CN2739386Y - 一种用于微型杜瓦的微型冷凝吸附泵 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于微型杜瓦的微型冷凝吸附泵，包含有由外壳体和内胆构成中间夹有真空夹层的杜瓦瓶。外壳体侧面上部有二个抽气口，分别通过二个二通钥匙与微型杜瓦和真空泵联接，内胆内腔里装有液氮，在真空夹层中，有一套在内胆外下部的内装有活性炭的炭罩，炭罩壁上开有多个用于吸附残留气体的小孔。本实用新型的优点是：结构简单，易于加工和装配。重量轻，炭罩内装有的活性炭的吸附量足够维持器件测量所需的真空。
Description
技术领域
本实用新型涉及冷凝吸附泵，具体是指一种用于微型杜瓦的高真空获得与维持的微型冷凝吸附泵。
背景技术
在红外焦平面探测器组件的制备过程中，为及时获得探测器性能的状况，往往需要在器件排气封口前对其进行测量，为了使器件能快速、简便地获得测量所需要的真空，而且又不会对器件测量工作造成任何机械与电磁干扰，应用冷凝吸附可获得与提高真空的原理，发明一个为红外焦平面组件微型杜瓦所需要的高真空获得与维持的微型冷凝吸附泵将是解决红外焦平面组件制备过程中测量其性能的一个很好的途经。
发明内容
本实用新型的目的是提供一个为红外焦平面组件制备过程中测量其性能所需的微型冷凝吸附泵。
本实用新型的微型冷凝吸附泵，包含有由外壳体和内胆构成中间夹有真空夹层的杜瓦瓶，外壳体侧面上部有二个抽气口，分别通过二个二通钥匙与微型杜瓦和真空泵联接，内胆内腔里装有液氮，在真空夹层中，有一套在内胆外下部的内装有活性炭的炭罩，炭罩壁上开有多个用于吸附残留气体的小孔。
本实用新型的微型冷凝吸附泵的优点是：
结构简单，易于加工和装配。重量轻，整个吸附泵包括二个二通钥匙重量仅为567g。冷媒液氮可以储存在保温瓶中，携带方便。碳罩中使用的活性炭价格低廉，购买方便。该活性炭的吸附量足够维持器件测量所需的真空。
附图说明
图1为本实用新型的冷凝吸附泵的剖面结构示意图。
图2为本实用新型的冷凝吸附泵的俯视图。
具体实施方法
见图1，本实用新型的微型冷凝吸附泵，包含有由外壳体1和内胆2构成中间夹有真空夹层3的杜瓦瓶4，外壳体侧面上部有二个抽气口5，分别用于通过二个二通钥匙与微型杜瓦和真空泵联接，内胆内腔里装有液氮6，在真空夹层中，有一套在内胆外下部的内装有活性炭11的炭罩7，炭罩壁上开有多个用于吸附残留气体的小孔8。炭罩内壁衬有防止活性炭从小孔散落的金属网9。内胆、外壳和两个排气口均采用亚弧焊联接，在内胆和外壳焊接之前先将装有活性碳的碳罩通过镙钉10固定在内胆外底部，活性碳在使用前应先清洗然后放在45℃烘箱中烘干后再装在碳罩中。
使用时先打开二个二通钥匙，用真空泵对微型杜瓦进行抽气，当真空度达到5*10-2Pa时，往内胆中注入液氮，待内胆中的液氮平稳后，碳罩里的活性碳经充分冷却就可以发挥冷凝吸附的作用，此时关闭与真空泵联接的二通钥匙，利用冷凝吸附泵对微型杜瓦进行抽气，同时可进行器件的测量工作。
使用中的注意事项：冷凝吸附泵在平时不使用时最好对其抽真空保存，以保持活性炭的活性。操作中如果吸附泵中要进入大气，最好先通氮气以保护活性碳的活性。
参考有关资料活性炭在一个大气压、77k时对H2吸附气体量为200ml/g，对N2、H2O、O2、He、Ne气体均有较好的吸附效果，其总的吸气量可达到380ml/g，本实用新型的吸附泵中活性碳的含量为47g，总的吸气量可达到17L，对一个容积为90mL的微型杜瓦，该冷凝吸附泵的抽气量足够获得和维持器件测量所需的真空。
Claims (1)
1.一种用于微型杜瓦的微型冷凝吸附泵，包含有由外壳体(1)和内胆(2)构成中间夹有真空夹层(3)的杜瓦瓶(4)，其特征在于：
外壳体侧面上部有二个分别用于通过二个二通钥匙与微型杜瓦和真空泵联接的抽气口(5)，，内胆内腔里装有液氮(6)，在真空夹层(3)中，有一套在内胆外下部的内装有活性炭(11)的炭罩(7)，炭罩壁上开有多个用于吸附残留气体的小孔(8)，炭罩内壁衬有防止活性炭从小孔散落的金属网(9)。
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2004
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