CN2759573Y - 废气洗涤系统 - Google Patents

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Abstract

本实用新型是一种废气洗涤系统，其包括：一洗涤液供给装置，其包括至少一管路及一循环泵；温水洒水装置；至少一进气装置，废气可进入该进气装置中且与洗涤液进行降温与气水混合程序；沉淀槽，可接收该进气装置所排出的废气及洗涤液，以便与该洗涤液进行酸碱中和；以及至少一洗涤塔，置于该沉淀槽上方，其具有一滤水装置、一洗涤液喷洒装置及一排气口，其中该洗涤液喷洒装置经由该管线连接至该洗涤液供给装置，其可喷洒洗涤液，而该滤水装置则可过滤洗涤液以增加废气与洗涤液的作用时间，并将过滤后的气体经由该排气口排放。

Description

废气洗涤系统
技术领域
本实用新型是有关于一种废气洗涤系统，尤指一种进气装置及洗涤塔本体为玻璃纤维材质一体成型制造的废气洗涤系统。
背景技术
按，一般半导体工艺所产生的废气，主要来自于元件的蚀刻、掺杂质以及集成电路板的酸洗作业等，而其所产生的有毒物质必须经过适当处里才可将废气及废水排放，以避免违法污染了周遭环境。
而公知的废气洗涤系统，例如台湾公告第546159号专利，其公开一种洗涤塔废气处理系统及方法，该系统里提供一种软水装置，用以除去洗涤液中所含的钙离子及镁离子，使在洗涤液酸碱值控制调升至10.5以上的状况下，提高废气处理效率，并使洗涤塔不会结垢而可顺利操作。
又例如台湾公告第395293号专利，其公开一种废气洗涤塔结构，该洗涤塔结构具有两层次的水浴供应源进行喷洒，以全面进行废弃的水浴处理，可有效提高气水混合度，成功地执行清洁废气的作业。以上两者皆为处理半导体生产过程所产生的废气所设计，惟一般发光二极管晶元工艺所产生的废气例如磷化氢(Phosphine)及砷化三氢(Arsine)等及有毒物质例如砷化钠或磷化钠等与半导体生产过程所产生的废气及有毒物质不尽相同，因此，上述专利的废气洗涤塔结构并不适用于处理发光二极管晶元工艺所产生废气及有毒物质。
请参照图1，其显示公知适用于处理发光二极管工艺所产生废气及有毒物质的废气洗涤系统的示意图。如图所示，公知的废气洗涤系统其具有一进气装置60、一温水洒水装置65、一洗涤液供给装置70、一沉淀槽75、一泵80、一化学药剂注入装置85及两个洗涤塔90；生产过程中所产生的磷化氢(Phosphine)及砷化三氢(Arsine)等废气经过与漂白水、液碱及磷酸进行反应后再经由三道洗涤液洗涤后，合于标准的废气经由排气口91排出，废水再经由排水口76排出。惟上述废气洗涤系统具有下列缺点：1.其本体基材是以PVC(聚氯乙烯)材质材料制造，但是在长时间的化学溶液、磷、温度种种因素侵蚀下，呈现脆化的现象，其中尤以管路71最为明显；2.其本体是由PVC板材组合焊接而成，外部再以可强化本体的FRP(玻璃纤维)素材加以包覆而成，然因为两种材质不同，无法真正完全黏合，所以在本体有外接管路71的部分，在管路71材质发生脆化情况下，一旦产生液漏即使有被包覆的部分还是无法阻止其液漏；3.其温水洒水装置65装设的角度无法有效清除进气装置60中的沉积磷，以致管路71容易被磷所阻塞，且因磷的自燃点甚低，于拆除进气装置进行保养时易发生自燃的危险等缺点。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种废气洗涤系统，其本体则采用FRP强化材质，开模制造，可免除PVC液漏后所包覆的FRP无法阻绝的缺点。
本实用新型的主要目的在于提供一种废气洗涤系统，其具有一温水洒水装置且设置于废气进入管的对面侧，可轻易清除管路中的沉积磷，以避免拆除进气装置进行保养时易磷发生自燃的危险。
为实现上述目的，本实用新型提供的废气洗涤系统，其包括：
一洗涤液供给装置，其包括至少一管路及一循环泵，用以供给洗涤液；
一温水洒水装置，用以供给温水；
至少一进气装置，为一三通装置且其可分别连接至一废气进入管、该洗涤液供给装置及该温水洒水装置，以便废气可进入该进气装置中且与洗涤液进行降温与气水混合程序；
一沉淀槽，置于该进气装置的下方，可接收该进气装置所排出的废气及洗涤液，其上方具有一药剂注入口，用以供注入化学药剂于该沉淀槽中，侧方则具一排水口，以便与该洗涤液进行酸碱中和；以及
