CN2624033Y - 半导体制程设备的刚性连结构造 - Google Patents

Abstract

一种半导体制程设备的刚性连结构造，包括有一球节的本体的表面形成有多数个平面区域及螺孔，每一个螺孔皆可螺合一管件转接组，而每一个管件转接组包括一套筒、一锚定螺栓、一锥形端管及一螺栓，套筒又包括有一套筒孔及一锚定螺栓孔，螺栓又包括有一螺栓孔。套筒的外端面在对准接合于锥形端管之后，将螺栓穿过锥形端管及套筒，使螺栓的末端凸伸出套筒的内端面一适当长度，再以锚定螺栓穿过锚定螺栓孔及螺栓的螺栓孔，使套筒、锚定螺栓及锥形端管相结合为一体，锥形端管的后段又可套合一管件，该构造所架构成的框架构造平台具有安全、坚固及耐用的优点。

Description

半导体制程设备的刚性连结构造

技术领域

本实用新型是改良传统的半导体制程设备的刚性连结构造，将连结部分以一球节、一管件转接组及一管件三大部分作组合构造，发挥其方便、安全、坚固及耐用的特性。

背景技术

目前在各传统搭建平台方式中，均采用工字型钢骨架构焊接方式，此构造比旱期钢筋铁条的架构较为理想。目前该工字型钢骨架构优点在于以人工焊接方式焊合，改进早期用钢筋铁条采用铁丝捆绑方式，内部构造较为扎实稳固，相对支撑搭建的面积也可增大。在施工方面配合现代化机具，可以减少人工操作的危险性，因此目前该工字型钢骨架构配合灌浆一体成形，达到了现有的便利、安全及坚固的优点。

举例而言，目前所普遍使用在住宅、办公大楼、厂房、实验室测试平台及高料技的半导体制程设备平台，大都以工字型钢骨架构配合灌浆一体成形，甚至某些道路或桥梁也以此方式作为搭建的中心骨干，由此得知此方式也是目前业界唯一最便利、最安全及最坚固的搭建方式。其主要缺陷在于：

在传统所使用的工字型钢骨架构的连结构造中，在搬运上必须由大型机具配合，又相互焊接时，无法在其它场所事先作业，提高了现场灾害与危险性，焊接品质也很难掌控；再者，扩充与维修上，因连结构造限制，无法作局部扩充与维修工程，并未适当考虑作业品质与成本问题，因此实有必要设计出一种品质与成本兼顾的半导体制程设备的刚性连结构造。

发明内容

本实用新型的主要目的是提供一种半导体制程设备的刚性连结构造，包括搬运架设便利及焊接组装安全坚固，达到便于改善作业品质与降低成本的目的。

本实用新型的目的是这样实现的：一种半导体制程设备的刚性连结构造，包括有至少一球节及多数个管件转接组，其特征是：该球节的球节本体表面形成有多数个平面区域，每一个平面区域各设有一螺孔，每一个螺孔皆能螺合一管件转接组。

该管件转接组包括一套筒、一锥形端管及一螺栓，该套筒又包括有一套筒孔，该套筒的外端面对准接合于该锥形端管，该螺栓穿过该锥形端管及套筒，该螺栓的末端凸伸出该套筒的内端面，该套筒及锥形端管相结合为一体，该螺栓的末端螺合至该球节的球节本体的对应螺孔。该套筒更包括有一锚定螺栓孔，该螺栓更包括有一螺栓孔，该套筒的外端面对准接合于该锥形端管，该锚定螺栓穿过该套筒的锚定螺栓孔及螺栓的螺栓孔，该螺栓定位在该套筒与锥形端管中。该锥形端管的后段更套合一管件。该锥形端管与管件的套合处更以全周焊接方式予以焊定。该球节的球节本体是呈一圆形表面。

本实用新型的半导体制程设备的刚性连结构造，可由一般搬运机具作业，也可事先在安全场所组装完成，再移至现场组装，更可配合局部扩充与维修工程，相对的降低了工程成本。

本实用新型的半导体制程设备的刚性连结构造，为了解决传统工字型钢骨架构无法改变的技术问题，分别采用各组件组合的技术手段，以达到更便利、更安全及更坚固的实用功效。

本实用新型的半导体制程设备的刚性连结构造，是由一球节以四面八方幅射状，取适用的角度与每一管件转接组螺合，每一管件转接组后段又可套合一管件，当每一管件前后端均与每一管件转接组套合，每一管件转接组再与每一球节螺合，此连结构造即构成本实用新型的半导体制程设备的刚性连结构造。该每一管件转接组后段与每一管件套合后，再作CO₂混合气体半自动全周焊接组合，以达确保作业品质和安全坚固的实用功效。

