CN2438683Y - 一种前开式晶片箱自动载入装置 - Google Patents

Abstract

一种前开式晶片箱自动载入装置,主要包括有机台、移动台、扣压机构、平移机构、以及升降机构。前开式晶片箱先置于移动台上,经由扣压机构的压板扣压定位,继而移动台向前滑移将晶片箱密合于机台背板上的出入阜与一阜门上,利用阜门背面启闭机构开启箱盖,随后阜门、箱盖借由平移机构平移后退,升降机构能再将箱盖垂直下降。能有效隔绝人体微尘,减少晶片污染,并能作为晶片制程整体自动化的一环。

Description

一种前开式晶片箱自动载入装置

本实用新型是关于一种前开式晶片箱自动载入装置，尤指一种适用于晶片制程设备之载入端界面，用以承载前开式晶片箱并自动开启或关闭其箱盖。

目前晶片制程中，均先将晶片容置于晶片箱内，只要控制晶片箱内较小空间的洁净度，就可不必太过要求外部无尘室的洁净度，借此节省晶片制程设备的洁净成本。然而，晶片箱内部虽然洁净度高，但于载入制程设备的过程中，利用人工开启箱盖或关闭动作，易将外周微尘或人体粉尘带入制程设备内污染内部晶片。

本实用新型的主要目的在于提供一种前开式晶片箱自动载入装置，俾能自动载入并启闭前开式晶片箱箱盖，隔绝主要微尘来源的人体，减少晶片受污染的可能。

本实用新型的另一目的在于提供一种前开式晶片箱自动载入装置，以能作为晶片制程实施整体自动化的一环。

为达到上述目的，本实用新型提供一种前开式晶片箱自动载入装置，主要包括一机台，于一背板中段及下段固设一置物台与一底座，并于背板上方开设有一出入阜；一移动台，滑设于置物台上方，移动台上贯设有一长孔，并以一滑移机构朝向出入阜方向趋近或远离，滑动机构是设置于移动台下方；一扣压机构，组设于移动台下方，包括一轨条固设于移动台下方，一滑块滑设于轨条并螺设于一螺杆上，及一扣压马达用以驱动螺杆旋转，滑块上方形成一压板能穿过移动台的长孔，用以扣压住前开式晶片箱底盘的扣压部；一平移机构，包括一滑轨固设于机台的底座上，滑轨上滑设有一水平平台，水平平台螺设于一水平螺杆上可受一平移马达驱动而前后水平移动；一升降机构，包括有固设于水平平台上的螺杆组与升降马达，螺杆组是于一垂直轨道上滑设一滑块，滑块并螺设于一垂直螺杆上可受升降马达驱动而上下垂直移动。

所述升降机构的滑块可与一启闭机构的支撑臂相互连结作平移与升降动作；该启闭机构可包括一阜门，对应于背板出入阜大小并恰可容置于出入阜内，且阜门二侧分别开设有二贯孔；二支撑架，分别固设于阜门背面，并分别向下延伸一支撑臂，支撑臂固定于升降机构的滑块上；及一连动组件，组设于阜门背面，是以一启闭马达带动一转轴以连动二端的二旋转键旋转，旋转键分别穿过阜门的二贯孔，以插入箱盖的二锁孔内以启闭该前开式晶片箱箱盖。

所述移动台下方组设一栓锁键，经栓锁马达旋转角度以栓锁该前开式晶片箱。

以下结合附图详细说明本实用新型的较佳实施例。其中：

图1是本实用新型实施例的外观立体图；

图2A是本实用新型实施例置物台上方的立体分解图；

图2B是本实用新型实施例置物台上方的剖视图；

图3是本实用新型实施例置物台下方的部分立体图；

图4是本实用新型实施例背面部分立体图；

图5是本实用新型实施例阜门背面的部分立体图；

图6是本实用新型实施例动作示意图。

请先参阅图1，一公知前开式晶片箱8的开口81上密封有一箱盖82，箱盖82外部二侧开设二锁孔821,821’，晶片箱8下方设有一底盘83，底盘83中央形成一固定孔831，前方形成一扣压部832。本实用新型即用来自动载入及开启或关闭该晶片箱8的箱盖82。

本实施例的机台1是以背板11固定于制程设备9的载入口上，背板11中段横向固设有置物台12，下段亦固设有底座13。背板11于邻近置物台12上方开设一出入阜110，下方纵向延设二平行长槽111,112，出入阜110前面周缘设有密封垫113以与前开式晶片箱8的开口81密合。

