CN2611387Y - 真空退火炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供的真空退火炉,包括炉体、加热电源的变压器、真空机组、冷却系统、控制柜,炉体是由水冷双层筒体结构的炉身和两端的水冷夹层炉盖构成,在炉体的卧轴线上备有加热管,外面套有陶瓷管,陶瓷管外面包有保温层,加热管里是放置退火零件或材料的空间。本实用新型提供的真空退火炉能达到高温1400℃、高真空度10-3Pa、低漏气率0.2Pa/s,具有结构紧凑、操作方便与节电等特点。
Description
技术领域:
本实用新型涉及一种热处理装置。
背景技术:
目前广泛使用的退火炉只能达到温度1200℃、真空度也甚低,而随着科技的发展,需要对各种金属进行光亮、除气处理,研究金属在高温、高真空情况下的物理性能,普通的退火炉满足不了该类研究的要求,必须提供一种能满足温度1400℃、真空度10-3Pa要求的热处理装置。
发明内容:
本实用新型提供一种能满足高温1400℃、高真空度10-3Pa、低漏气率0.2Pa/s的真空退火炉。
本实用新型提供的真空退火炉,包括炉体(1)、加热电源的变压器(2)、真空机组(3)、冷却系统、控制柜,炉体(1)是由水冷双层筒体结构的炉身(11)和两端的水冷夹层炉盖(12)构成,在炉体(1)的卧轴线上备有加热管(13),外面套有陶瓷管(14),陶瓷管(14)外面包有保温层(15),加热管(13)里是放置退火零件或材料的空间。
所述的真空退火炉加热管(13)的加热体为钼丝,以确保炉温能达到1400℃。
所述的真空退火炉加热管(13)的保温层(15)的隔垫屏为钼片,隔垫层(15)为不锈钢板与高纯Al2O3纤维组成,隔热层(15)两端分别装有气动门(16),以保证加热空间的气密性。
所述的真空退火炉的真空机组(3)包括旋片泵(31)、罗茨泵(32)、扩散泵(33),旋片泵(31)和罗茨泵(32)是串联的,这两个泵与扩散泵(33)是并联的,泵与泵之间和泵与炉体(1)之间均用阀连接,以确保真空度。
所述的真空退火炉加热电源的变压器(2)用汇流板(21)与炉体(1)相连接。
所述的真空退火炉的控制柜配有电脑程序控温仪,操作和显示器件都安装在控制柜上。
本实用新型提供的真空退火炉能达到高温1400℃、高真空度10-3Pa、低漏气率0.2Pa/s,具有结构紧凑、操作方便与节电等特点。
附图说明:
图1是真空退火炉炉体的结构示意图;
图2是真空退火炉真空机组与炉体的示意图。
具体实施方式:
真空退火炉的炉身(11)为焊接的水冷双层筒体结构,上面装有三个可以拆卸的电极,水冷夹层炉盖通过螺栓与炉身连接,两炉盖分别装有GCQ-150真空气动插板阀作为进出炉料的通道,炉身内部装有加热管(13),其外面套有陶瓷管(14),陶瓷管(14)外面包有保温层(15),保温层(15)的隔热层为不锈钢板与高纯Al2O3纤维组成,隔热屏为钼片,加热体为钼丝,并用Al2O3绝缘瓷件连接起来,隔热层两端分别装有气动门以阻挡热源。低压变压器(2)用汇流板(21)接入馈电极。冷却循环系统包括分别供给炉体(1)、水冷电极(22)、旋片泵(31)、罗茨泵(32)、扩散泵(33)冷却用的诸支路,各支路备有调节流量的手动阀门。控制系统集中布置在控制柜中,操作及显示器件都设计在模拟屏上,各种仪表都安装在控制柜上。
操作时,装入材料,设定升温曲线,启动旋片泵,待炉体内真空度达到0.1MPa,启动罗茨泵,同时打开扩散泵,一般经过30-50分钟,扩散泵就能工作。当真空度达到工艺规程指标时,接通加热电源开关。
Claims (6)
1、真空退火炉,包括炉体(1)、加热电源的变压器(2)、真空机组(3)、冷却系统、控制柜,其特征在于炉体(1)是由水冷双层筒体结构的炉身(11)和两端的水冷夹层炉盖(12)构成,在炉体(1)的卧轴线上备有加热管(13),外面套有陶瓷管(14),陶瓷管(14)外面包有保温层(15)
2、按照权利要求1所述的真空退火炉,其特征在于所述的加热管(13)的加热体为钼丝。
3、按照权利要求1所述的真空退火炉,其特征在于所述保温层(15)包括隔热屏和隔热层,隔热屏为钼片,隔热层为不锈钢板与高纯Al2O3纤维组成,保温层(15)两端分别装有气动门(16)。
4、按照权利要求1所述的真空退火炉,其特征在于所述的真空机组(3)包括旋片泵(31)、罗茨泵(32)、扩散泵(33),旋片泵(31)和罗茨泵(32)是串联的,这两个泵与扩散泵(33)是并联的,泵与泵之间和泵与炉体(1)之间均用阀连接。
5、按照权利要求1所述的真空退火炉,其特征在于所述的变压器(2)用汇流板(21)与炉体(1)相连接。
6、按照权利要求1所述的真空退火炉,其特征在于所述的控制柜配有电脑程序控温仪。
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