CN2679801Y - 长行程一体式精密定位平台 - Google Patents

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CN2679801Y CN 200320119733 CN200320119733U CN2679801Y CN 2679801 Y CN2679801 Y CN 2679801Y CN 200320119733 CN200320119733 CN 200320119733 CN 200320119733 U CN200320119733 U CN 200320119733U CN 2679801 Y CN2679801 Y CN 2679801Y
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张宪民
彭惠青
王�华
李海燕
欧阳高飞
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Abstract

本实用新型是一种长行程一体式精密定位平台，它包括有运动平台、基座，运动平台与基座之间通过四个双复合平板弹簧机构连接，四个双复合平板弹簧机构对称分布在运动平台的四周，在运动平台与基座之间连接有倒杠杆，倒杠杆与基座由一个与之为一体的柔性铰链相接，倒杠杆与运动平台之间由另一个与之为一体的柔性铰链连接，倒杠杆与安装在其下方的音圈电机相接。由于采用了音圈电机作为致动器，可以实现较长的移动范围，又由于各传动机构均采用了柔性铰链，保证了运动传递的无间隙、无摩擦、免润滑、高精度性和高稳定性。

Description

长行程一体式精密定位平台
技术领域
本实用新型涉及一种精密定位平台，特别是一种可用于一维空间内的长行程一体式精密定位平台。
背景技术
目前，精密定位平台的传动大多是采用传统的机械结构，因此，不可避免地存在着间隙、摩擦，定位精度很难提升到亚微米级；近年来，高精度的定位平台多采用压电致动器进行驱动，可以实现亚微米级定位，但其价格较高，行程太小，平台的稳定性也不好。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种稳定性高、能够同时达到足够的行程与极高定位精度的长行程一体式精密定位平台。
实现本实用新型目的的技术方案是：它包括有运动平台、基座，运动平台与基座之间通过四个双复合平板弹簧机构连接，四个双复合平板弹簧机构对称分布在运动平台的四周，在运动平台与基座之间连接有倒杠杆，倒杠杆与基座由一个与之为一体的柔性铰链相接，倒杠杆与运动平台之间由另一个与之为一体的柔性铰链连接，倒杠杆与安装在其下方的音圈电机相接。
在上述技术方案中，倒杠杆与基座相接的柔性铰链为倒杠杆的支点，倒杠杆与运动平台之间连接的柔性铰链为倒杠杆的输出点，而倒杠杆与音圈电机相接处为倒杠杆的输入点。
本实用新型的有益效果：由于采用了两组并联的双复合平板弹簧机构连接运动平台与基座，使运动平台在较小的设计空间下具有较大的行程，并以对称结构提高运动平台移动的直线度；由于采用了倒杠杆机构，可将音圈电机的输入力依倍率放大，弥补了音圈电机推力不足的缺点，一旦推动运动平台的力获得加强，定位系统的自然共振频率就很容易被提高，使其不容易受到环境的干扰产生振幅过大的振动；由于采用了音圈电机作为致动器，可以实现较长的移动范围，又由于各传动机构均采用了柔性铰链，保证了运动传递的无间隙、无摩擦、免润滑、高精度性和高稳定性。
本实用新型不仅能达到1.5mm的长行程，亚微米级的定位精度，而且提高了定位平台的系统刚性与第一自然频率，整个定位平台本体是一体式的，可以由一块材料加工而成。
附图说明
图1是本实用新型的整体结构示意图；
图2是本实用新型中的双复合平板弹簧机构示意图。
具体实施方式
如附图所示，本实用新型包括有运动平台9、基座1、倒杠杆8、音圈电机10、双复合平板弹簧机构2、3、4、5、和柔性铰链6、7，运动平台9与基座1之间通过四个双复合平板弹簧机构2、3、4、5连接，四个双复合平板弹簧机构2、3、4、5对称分布在运动平台9的四周；倒杠杆8与基座1由一个与之为一体的柔性铰链6相接，柔性铰链6是倒杠杆8的支点，倒杠杆8与运动平台9之间由另一个与之为一体的柔性铰链7连接，柔性铰链7是倒杠杆8的输出点，音圈电机10安装在倒杠杆8的下方。倒杠杆8的输入点在与音圈电机10的相接处。

Claims (1)

1.一种长行程一体式精密定位平台，它包括有运动平台(9)、基座(1)，其特征是运动平台(9)与基座(1)之间通过四个双复合平板弹簧机构(2)、(3)、(4)、(5)连接，四个双复合平板弹簧机构(2)、(3)、(4)、(5)对称分布在运动平台(9)的四周，在运动平台(9)与基座(1)之间连接有倒杠杆(8)，倒杠杆(8)与基座(1)由一个与之为一体的柔性铰链(6)相接，倒杠杆(8)与运动平台(9)之间由另一个与之为一体的柔性铰链(7)连接，倒杠杆(8)与安装在其下方的音圈电机(10)相接。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100527281C (zh) * 2006-02-28 2009-08-12 华南理工大学 一种整体式柔顺板精密定位平台

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