至少一洗涤塔，置于该沉淀槽的上方，其具有一滤水装置、一洗涤液喷洒装置及一排气口，其中该洗涤液喷洒装置经由该管线连接至该洗涤液供给装置，其可喷洒洗涤液，而该滤水装置则可过滤洗涤液以增加废气与洗涤液的作用时间，并将过滤后的气体经由该排气口排放。
其中该废气进入管可供磷化氢、砷化三氢及制程氮气等废气进入。
其中该洗涤液可为自来水或冷凝水。
其中该温水洒水装置是装置于该废气进入管的对面侧，以达到易于清洗进气装置中沉积磷的目的。
其中该沉淀槽中进一步具有至少一酸碱值量测计，用以量测沉淀槽中废水的酸碱值。
其中该化学药剂为漂白水、液碱或磷酸。
其中该滤水装置进一包括至少一拉希环。
其中该进气装置为聚氯乙烯材质，且其数量为三个。
其中该洗涤塔为玻璃纤维材质一体成型，且其数量为两个并可提供三道洗涤程序。
附图说明
图1为一示意图，其显示公知适用于处理发光二极管工艺所产生废气及有毒物质的废气洗涤系统的示意图。
图2为一示意图，其显示本实用新型的废气洗涤系统剖面结构示意图。
具体实施方式
为能进一步了解本实用新型的结构、特征及其目的，以附图及较佳具体实施例的详细说明如后。
请参照图2，其显示本实用新型的废气洗涤系统剖面结构示意图。如图所示，本实用新型的废气洗涤系统包括：洗涤液供给装置10；温水洒水装置20；至少一进气装置30；沉淀槽40；以及至少一洗涤塔50所组合而成。
其中，该洗涤液供给装置10，其包括至少一管路11及一循环泵12。该管路11可连接至该进气装置30、沉淀槽40以及洗涤塔50，以便由该循环泵12的作用供给洗涤液至该进气装置30、沉淀槽40以及洗涤塔50中进行冷却及气水混合的作用；其中，该洗涤液可为自来水或冷凝水。
该温水洒水装置20，用以供给温水至该进气装置30中，由温水可容易清除进气装置30中沉积的磷。本实用新型的温水洒水装置20设置于废气进入管31的对面侧，如此可达到最大的清洗角度，以达到易于清洗进气装置30的进气口中沉积磷的目的。
该进气装置30，为一三通装置且其可分别连接至一废气进入管31、该洗涤液供给装置10及该温水洒水装置20，以便磷化氢(Phosphine)、砷化三氢(Arsine)及工艺氮气等废气可进入该进气装置30中且与管路11所提供的洗涤液进行降温与气水混合程序。在本实施例中，该进气装置30的数量例如但不限于为3个，每一个进气装置30可单独的与废气进入管31、该洗涤液供给装置10及该温水洒水装置20连接，并于处理后分别将废气及废水输出至沉淀槽40中，如此多管并行的目的可避免公知废气洗涤系统只具有一个进气装置30，当其因为磷自燃而受损后即无法再运作的缺点。
该沉淀槽40，置于该进气装置30的下方，可接收该进气装置30所排出的废气及洗涤液，其上方具有一药剂注入口41，用以供注入化学药剂于该沉淀槽40中，以便该化学药剂与磷化氢、砷化三氢及工艺氮气等废气进行化学反应。其中该化学药剂可为漂白水(NaOCl)、液碱(NaOH)或磷酸(H3PO4)，其依序被注入该沉淀槽40中可与磷化氢、砷化三氢及工艺氮气起化学反应而产生磷化钠(Na3PO4)及砷化钠(H3PO4)等有毒的化学物质沉积于该沉淀槽40中(此为公知技术，在此不拟赘述)，而反应后所产生无害的废气则输出至洗涤塔50进行后续处理。此外，该沉淀槽40的侧方具一排水口42，以便进行排水。此外，该沉淀槽40中进一步具有至少一酸碱值量测计43，用以量测沉淀槽40中废水的酸碱值。
该洗涤塔50，置于该沉淀槽40的上方，其数量例如但不限于两个，其进一步具有一洗涤液喷洒装置51、一滤水装置52及一排气口53。其中该洗涤液喷洒装置51经由该管线11连接至该洗涤液供给装置10，其可喷洒洗涤液至该洗涤塔50内部，而该滤水装置52置于该洗涤液喷洒装置51的下方，其包括至少一拉希环521，其可过滤洗涤液以增加废气与洗涤液的作用时间，并将过滤后的气体经由该排气口53排放至下一个洗涤塔50中再进行一次废气洗涤及冷却处理，并于处理后将废气经由该排气口53排出。其中，该洗涤塔50是以玻璃纤维(FRP)材质以一体成型方法所制造。
综上所述，本实用新型废气洗涤系统，其具有本体采用FRP强化材质，开模制造，可免除PVC液漏后所包覆的FRP无法阻绝的缺点。此外其温水洒水装置是设置于废气进入管的封面侧，可轻易清除管路中的沉积磷，以避免拆除进气装置进行保养时易磷发生自燃的危险等优点，确可改善公知废气洗涤系统的缺点。
本实用新型所描述的乃较佳实施例，举凡局部的变更或修饰而源于本案的技术思想而为熟习该技艺的人所易于推知的，俱不脱本实用新型的专利权范畴。

