CN2666929Y - 射频电源导入装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于一种新型的电流导入装置，应用于管式PECVD设备。按照本实用新型所提供的设计方案，在石英管腔体的端部有石英管密封部，在石英管腔体内有可以移动的石墨舟，石墨舟的端部有电极引入端，在石英管密封部的下面连接波纹管，波纹管的上面连接可以伸入石英管密封部内的电流导入端子，波纹管的下面与汽缸的活塞杆连接。本装置具有高稳定性，高安全性，更具有可操作性，能适合批量生产的需要，能降低由于缺乏稳定性而生产不合格产品的概率，从而提高了生产效率。

Description

射频电源导入装置

技术领域

本实用新型属于一种新型的电流导入装置，应用于管式PECVD设备。

背景技术

在管式PECVD的工作过程中，放电的过程是必须的关键过程，此过程可以直接决定成膜的质量的好坏。在传统的管式PECVD设备中，电流导入的方式往往采用电流导入端子直接导入的方式，此种装置由于电流导入端子是固定于成膜室内的电极上的，而电极又是和膜室内的石墨舟是一体的，所以在取料和送料的时候，电极随着石墨舟会内外运动，必然导致电流导入端子也一同运动，这样会导致诸如电流导入电线过长，接触不稳定等因素，并且电线随电流导入端子运动的过程中也会产生不安全的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于设计一种射频电源导入装置，采用插入或者闸刀的方式将电流导入端子从炉管的后盖侧面插入炉管内部，与管内的电极相接，从而完成射频电源的电流倒入，满足工艺放电的要求。从而克服了诸如电流导入电线过长，接触不稳定等因素，提高了生产效率，保证成膜的质量。

按照本实用新型所提供的设计方案，在石英管腔体的端部有石英管密封部，在石英管腔体内有可以移动的石墨舟，石墨舟的端部有电极引入端，在石英管密封部的下面连接波纹管，波纹管的上面连接可以伸入石英管密封部内的电流导入端子，波纹管的下面与汽缸的活塞杆连接。

波纹管利用石英管密封部连接法兰与石英管密封部连接。波纹管利用波纹管连接法兰与汽缸的活塞杆连接。波纹管连接法兰与汽缸的活塞杆之间有汽缸连接法兰。

本装置大体可分为三部分进行工作。一.导入驱动部分，二.波纹管密封部分，三.电流导入部分。其中，导入驱动部分主要是以汽缸为主的气动部分，它主要是按照要求提供接入和拉出的动力，从而满足电流导入部分的行程要求，完成所需的动作。波纹管密封部分是保证成膜室的密封以及电流导入部分的密封，而焊接波纹管的部分在保证密封的前提下，还必须给电流导入部分的动作提供必须的形成要求。电流导入部分就是完成外部电极和成膜室内石墨舟上电极相接的装置，它与内部电极的接触和拔出的完成也就是整个一个成膜过程开始和结束的标志。

附图说明

图1是本装置的结构图。

具体实施方式

1.汽缸，2.汽缸连接法兰，3.焊接波纹管，4.波纹管连接法兰，5.石英管密封部连接法兰，6.电流导入端子，7.电极引入端，8.石英管密封部，9.石墨舟，10.石英管腔体。