通过以上各组件组合的方式，使本实用新型的半导体制程设备的刚性连结构造，达到搬运架设便利的实用功效。

下面结合较佳实施倒和附图进一步说明。

附图说明

图1是本实用新型的立体分解示意图；

图2是本实用新型的球节的放大立体示意图。

图3是本实用新型的球节的侧视示意图。

图4是图2的A-A的剖视示意图。

图5是本实用新型的多数支管件及管件转接组结合在一球节的立体示意图。

图6是本实用新型的多数支管件及多数管件转接组结合在多数个球节的立体示意图。

图7是本实用新型的倒梯形的立体示意图。

具体实施方式

参阅图1-图4所示，本实用新型的较佳实施例中，球节本体11是形成一圆形的构造，当然该球节本体11亦可为其它所须的任意构造型态。

在球节本体11的圆形表面形成有多数个平面区域12，每一个平面区域12的圆心位置处形成有一螺孔13。该球节本体11的每一个平面区域12中的螺孔13皆可螺合一管件转接组2。该球节本体11的平面区域12亦可视不同的应用作成其它的所须型态，例如，可将该平面区域12进一步形成凹部构造。

该管件转接组2的构造包括一套筒21、一锚定螺栓22、一锥形端管23及一螺栓24，该套筒21又包括有一套筒孔211及一锚定螺栓孔212。该螺栓24又包括有一螺栓孔24。该套筒21的外端面在对准接合于该锥形端管23之后，可将螺栓24穿过锥形端管23及套筒21后，使螺栓24的末端凸伸出该套筒21的内端面一适当长度，然后再以锚定螺栓22穿过锚定螺栓孔212及螺栓24的螺栓孔241，以使套筒21、锚定螺栓22及锥形端管23相结合为一体。

当套筒21、锚定螺栓22及锥形端管23通过螺栓24及锚定螺栓22相结合之后，即可以螺栓24的螺栓孔241的末端螺合至球节1的球节本体11的对应螺孔13。该锥形端管23的后段又可套合一管件3，如图4所示，显示球节1、管件转接组2以及套合管件3在结合后的剖视示意图。

如图5所示，是本实用新型的多数支管件3及管件转接组2结合在一球节1时的立体示意图，当锥形端管23套合于管件3之后，亦可以CO₂混合气体半自动全周焊接方式予以固定。

当本实用新型应用在半导体制程设备的刚性连结构造或其它应用领域时，即采用以上所揭示的构件组合，取代传统所使用的工字型钢骨架构连结或其它传统构造，如图6所示，是以本实用新型的多数支管件3及多数支管件转接组2结合在多数个球节1时的立体示意图。

如图7所示，本实用新型是采用以上所揭示的构件组合而成，当然在外观形状上亦不拘限于上述的构造体，可依环境、功能及个人所好等因素，连结成如图7所示的半导体制程设备的刚性连结构造的倒梯形立体图，及其它可行的立体构造。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，凡熟知此项技术者，依据本实用新型而作其它的改良及变化，仍属于本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1、一种半导体制程设备的刚性连结构造，包括有至少一球节及多数个管件转接组，其特征是：该球节的球节本体表面形成有多数个平面区域，每一个平面区域各设有一螺孔，每一个螺孔皆能螺合一管件转接组。

2、根据权利要求1所述的半导体制程设备的刚性连结构造，其特征是：该管件转接组包括一套筒、一锥形端管及一螺栓，该套筒又包括有一套筒孔，该套筒的外端面对准接合于该锥形端管，该螺栓穿过该锥形端管及套筒，将该套筒及锥形端管相结合为一体，该螺栓的末端凸伸出该套筒的内端面螺合至该球节的球节本体的对应螺孔。

3、根据权利要求2所述的半导体制程设备的刚性连结构造，其特征是：该套筒更包括有一锚定螺栓孔，该螺栓更包括有一螺栓孔，该套筒的外端面对准接合于该锥形端管，该锚定螺栓穿过该套筒的锚定螺栓孔及螺栓的螺栓孔，该螺栓定位在该套筒与锥形端管中。

4、根据权利要求1所述的半导体制程设备的刚性连结构造，其特征是：该锥形端管的后段更套合一管件。

5、根据权利要求4所述的半导体制程设备的刚性连结构造，其特征是：该锥形端管与管件的套合处更以全周焊接方式予以焊定。

6、根据权利要求4所述的半导体制程设备的刚性连结构造，其特征是：该球节的球节本体是呈一圆形表面。

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