Claims (9)

1.一种废气洗涤系统，其特征在于，至少包括：
一洗涤液供给装置，其包括至少一管路及一循环泵，用以供给洗涤液；
一温水洒水装置，用以供给温水；
至少一进气装置，为一三通装置且其可分别连接至一废气进入管、该洗涤液供给装置及该温水洒水装置，以便废气可进入该进气装置中且与洗涤液进行降温与气水混合程序；
一沉淀槽，置于该进气装置的下方，可接收该进气装置所排出的废气及洗涤液，其上方具有一药剂注入口，用以供注入化学药剂于该沉淀槽中，侧方则具一排水口，以便与该洗涤液进行酸碱中和；以及
至少一洗涤塔，置于该沉淀槽的上方，其具有一滤水装置、一洗涤液喷洒装置及一排气口，其中该洗涤液喷洒装置经由该管线连接至该洗涤液供给装置，其可喷洒洗涤液，而该滤水装置则可过滤洗涤液以增加废气与洗涤液的作用时间，并将过滤后的气体经由该排气口排放。
2.如权利要求1所述的废气洗涤系统，其特征在于，其中该废气进入管可供磷化氢、砷化三氢及制程氮气等废气进入。
3.如权利要求1所述的废气洗涤系统，其特征在于，其中该洗涤液可为自来水或冷凝水。
4.如权利要求1所述的废气洗涤系统，其特征在于，其中该温水洒水装置是装置于该废气进入管的对面侧，以达到易于清洗进气装置中沉积磷的目的。
5.如权利要求1所述的废气洗涤系统，其特征在于，其中该沉淀槽中进一步具有至少一酸碱值量测计，用以量测沉淀槽中废水的酸碱值。
6.如权利要求1所述的废气洗涤系统，其特征在于，其中该化学药剂为漂白水、液碱或磷酸。
7.如权利要求1所述的废气洗涤系统，其特征在于，其中该滤水装置进一包括至少一拉希环。
8.如权利要求7所述的废气洗涤系统，其特征在于，其中该进气装置为聚氯乙烯材质，且其数量为三个。
9.如权利要求1所述的废气洗涤系统，其特征在于，其中该洗涤塔为玻璃纤维材质一体成型，且其数量为两个并可提供三道洗涤程序。
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