CN2788450Y - 偏转扫描放大器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种偏转扫描放大器，包括：比较放大器、放大器高压输出级、直流高压放大器，所述的直流高压放大器为放大器高压输出级提供直流偏置电压；所述的比较放大器的输出端和放大器高压输出级的输入端之间设置光耦；在放大器的输出与比较放大器之间设置一个输出高压信号取样电路，构成反馈电路。所述的放大器高压输出级是由多个晶体管串联而成的高反压管构成的推挽放大器。本实用新型输出与输入采用闭环负反馈技术，高压波形不会畸变；低压控制信号与高压输出级之间采用光电隔离控制技术，抗干扰能力强；均匀性实时好。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种偏转扫描放大器，特别地涉及离子注入工艺中所用的大倾角离子注入机用偏转扫描放大器，属于半导体制造领域。
背景技术
现有半导体集成电路制造技术中，随着半导体集成电路技术的发展，集成度越来越高，代工的晶圆尺寸越来越大，从6英寸到8英寸，甚至12英寸，电路中单元器件尺寸越来越小，对各半导体工艺设备的自动化提出了更高的要求。离子注入机作为半导体离子掺杂工艺线的关键设备之一，也提出了更高的要求，当代工的晶圆尺寸达到8英寸或12英寸时，为了满足晶片的均匀性和重复性要求，对偏转扫描电源提出了更高的要求，特别是偏转扫描电源的输出电压的幅度高达几万伏，而且电压上升的速率要求根据检测到的均匀性进行调节，因而对扫描偏转电源的要求已经不仅仅是目前常用的高压线性三角波发生器所能实现的，而需要一种能够达到3KHZ信号且性能稳定的高压放大器，然而目前国内对此类产品的研发均属于起步阶段，还没有性能相对稳定、能用于大倾角离子注入机的偏转扫描放大器产品。
发明内容
本实用新型即是针对上述现有技术的现状而提出的一种偏转扫描放大器，该放大器。
本实用新型通过以下技术方案来实现：
一种偏转扫描放大器，包括：比较放大器、放大器高压输出级、直流高压放大器，所述的直流高压放大器为放大器高压输出级提供直流偏置电压；所述的比较放大器的输出端和放大器高压输出级的输入端之间设置光耦；在放大器的输出与比较放大器之间设置一个输出高压信号取样电路，构成反馈电路。
所述的放大器高压输出级是由多个晶体管串联而成的高反压管构成的推挽放大器。
本实用新型具有如下显著优点：
1.输出与输入采用闭环负反馈技术，高压波形不会畸变；
2.低压控制信号与高压输出级之间采用光电隔离控制技术，抗干扰能力强；
3.高压交直放大倍数能达数千倍；
4.实时性好，提高了晶片注入的均匀性和重复性。
附图说明
图1为本实用新型偏转扫描放大器的原理框图；
图2为本实用新型具体实施例的电路原理图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的介绍，但不作为对本实用新型的限定，
参考图1，一种偏转扫描放大器，包括：比较放大器1、放大器高压输出级3、直流高压放大器1和4，所述的比较放大器1和放大器高压输出级3输入之间设置有光耦，在放大器高压输出级3的输出与比较放大器1之间设置一个输出高压信号取样电路5，输出高压信号取样电路5即构成该放大器的负反馈电路。
图1中直流高压发生器(+DC)1、直流高压发生器(-DC)4分别产生正几十千伏和负几十千伏的直流高压为放大器高压输出级3提供几十千伏高压直流偏置电压，这个直流电压的大小根据偏转扫描放大器的最终输出电压幅值设定。输入的低压信号经放大器高压输出级3放大N倍后输出高压信号，输出的高压信号经过输出高压信号取样电路5反馈到比较放大器1的反相输入端，并与正相端的输入信号进行比较，比较的结果通过极高隔离电压的光耦6来控制放大器高压输出级5的工作状态，使输出信号幅度稳定，输出波形不失真、无畸变。
参考图2，图中仅给出了比较放大电路1、放大器高压输出级3以及输出高压信号取样电路5，直流高压放大器1和4的电路图在此省略。图中OI1和OI2为光耦，可见放大器高压输出级3是由N个MOS场效应管或者IGBT管串联而成的高反压管构成的推挽放大器。输出高压信号取样电路5在比较放大电路1和放大器高压输出级3之间，为一负反馈回路，反馈量等于-Uout/n，n由取样电阻的分压比决定，Uout为偏转扫描放大器的最终输出电压，当输入信号为Uin时，那么平衡状态下Uin+Uout/n＝0，即Uou＝n×Uin；n就是该高压放大器的增益。
本实用新型的特定实施例已对本实用新型的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本实用新型精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本实用新型专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
Claims (2)
1.一种偏转扫描放大器，包括：比较放大器、放大器高压输出级、直流高压放大器，其特征在于：所述的直流高压放大器为放大器高压输出级提供直流偏置电压；所述的比较放大器的输出端和放大器高压输出级的输入端之间设置光耦；在放大器的输出与比较放大器之间设置一个输出高压信号取样电路，构成反馈电路。
2.如权利要求1所述的偏转扫描放大器，其特征在于：所述的放大器高压输出级是由多个晶体管串联而成的高反压管构成的推挽放大器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNU2005200170884U CN2788450Y (zh) | 2005-04-22 | 2005-04-22 | 偏转扫描放大器 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CNU2005200170884U CN2788450Y (zh) | 2005-04-22 | 2005-04-22 | 偏转扫描放大器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN2788450Y true CN2788450Y (zh) | 2006-06-14 |
Family
ID=36786743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CNU2005200170884U Expired - Fee Related CN2788450Y (zh) | 2005-04-22 | 2005-04-22 | 偏转扫描放大器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| CN (1) | CN2788450Y (zh) |
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2005
- 2005-04-22 CN CNU2005200170884U patent/CN2788450Y/zh not_active Expired - Fee Related
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Legal Events
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| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
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Granted publication date: 20060614 Termination date: 20100422 |