CN2473219Y - 加有电场的有机蒸发镀膜装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于电致发光技术领域,是一种附加有电场辅助装置的有机蒸发镀膜装置。本实用新型是在普通的真空有机镀膜机上,放入两个金属电极板,金属电极板在衬底基片的下方,并同其垂直。蒸发源在金属电极板的下方,蒸发物在向衬底基片迁移过程中,通过两金属电极板之间的空间,两金属极板的电压为1000伏~3000伏交流电。本实用新型可以提高有机层的聚集密度,降低有机层表面粗糙度,提高迁移率和延长器件寿命。
Description
本实用新型属于电致发光技术领域,是一种附加有电场辅助装置有机蒸发镀膜装置。
有机电致发光器件,是一种把电能直接转化为光能的器件,它的一般结构是三明治结构,在一金属阴极和一透明阳极之间夹一层或多层有机薄膜,通常称有机层。有机层是利用有机分子在蒸发状态下,分子的迁移,生长在特备的衬底上。制备电致发光器件的有机层,通常使用真空蒸发镀膜机。有机材料蒸发温度较低,有机分子在低的温度下,迁移率相对也较低,成膜时往往存在很多孔隙。含有孔隙的有机层放在空气中,水气和氧气就会进入膜中,在加电的情况下,水和氧就会同有机物发生反应,使有机层遭到破坏。这种有机层制备的发光器件,寿命短,发光质量下降。
为了减少有机层成膜时的孔隙,保证发光器件有机层的质量和寿命,本实用新型对现有的有机蒸发镀膜机进行改进,目的是提供一种改善有机蒸发镀膜成膜性能的装置。
图1为本实用新型的结构图。图中1为加热器,2衬底基片,3金属电极板,4电源,5绝缘棒,6蒸发源,7真空接口。
在真空蒸发镀膜机的密闭容器中,上部安装有加热器1,衬底基片2固定在加热器1的下面。密闭容器下部的中心放置有蒸发源6,衬底基片2保持在加热器1和蒸发源6之间。蒸发源6的位置正好使其上的蒸发物均匀地蒸镀在衬底基片2上。真空接口7用来同真空系统相连接。
本实用新型的特征是在衬底基片3的下面,蒸发源6的上面放置有两个金属电极板3,电极板3尽量靠近衬底基片,并同衬底基片2垂直。蒸发源6在金属电极3的下方,并处在金属电极板3之间,蒸发源6蒸发出的蒸发物在向衬底基片2迁移时,通过两个金属电极板3之间的空间,金属电极板3在镀膜机的密闭容器中用绝缘棒5同其它装置绝缘。两金属电极板3用导线同电源4相连。两金属电极板间电压为1000伏~3000伏。
本实用新型采用电场辅助沉积装置,提高了有机层的聚集密度,例如把喹啉铝的聚集密度由原来的0.9提高到0.97,表面粗糙度降低一倍以上,电迁移率提高20%,从而发光器件寿命延长50%。
Claims (1)
1、一种加有电场的有机蒸发镀膜装置,在密闭容器中包括有加热器(1)和真空接口(7),衬底基片(2)放在加热器(1)的下面,蒸发源(6)的上面,其特征是在衬底基片(2)和蒸发源(6)之间安装有两个金属电极板(3),两个金属电极板(3)垂直衬底基片(3),并靠近衬底基片(3),金属电极板(3)下面的蒸发源(6)蒸发物在向衬底基片(2)迁移时,通过两金属电极板(3)之间的空间;金属电极板(3)在容器内用绝缘棒同其它装置绝缘,用导线同电源(4)相连;两金属电极板(3)间电压为1000伏~3000伏。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 01208447 CN2473219Y (zh) | 2001-03-07 | 2001-03-07 | 加有电场的有机蒸发镀膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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CN2473219Y true CN2473219Y (zh) | 2002-01-23 |
Family
ID=33628624
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN2473219Y (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7648729B2 (en) | 2003-03-07 | 2010-01-19 | Seiko Epson Corporation | Mask, method of manufacturing mask, device for manufacturing mask, method of manufacturing layer of luminescent material, electro-optical device, and electronic device |
CN101838790A (zh) * | 2010-06-04 | 2010-09-22 | 涂爱国 | 一种蒸发设备 |
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- 2001-03-07 CN CN 01208447 patent/CN2473219Y/zh not_active Expired - Fee Related
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