CN2318232Y - 难熔金属蒸发舟 - Google Patents

Abstract

一种难熔金属蒸发舟,由带有蒸发槽的舟体和与舟体相连的左、右电极片构成,蒸发槽的开口向上,其特征是所述左、右电极片分别与舟体的左、右两侧的上沿横向相接。与现有产品相比,本实用新型的蒸发舟具有结构简单、便于采用模具制作的特点。

Description

难熔金属蒸发舟

本实用新型涉及一种用于真空镀膜的蒸发舟。

真空镀膜是指在真空状态下，将蒸发材料通电加热，熔化直至蒸发附着于被镀物上形成镀层的工艺。中国实用新型专利95240670号公开了一种作为蒸发器皿的钼舟，该钼舟由翅片、连接片、盖板、围板等构成，其作为电极的翅片位于舟体两侧，各翅片的片面与舟体的上沿呈90度夹角(即舟体的上沿仅与翅片片面的一侧相连，而翅片片面的另一侧则位于舟体的下部)。此种电极片的设置方式使蒸发舟的结构趋于复杂，增加了蒸发舟的制作难度。当使用难熔金属材料(如钨、钼、钽)时，上述结构的蒸发舟基本上难于采用模具制作。所以，上述现有产品存在着缺陷。

本实用新型的目的是提供一种便于制作的难熔金属蒸发舟。

本实用新型的难熔金属蒸发舟由带有蒸发槽的舟体和与舟体相连的左、右电极片构成，蒸发槽的开口向上，所述左、右电极片分别与舟体的左、右两侧的上沿横向相接。在本实用新型中，由于使左、右电极片与舟体的上沿横向相接，即各电极片片面与舟体的连接完全沿着舟体上沿(电极片片面的两侧均与舟体上沿相接)，蒸发舟体的结构相应得到了简化，降低了加工制作的难度，从而可以采用高温难熔材料如纯钨、钼、钽片材(厚度为0.1～1mm)，利用模具进行制作。采用模具成型的蒸发舟具有多种优点，如产品各片间外型尺寸规则，一致性好，蒸发角易于控制，各片间电参数相对稳定，便于使用，镀膜质量稳定等等。在本实用新型中，舟体和蒸发槽的形状可以根据实际需要而选用多种形式。另外，还可在舟体的上部增设用于控制蒸发速度的盖体，以进一步方便用户使用。

如上所述，与现有产品相比，本实用新型的蒸发舟具有结构简单、便于采用模具制作的特点。

本实用新型的内容结合以下实施例作更进一步的说明，但本实用新型的内容不仅限于实施例中所涉及的内容。

图1是实施例1中蒸发舟的结构示意图。

图2是实施例2中蒸发舟的结构示意图。

图3是实施例3中蒸发舟的结构示意图。

图4是实施例4中蒸发舟的结构示意图。

图5是实施例5中蒸发舟的结构示意图。

实施例1：

本实施例中的蒸发舟由难熔金属材料--钨片(厚度为0.3毫米)经模具加工而成。如图1所示，该蒸发舟由带有蒸发槽2的舟体1和与舟体1相连的左、右电极片3、4构成。蒸发槽2的开口向上。所设置的左、右电极片3、4分别与舟体1的左、右两侧之上沿横向相接。当在蒸发槽2内盛入用于蒸发的材料，并在左、右电极片3、4上以夹持方式固定电极并在真空环境中通电时，蒸发舟即可对蒸发材料加热而使之熔化，进而使其蒸发逸出，附着于被镀物上形成镀层。

实施例2：

如图2所示，本实施例中的蒸发舟与实施例1相似。所不同的是，本实施例中舟体1的形状有所改变。

实施例3：

如图3所示，本实施例中的蒸发舟亦与实施例1相似，其不同之处除舟体1的形状有所变化外，左、右电极片3、4还具有弯折段，但其仍与舟体1的上沿仍然横向相接，即二电极片片面的两侧均与舟体上沿相接。

实施例4：

如图4所示，在本实施例中，除舟体1的形状与实施例1不同外，还设置有可将蒸发槽2遮蔽的蒸发控制益5，在该蒸发控制盖5上开设有气孔6。在蒸发材料受热熔化后，即可由气孔6向外逸出。

实施例5：

如图5所示，本实施例中的蒸发舟与上例相似，不过舟体1和蒸发控制盖5、气孔6的的形状有所不同而已。

Claims (2)

1、一种难熔金属蒸发舟，由带有蒸发槽的舟体和与舟体相连的左、右电极片构成，蒸发槽的开口向上，其特征是所述左、右电板片分别与舟体的左、右两侧的上沿横向相接。

2、如权利要求1所述的蒸发舟，其特征是设置有可将蒸发槽遮蔽的蒸发控制盖，在所述蒸发控制盖上开设有气孔。

Images