CN2475015Y - 电容差压/压力传感器 - Google Patents

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一种电容差压/压力传感器,包括带有引压孔的定电极及动电极、金属外壳,其中金属定电极的曲面溅射有绝缘膜层或覆盖上一层高温聚合物薄膜,并通过绝缘体与金属外壳固接成一体。它结构设计合理,既省略了对传统工艺绝缘体基底的研磨、镀金属膜层等工序,明显缩短了加工周期,提高了绝缘膜层抗静电性能,又降低了加工成本,有效提高产品质量,成品率显著提高。

Description

电容差压/压力传感器
本实用新型涉及一种测量压力的传感器，特别是一种电容差压/压力传感器。
一般常用的电容差压/压力传感器均是采用平行板电容器原理。以公式C＝ε0εS/d为例，其中C为电容量，S为电极表面积，d为定、动电极间距，ε0为常数，ε为电极间介质介电常数，式中可以看出平行板电容之间的电容量C与介质介电常数ε成正比，与电极表面积S成正比，与电极间距d成反比。其结构如图4所示，定电极8是在绝缘体5上加工成的动电极2与其组成电容器。定电极8表面一般为抛物面或其它形式的曲面，在曲面上制作绝缘膜层，以防止动电极2移动接触定电极8时短路。
上述压力传感器成形工艺流程如下：
先将绝缘体5(陶瓷体或玻璃体)与金属外壳6定电极输出极9，在高温下采用陶瓷金属化方法烧结在一起；
然后对定电极8的基底(绝缘体5)进行研磨，加工成所需的曲面；
再在此基底上镀金属膜层；
之后在此金属膜层上镀绝缘膜层；
最后将按上述工艺制成的两个定电极曲面相对与夹在中间的动电极2焊接在一起。
上述成形工艺制成的电容差压/压力传感器，绝缘体5比较硬和脆，很难加工；电极金属膜层很难与基底牢固结合，很容易被静电击穿；绝缘膜只能热阻式蒸镀，不能溅射，其很难与基底及金属膜层固接成一体；基底研磨、镀金属膜层和绝缘膜层的制作工艺周期长、占用设备多，操作非常麻烦，因此加工的产品成品率很低。
本实用新型的目的是提供一种改进的电容差压/压力传感器，它结构设计合理，既省略了对传统工艺绝缘体基底的研磨、镀金属膜层等工序，明显缩短了加工周期，提高了绝缘膜层抗静电性能，又降低了加工成本，有效提高产品质量，成品率显著提高。
本实用新型的目的是这样实现的：该装置包括带有引压孔的定电极及动电极、金属外壳，其中金属定电极的曲面溅射有绝缘膜层或覆盖上一层高温聚合物薄膜，并通过绝缘体与金属外壳固接成一体。
由于本实用新型从根本上改变定电极的结构和制作工艺，采用金属体加工成所需曲面的定电极，在其曲面上溅射绝缘膜层，所以与传统制作工艺相比，省略了绝缘体基底的研磨、镀金属膜层和绝缘膜层等制作工序，在金属体上加工曲面时间短、质量好，省工，在其曲面上溅射绝缘膜层，结合牢固，不易被静电击穿，提高了抗静电性能，因结构设计合理简化了工艺流程，缩短了加工周期，故明显降低了加工成本，其加工费用只是传统结构的20％-10％，且不受加工设备、场地、季节的限制，产品质量稳定可靠，显著提高产品成品率。
以下结合附图对本实用新型作进一步描述。
图1是本实用新型一种具体结构示意图。
图2是金属定电极的第1种装配结构示意图。
图3是金属定电极的第2种装配结构示意图。
图4是现有技术的一种结构示意图。
根据图1-4详细说明本实用新型的具体结构。该装置包括带有引压孔3的金属定电极4、动电极2、绝缘体5、金属外壳6等件。其中金属定电极4通过绝缘体5与金属外壳6固接成一体。其装配固接方法有两种：其一，将金属定电极4、绝缘体5、金属外壳6以金属化法焊接到一起；其二，将金属定电极4、绝缘体5、金属固定件7、金属外壳6装配在一起后以焊接方法固接成一体。金属定电极4固接完毕后，加工所需曲面。然后在曲面上溅射绝缘膜1或覆盖上一层高温聚合物薄膜。最后将两个金属定电极4曲面相对与夹在中间的动电极2焊接在一起，即制成电容差压/压力传感器。
使用时，与现有电容差压/压力传感器的安装、操作方法相同。

Claims (1)

1、一种电容差压/压力传感器，包括带有引压孔的定电极及动电极、金属外壳，其特征在于金属定电极的曲面溅射有绝缘膜层或覆盖上一层高温聚合物薄膜，并通过绝缘体与金属外壳固接成一体。
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