移动台2上凸设三定位梢201对应于晶片箱8下方底盘83凹设之三个定位槽833，能定位晶片箱8；另凸设有二检查梢202,202’对应于晶片箱8底盘83的二凹孔834,834’，检查梢202,202’只要择一装设即可，用以检查是前段或后段制程的使用，借此可因应不同制程的检测需求；二检查梢203,203’对应于晶片箱8底盘83的二检查孔835,835’，检查孔835’用以检查是十三片或二十五片装晶片箱，检查孔835用以检查是晶片箱或晶片匣；以及一侦测梢206(图2B)，用以当晶片箱8无法与上述定位梢201、检查梢202,203’配合时,造成底盘83翘起无法压下侦测梢206，借以侦测前开式晶片箱8是否正确放妥。移动台2上并贯设有一逃孔204与一长孔205。

图2A显示移动台2是以一滑移机构21滑设于置物台12上方。滑移机构21包括二平行轨道22,22’固设于置物台12上，轨道22上设有前后限位开关221,221’并滑设有一滑块23,23’，滑块23,23’固设于移动台2下方，其中一滑块23螺设于一螺杆25上，并与上方的移动台2固定，螺杆25受一滑移马达24驱动而使移动台2朝向出入阜110方向趋近或远离。

图2A、图2B表示移动台2下方组设有一栓锁键3及一扣压机构4。栓锁键3穿过移动台2的逃孔204凸伸于移动台2表面，用以插入前开式晶片箱8底盘83长孔形的固定孔831内，并以一栓锁马达31旋转90度以进行栓锁动作，栓锁马达31固定在移动台2的底部借由限位开关311,311’控制旋转90度角度。扣压机构4亦固定在移动台2之底部，包括一轨条41固设于移动台2下方，滑块42滑设于轨条41上并螺设于一螺杆44，轨条41上设有前后限位开关411,411’，螺杆44受到扣压马达43驱动旋转而促使滑块42上方的压板45能前后滑移，压板45是穿过移动台2长孔205而凸伸于移动台2表面，用以扣压住晶片箱8底盘83的扣压部832。压板45上缘二端均设有塑料滚轮46，避免压板45重压扣压部832造成扣压部832破损，且能避免与扣压部832摩擦而产生粉尘。

图3显示本实施例于机台1底座13上组设有一平移机构5与一升降机构6。平移机构5包括一固设于底座13上的滑轨51,51’，滑轨51上设有前后限位开关511,511’并滑设有一水平平台52，水平平台52螺设于一水平螺杆53上可受一平移马达54驱动而前后水平移动。升降机构6是以其螺杆组61与升降马达65直接固设于平移机构5的水平平台52上，可随该水平平台52前后水平移动。螺杆组61包括一缺口朝外的U形垂直轨道62，背面向后凸伸二导引杆621并穿过背板11上二导引孔114，作为前后稳定平移的导引构造；垂直轨道62上设有限位开关622并滑设一滑块63，滑块63螺设于一垂直螺杆64上可受升降马达65驱动而上下垂直移动。

请参阅图4、图5，本实施例背板11背面的启闭机构7，其中阜门71是对应于背板11出入阜110大小并恰可容置于出入阜110内，阜门71前面周缘设有密封垫712(图1)以与箱盖82密合，阜门71凸设有二定位梢713(图1)对就于前开式晶片箱8箱盖82凹设之二定位孔822，822’，能促使启闭箱盖82时不会异位；阜门71另于对应箱盖82二侧锁孔821,821’位置开设有二贯孔711；阜门71背面固设有二支撑架72，72’并分别向下延伸出支撑臂73,73’，支撑臂73,73’分别穿过背板11下方二长槽111,112后固定于升降机构6螺杆组61之滑块63上，使得阜门71可以被平移机构5与升降机构6分别带动作水平及升降动作。阜门71背面组设有一组连动组件74，是以启闭马达75带动一转轴76连动二端的二旋转键77,77’同向旋转，旋转键77,77’前端分别穿过二贯孔711凸伸于阜门71前面，用以插入前开式晶片箱8箱盖82的二锁孔821,821’内以进行启闭作业。

另于阜门71的顶部设置一组或二组侦测器78，当前开式晶片箱8箱盖82被打开，阜门71上下运动时，侦测器78即可侦测晶片箱8内晶片的数量，及晶片是否短少或摆放倾斜。并在背板11后面的阜门71上方设置一检测器79，可检测晶片是否凸出晶片箱8，以避免箱盖82启闭时碰触晶片以致损坏晶片。

