，本实用新型能用简单的结构实现旋转提拉稳定性好，降低设备高度，达到理想的使用效果。

Claims (2)

1、一种软轴单晶硅炉，由箱体、传动轴和重锤所组成，其特征在于：硅籽晶提升结构的旋转和提拉为软轴，软轴为钢丝绳，穿过箱体的传动轴内的花键轴上设有绕丝轮，绕丝轮和轴接在箱体内的压套轮相交，与两轮相交点对应箱体的压盖上设有带阻尼套的进线口，钢丝绳一端接在绕丝轮上，另一端穿过带阻尼套的进线口连接位于主炉室内的重锤，电机通过减速箱带动传动轴转动。
2、按权利要求1所述的软轴单晶硅炉，其特征在于：所述的电机位固设在箱体的一侧。
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