CN2906920Y - 一种用于晶片夹持的静电卡盘 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于晶片夹持的静电卡盘，包括卡盘基座、盘片、绝缘环、供电柱，其中所述盘片固定在卡盘基座上，绝缘环固定供电柱，供电柱给盘片供电；同时供电柱和卡盘基座通过绝缘环相互绝缘。该静电卡盘可以在旋转或垂直运动的情况下仍然稳定可靠的晶片夹持，可靠性强，使用寿命长。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种静电卡盘，尤其涉及一种用于晶片夹持的静电卡盘。
背景技术
静电卡盘是目前在离子注入机等半导体设备中得到广泛使用，其作用是采用静电吸附的方式将晶片吸附；此外，为满足现代半导体硅片的工艺要求，需要吸附晶片的静电卡盘能够在处理过程中360度旋转。如果静电卡盘不能有效实现晶片夹持，晶片就会脱离静电卡盘，造成碎片和停机损失，这将会直接影响到整个设备晶片处理的可靠性指标。
离子注入机对静电卡盘的性能要求更高，如果达不到相关的技术指标，在工艺过程中晶片就很可能脱离静电卡盘。
发明内容
针对上述情况，本实用新型提供一种新型的用于晶片夹持的静电卡盘，可以在静电卡盘旋转或垂直运动的情况下仍然稳定可靠的晶片夹持。
本实用新型通过以下技术方案实现：一种用于晶片夹持的静电卡盘，包括卡盘基座、盘片、绝缘环、供电柱，其中所述盘片固定在卡盘基座上，绝缘环固定供电柱，供电柱给盘片供电；同时供电柱和卡盘基座通过绝缘环相互绝缘。
所述盘片包括绝缘层、电极层和薄绝缘层，电极层在绝缘层和薄绝缘层之间，薄绝缘层在最上面，绝缘层实现电极层和卡盘基座的电隔离。
所述盘片为六片，扇形，其外表面在同一平面上。
本实用新型的有益效果是，可靠性显著提高，使用寿命长。
附图说明
图1是本实用新型的剖视图。
图2是本实用新型盘片的俯视图。
图3是本实用新型盘片的剖视图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步介绍，但不作为对本实用新型的限定。
如图1所示，本实用新型包括卡盘基座1、盘片2、绝缘环3、供电柱4，其中所述盘片2固定在卡盘基座1上，六块盘片2的外表面在同一平面上；绝缘环3固定供电柱4，供电柱4给盘片2的电极层6供电；同时供电柱4和卡盘基座1通过绝缘环3实现绝缘。
如图2所示，盘片2为扇形。
如图3所示，盘片2由三层构成：绝缘层5、电极层6、薄绝缘层7。其中，绝缘层5实现电极层6和卡盘基座1的电隔离，当给盘片2中的电极层6供电时，盘片2产生静电吸附力，将晶片吸附在静电卡盘的表面。
本发明新型的特定实施例已对本实用新型的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本实用新型精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本实用新型专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
Claims (4)
1.一种用于晶片夹持的静电卡盘，其特征在于：包括卡盘基座、盘片、绝缘环、供电柱，其中所述盘片固定在卡盘基座上，绝缘环固定供电柱，供电柱给盘片供电；同时供电柱和卡盘基座通过绝缘环相互绝缘。
2.根据权利要求1所述的用于晶片夹持的静电卡盘，其特征在于：所述盘片包括绝缘层、电极层和薄绝缘层，电极层在绝缘层和薄绝缘层之间，薄绝缘层在最上面，绝缘层实现电极层和卡盘基座的电隔离。
3.根据权利要求1或2所述的用于晶片夹持的静电卡盘，其特征在于：所述盘片为扇形，其外表面在同一平面上。
4.根据权利要求1或2所述的用于晶片夹持的静电卡盘，其特征在于：所述盘片为六片。
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| CNU2006200081724U CN2906920Y (zh) | 2006-03-17 | 2006-03-17 | 一种用于晶片夹持的静电卡盘 |
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Publications (1)
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| CN (1) | CN2906920Y (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102105253A (zh) * | 2008-07-23 | 2011-06-22 | 东京毅力科创株式会社 | 高温静电卡盘和使用方法 |
| CN112967963A (zh) * | 2021-02-26 | 2021-06-15 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种异形晶片上下片装置及其使用方法 |
| CN114730729A (zh) * | 2019-11-21 | 2022-07-08 | 应用材料公司 | 双极静电吸盘上的边缘均匀性可调谐性 |
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2006
- 2006-03-17 CN CNU2006200081724U patent/CN2906920Y/zh not_active Expired - Fee Related
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Legal Events
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| GR01 | Patent grant | ||
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Granted publication date: 20070530 |