由上述可知，当人工或自动搬运车将前开式晶片箱8置放于移动台2上，各检查梢202，203检查无误会压下侦测梢206，促使栓锁马达31将栓锁键3旋转90度进而栓锁住前开式晶片箱8底盘83的固定孔831；同时扣压马达43转动螺杆44带动压板45滑移紧紧扣压住底盘83；双重锁固可确保晶片箱8向前滑移不会偏移，并可吸收间隙。移动台2载着晶片箱8受滑移机构21带动向前滑移，使得开口81紧贴于出入阜110密封垫113上保持密封不会泄漏，故当启闭马达75旋转驱动旋转键77,77’开启箱盖82后，仍能确保晶片箱8内不受污染，然后平移机构5将开启后的箱盖82平移向后带出，再以升降机构6垂直降下，如此便可供制程设备9内的机械手臂取放晶片箱8内部的晶片。反之，若欲关闭前开式晶片箱8箱盖82则循反向动作即可。因此，能于制程设备9内自动载入及启闭，可完全隔绝人体微尘，减少晶片污染，可作为晶片制程整体自动化之一环。

应注意的是，上述诸多实施例仅是为了便于说明而已，本实用新型的保护范围应以权利要求保护的范围为准，而非仅限于上述实施例。

Claims (10)

1、一种前开式晶片箱自动载入装置，用以载入及启闭一前开式晶片箱箱盖，其特征在于主要包括：

一机台，设有一背板，分别于背板中段及下段固设一置物台与一底座，并于背板之上方开设有一出入阜；

一移动台，滑设于该置物台上方，该移动台上贯设有一长孔，该滑移机构是设置于移动台下方；

一扣压机构，组设于该移动台下方，包括一轨条固设于该移动台下方，一滑块滑设于该轨条并螺设于一螺杆上，及一扣压马达以驱动该螺杆旋转，该滑块上方形成一压板能穿过该移动台的长孔，以扣压住该前开式晶片箱底盘的扣压部；

一平移机构，包括一滑轨固设于该机台的底座上，滑轨上滑设有一水平平台，水平平台螺设于设于一水平螺杆上可受一平移马达驱动而前后水平移动；以及

一升降机构，包括有固充于该水平平台上的螺杆组与升降马达，该螺杆组是于一垂直轨道上滑设一滑块，该滑块并螺设于一垂直螺杆上可受该升降马达驱动而上下垂直移动。

2、如权利要求1所述的前开式晶片箱自动载入装置，其特征在于该升降机构的滑块与一启闭机构的支撑臂相互连结。

3、如权利要求2所述的前开式晶片箱自动载入装置，其特征在于该启闭机构包括：

一阜门，对应于该背板出入阜大小并恰可容置于该出入阜内，且该阜门二侧分别开设有贯孔；

二支撑架，分别固设于该阜门背面，并分别向下延伸一支撑臂，该等支撑臂固定于该升降机构螺杆组的滑块上；以及

一连动组件，组设于该阜门背面，并以一启闭马达驱动一转轴以连动二端的二旋转键旋转，该旋转键分别穿过该阜门的二贯孔，以插入前开式晶片箱盖的二锁孔内以启闭该前开式晶片箱箱盖。

4、如权利要求1所述的前开式晶片箱自动载入装置，其特征在于该滑移机构是在一轨道上设置一滑块，该滑块螺设于一螺杆，该螺杆又由一滑移马达驱动。

5、如权利要求1所述的前开式晶片箱自动载入装置，其特征在于该移动台上尚贯设一逃孔，呈该移动台下方组设一栓锁键，该栓锁键穿过该逃孔而凸伸于移动台表面，以插入晶片箱底盘长孔形的固定孔内，并经栓锁马达旋转角度以栓锁前开式晶片箱。

6、如权利要求1所述的前开式晶片箱自动载入装置，其特征在于该移动台尚凸设有定位梢。

7、如权利要求1所述的前开式晶片箱自动载入装置，其特征在于该移动台尚凸设有检查梢。

8、如权利要求1所述的前开式晶片箱自动载入装置，其特征在于该移动台尚凸设有侦测梢。

9、如权利要求1所述的前开式晶片箱自动载入装置，其特征在于该机台背板下方纵向设置二平行长槽。

10、如权利要求1所述的前开式晶片箱自动载入装置，其特征在于该阜门前面周缘设有密封垫。

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