CN2776650Y - 石英晶圆切割机的带锯顶掣结构 - Google Patents

石英晶圆切割机的带锯顶掣结构 Download PDF

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杨嘉丰
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Rongjing Co., Ltd.
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FUSION CRYSTAL Co Ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种石英晶圆切割机的带锯顶掣结构，该切割机由一机台、至少一致动元件及一带锯所构成，该机台具有一工作区间，且该工作区间的一面具有一平台；该致动元件设置于机台内；该带锯具有一平面部及一锯齿部，该带锯设置于机台内且与致动元件连接，并由工作区间穿过于平台上；于该机台内且邻近于工作区间二端的位置处分别设置至少一顶掣元件，而该顶掣元件的周缘与带锯的平面部呈点状接触。由此，可使该带锯于切割时具有稳定、平整、偏摆小及不易扭曲的功效，而能增加切割速度及延长带锯的寿命。

Description

石英晶圆切割机的带锯顶掣结构
技术领域
本实用新型有关于一种石英晶圆切割机的带锯顶掣结构，尤指一种可使该带锯于切割时具有稳定、平整、偏摆小及不易扭曲的功效，而能增加切割速度及延长带锯寿命的石英晶圆切割机的带锯顶掣结构。
背景技术
一般现有的石英晶圆切割机，如图5所示，其由一机台5、二设置于机台5内的致动元件51以及一环设于二致动元件51上的带锯52所构成，而该机台5具有一工作区间53，且该工作区间53的一面具有一平台54，而该带锯52由工作区间53穿过于平台54上，且该带锯52具有一平面部521及一锯齿部522；可将石英晶圆放置于平台54上，通过该带锯52的锯齿部522进行石英晶圆的切割。
虽然上述现有的石英晶圆切割机，可将石英晶圆放置于平台54上，通过该带锯52进行石英晶圆的切割，但是由于该带锯52于进行切割时，其锯齿部522与石英晶圆会产生一作用应力于带锯52的平面部521，故而，易导致该带锯52于切割时造成偏摆较大，使切割时较不稳定及平整，且易扭曲，进而缩短带锯的使用寿命而使带锯52的切割速度较慢。
实用新型内容
本实用新型的主要目的是为解决上述缺点、避免缺点存在，而提供一种石英晶圆切割机的带锯顶掣结构，可通过至少一顶掣元件与带锯的平面部呈点状接触，使该带锯于切割时具有稳定、平整、偏摆小及不易扭曲的功效，而能增加切割速度及延长带锯的寿命。
为达上述的目的，本实用新型提供一种石英晶圆切割机的带锯顶掣结构，该切割机由一机台、至少一致动元件及一带锯所构成，该机台具有一工作区间，且该工作区间的一面具有一平台；该致动元件设置于机台内；该带锯具有一平面部及一锯齿部，该带锯设置于机台内且与致动元件连接，并由工作区间穿过于平台上；并于该机台内且邻近于工作区间二端的位置处分别设置至少一顶掣元件，而该顶掣元件的周缘与带锯的平面部呈点状接触。
根据上述方案，本实用新型石英晶圆切割机的带锯顶掣结构可有效改善现有结构的种种缺点，使带锯具有稳定、平整、偏摆小及不易扭曲的功效，而能增加切割速度及延长带锯的寿命，进而使本实用新型的产生能更进步、更实用、更符合使用者的需求。
附图说明
图1为本实用新型的立体外观示意图。
图2为本实用新型沿图1的A-A向剖面示意图。
图3为本实用新型沿图1的B-B向剖面示意图。
图4为本实用新型的切割状态剖面示意图。
图5为现有结构的状态剖面示意图。
元件标号对照
本实用新型部分
1……机台       11……工作区间          12……平台
2……致动元件   3……带锯               31……平面部
32……锯齿部    4……顶掣元件           41……固定杆
现有结构部分
5……机台       51……致动元件          52……带锯
521…平面部     522…锯齿部             53……工作区间
54……平台
具体实施方式
请参阅图1、2、3所示，本实用新型为一种石英晶圆切割机的带锯顶掣结构，该切割机由一机台1、至少一致动元件2及一带锯3所构成，该机台1具有一工作区间11，且该工作区间11的一面具有一平台12；该致动元件2设置于机台1内，且于机台1内的二端适当处各设置一个；该带锯3具有一平面部31及一锯齿部32，且该带锯3环设于机台1内的二致动元件2上，使该二致动元件2可连动该带锯3，并由工作区间11穿过于平台12上；其中该机台1内且邻近于工作区间11二端的位置处分别设置至少一顶掣元件4，而该顶掣元件4于设置时于机台1内且邻近工作区间二端位置处分别设置二个为最佳数目，该顶掣元件4配合有固定杆41，藉以固设于机台1内的预定位置处，使该顶掣元件4的周缘与带锯3的平面部31呈点状接触，而该顶掣元件4为轴承。如此，通过上述的结构构成一全新的石英晶圆切割机的带锯顶掣结构。
请参阅图4所示，当本实用新型于进行切割运用时，启动该致动元件2，使该环设于致动元件2上的带锯3作环绕转动，而使带锯3于工作区间11产生锯动的效果，让使用者可于机台1的平台12上将作切割物(石英晶圆)应于锯齿部32进行切割；当切割时，该带锯3的锯齿部32会产生一作用应力于带锯3的平面部31，此时，即可通过该顶掣元件4的周缘与带锯3平面部31呈点状接触，而降低应力的产生，如此，可使该带锯于切割时具有稳定、平整、偏摆小及不易扭曲的功效，而能增加切割速度及延长带锯的寿命。
但以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，当不能以此限定本实用新型实施的范围；凡依本实用新型所作的简单等效变化与修饰，皆应属于本实用新型的范围内。

Claims (4)

1.一种石英晶圆切割机的带锯顶掣结构，该切割机包括有：一机台，该机台具有一工作区间，且该工作区间的一面具有一平台；至少一致动元件，设置于机台内；一带锯，具有一平面部及一锯齿部，该带锯设置于机台内且与致动元件连接，并由工作区间穿过于平台上；其特征在于：该机台内且邻近于工作区间二端的位置处分别设置至少一顶掣元件，而该顶掣元件的周缘与带锯的平面部呈点状接触。
2.如权利要求1所述的石英晶圆切割机的带锯顶掣结构，其特征在于：该顶掣元件为轴承。
3.如权利要求1所述的石英晶圆切割机的带锯顶掣结构，其特征在于：该顶掣元件于机台内且邻近工作区间二端位置处分别设置为二个。
4.如权利要求1所述的石英晶圆切割机的带锯顶掣结构，其特征在于：该顶掣元件配合有固定杆，以固设于机台内的预定位置处。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN102350739A (zh) * 2011-10-18 2012-02-15 黄炳福 高产低噪发泡混凝土切割机
CN102380661A (zh) * 2010-09-06 2012-03-21 株式会社牧田 带锯

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