汽缸1是导入驱动部分的主要元器件，它固定在管式PECVD设备的机架之上，为整个新型的导入装置的动作提供动力来源，驱动电流导入端子6作上下移动。汽缸连接法兰2与汽缸1连接，组成导入驱动部分，它的存在克服了焊接波纹管3与汽缸1连接过程中的密封问题，同时汽缸连接法兰2与汽缸1连成一体后，将随着汽缸1的运动一起动作，挤压焊接波纹管3。焊接波纹管3是具有一定压缩和拉伸性能的金属软管，它在汽缸1运动后，受到一定的挤压或者拉伸而发生变形，它的变形量决定了电流导入端子6在上下移动过程中的位移量大小。波纹管连接法兰4与焊接波纹管3联为一体后又与汽缸连接法兰2相接，很好的过渡了焊接波纹管3与导入驱动部分的相连，解决了两部分之间的密封问题，防止了成膜室内与大气的接触。焊接波纹管3，波纹管连接法兰4和石英管密封部连接法兰5组成了整个装置的波纹管密封部分。石英管密封部连接法兰5固定于石英管密封部8上，它的下端与焊接波纹管3相焊接，使得焊接波纹管3也能固定于石英管密封部8上，避免了焊接波纹管3与石英管密封部8直接焊接遇到的技术难题，同时石英管密封部连接法兰5也可以对电流导入端子6起到导向的作用，防止导入驱动部分挤压焊接波纹管3的过程中由于焊接波纹管3的变形而导致电流导入端子6在上下运动中可能产生的误差。电流导入端子6是外部射频电源将电流导入成膜室内部的关键器件，它的下端通过焊接波纹管3的内部与汽缸1相连，这样在汽缸1的运动过程中它也随之一起上下移动，从而完成电极引入端7的接触和拉出动作，使得外部射频电源将电流导入。电流导入端子6由轴和电流导入端子组成，它的位移根据焊接波纹管3的变形量而决定。电极引入端7和电流导入端子6接触后，将电流引入，完成成膜工程中的必要的工艺条件，由于电极引入端7是和石墨舟9连在一起的，所以它和石墨舟9一起来回运动于石英管10中。

射频电源新型导入装置的整个工作原理的过程为：

首先：石墨舟9在装片后向石英管腔体10的内部运动，电极引入端7随着石墨舟9一起进入到石英管腔体10的内部，在到位后电极引入端7正好位于电流导入端子6的上端，接着汽缸1开始工作，在汽缸1的推动下汽缸连接法兰2和波纹管连接法兰4一起挤压焊接波纹管3变形，同时电流导入端子6也随着汽缸1的推动一起向上移动，在电流导入端子6与电极引入端7相接触后，汽缸1停止工作，而焊接波纹管3也保持一定的变形量。此时外部的射频电源开始工作，电流导入端子6将电流导入，电极引入端7把电流引入工作区，完成放电。在整个成膜结束后，汽缸1开始工作，电流导入端子6随之离开电极引入端7直到起始位置，石墨舟9移动出石英管腔体10，整个工作环节完成。

射频电源新型导入装置与传统装置的区别在于传统装置的电流导入端6是与电极引入端7连接在一起的，这样在整个的工作过程中，电流导入端6势必同石墨舟9一起往复运动，所以与电流导入端6的电缆的长度必须要大于石墨舟9的行程范围，这样在工作中，石墨舟9带着长的电缆一起运动会影响整个工作的效率，石英管腔体10的密封也是一个问题，而且由于过长电缆会对电流的稳定性有所影响，从而直接影响到产品的最终质量。本射频电源新型导入装置克服了以上的缺陷，同时也对整个管式PECVD设备的外型有了优化，具有高稳定性，高安全性，可操作性，能适合批量生产的需要，能降低由于缺乏稳定性而生产不合格产品的概率，从而提高了生产效率。

Claims (4)

1、射频电源导入装置，其特征是：在石英管腔体(10)的端部有石英管密封部(8)，在石英管腔体(10)内有可以移动的石墨舟(9)，石墨舟(9)的端部有电极引入端(7)，在石英管密封部(8)的下面连接波纹管(3)，波纹管(3)的上面连接可以伸入石英管密封部(8)内的电流导入端子(6)，波纹管(3)的下面与汽缸(1)的活塞杆连接。

2、根据权利要求1所述的装置，其特征是：波纹管(3)利用石英管密封部连接法兰(5)与石英管密封部(8)连接。

3、根据权利要求1所述的装置，其特征是：波纹管(3)利用波纹管连接法兰(4)与汽缸(1)的活塞杆连接。

4、根据权利要求1或3所述的装置，其特征是：波纹管连接法兰(4)与汽缸(1)的活塞杆之间有汽缸连接法兰(2)。

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