CN2297252Y - 卧式喷涂热解装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于卧式喷涂热解装置设计。本实用新型设计一种加热炉与石英管为一体的喷涂装置,加热丝缠绕在石英管的外壁,再用石棉泥包裹,同时留一观察窗口,从而不仅达到可喷涂较大基板的目的而且可在喷涂同时直接观察反应情况。该装置使用方便,可根据基板大小设计制造不同直径的石英管炉,克服了受炉体限制不能喷涂较大基片的缺点,同时可随时观察反应过程,为取得高质量的膜提供了保证。
Description
本实用新型属于卧式喷涂热解装置的设计。
1983年刘雅言等人在应用化学第1卷第1期中公开了一种用于制备透明导电薄膜的卧式喷涂实验装置，该装置的左端为喷枪，喷枪的一端与溶液瓶相接，另一端与石英管的左端以磨口相接，石英管的右端与排气系统以磨口相接，在制备透明导电薄膜时，要把石英管放入加热炉内，在加热状态下喷枪喷出雾状溶液，由于石英管和加热炉是分立的，受炉腔限制，石英管的直径大小受到限制，无法喷涂较大基片，另外由于石英管放入炉体内，无法观察反应过程，操作受到限制。
本实用新型的目的是设计一种加热炉与石英管为一体的喷涂装置，加热丝缠绕在石英管的外壁，再用石棉泥包裹，同时留一观察窗口，从而不仅达到可喷涂较大基板的目的还可在喷涂同时直接观察反应情况。
本实用新型是这样实现的：卧式喷涂热解装置是由喷枪和炉体两部分构成，喷枪的主体是一圆筒形炉体，中间炉体较粗，可放不同尺寸基板，外部缠绕电热丝加热，电热丝外部再缠绕石棉泥以使温度均匀，两边炉体较细，右端有一段缠绕电热丝与石棉泥的细炉体部分为一预热室，喷枪头与预热室接近，喷枪头较长使溶液直接喷入石英炉体中部恒温区，通过雾化、高温分解达到在基片上化学沉积薄膜的目的，炉体两端分别带有磨口，左端磨口与排气系统相连接，右端内磨口直接和喷枪带有的外磨口磨接为一体，喷枪为一直角形空心管，并有一直径大于空心管的套管，在喷枪头处形成一同心圆，另一端在直角前部焊封，在焊封处的左侧垂直于套管开有一进气管，通入氮气以产生压力，使喷枪吸入溶液使其从喷枪口喷出，通过控制气体流速来控制溶液喷涂量。
本实用新型的实施方案结合附图描述如下：
附图1为卧式喷涂热解装置的示意图，图中炉帽(1)呈漏斗状，左端细口与排气系统相接，右端漏斗状口带有外磨口，石英管炉(2)中间直径粗，两端直径细，两端的细管带有内磨口，左端的内磨口与漏斗状炉帽的外磨口相匹配，右端的内磨口与喷枪(6)的外磨口相匹配，喷枪(6)为一直角形空心管，从喷枪头处套入一直径大于空心管的套管，一端与喷枪头形成一同心圆，另一端在直角前部焊封，在焊封处的左侧垂直于套管开有一进气管(8)，在进气管(8)的左侧套管的外侧焊一外磨口直径小于石英管炉(2)右端的内磨口，与其匹配，喷枪(6)的垂直部分焊一外磨口与溶液瓶(7)的内磨口相匹配，石英管炉(2)中间直径粗的部分，外壁缠绕电阻丝(4)，电阻丝缠绕至左右两端直径细的细管部分，套有陶瓷管的热电偶(5)的一端封入石英管中部，另一端从细管与粗管的嵌接处引出，电热丝(4)的外侧加盖石棉泥(3)，在石英管炉(2)中间直径粗的部分。留有一长方形观察窗口。
在使用时电热丝接入电源中，加热石英炉达到所需温度，将热电偶接入电位差计，控制温度，将待喷涂的基片放入炉中间部位，将进气管接上气体桶，以一定流速通入气体后，产生一压力，使液瓶中液体被吸入，通过喷枪以细颗粒状液珠喷入炉内基片上，将有用的化学物质雾化沉积在基板上，残余气体通过排气口排入水中过滤排出，避免环境污染。
本实用新型设计合理、使用方便，可根据基板大小设计制造不同直径的石英炉，克服了受炉体限制不能喷涂较大基片的缺点，同时可随时观察反应过程，为取得高质量的膜提供了保证。
Claims (1)
1.一种卧式喷涂热解装置，其特征在于炉帽(1)呈漏斗状，左端细口与排气系统相接，右端漏斗状口带有外磨口，石英管炉(2)中间直径粗，两端直径细，两端的细管带有内磨口，左端的内磨口与漏斗状炉帽的外磨口相匹配，右端的内磨口与喷枪(6)的外磨口相匹配，喷枪(6)为一直角形空心管，从喷枪头处套入一直径大于空心管的套管，一端与喷枪头形成一同心圆，另一端在直角前部焊封，在焊封处的左侧垂直于套管开有一进气管(8)，在进气管(8)的左侧套管的外侧焊一外磨口直径小于石英管炉(2)右端的内磨口，与其匹配，喷枪(6)的垂直部分焊一外磨口与溶液瓶(7)的内磨口相匹配，石英管炉(2)中间直径粗的部分，外壁缠绕电阻丝(4)，电阻丝缠绕至左右两端直径细的细管部分，套有陶瓷管的热电偶(5)的一端封入石英管中部，另一端从细管与粗管的嵌接处引出，电热丝(4)的外侧加盖石棉泥(3)，在石英管炉(2)中间直径粗的部分留有一长方形观察窗口。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN 96250797 CN2297252Y (zh) | 1996-12-31 | 1996-12-31 | 卧式喷涂热解装置 |
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| CN 96250797 CN2297252Y (zh) | 1996-12-31 | 1996-12-31 | 卧式喷涂热解装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN2297252Y true CN2297252Y (zh) | 1998-11-18 |
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ID=33921473
Family Applications (1)
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| CN 96250797 Expired - Fee Related CN2297252Y (zh) | 1996-12-31 | 1996-12-31 | 卧式喷涂热解装置 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN2297252Y (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112087825A (zh) * | 2020-08-24 | 2020-12-15 | 西安超码科技有限公司 | 一种一体固结封装大功率电热管及其制备方法 |
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1996
- 1996-12-31 CN CN 96250797 patent/CN2297252Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112087825A (zh) * | 2020-08-24 | 2020-12-15 | 西安超码科技有限公司 | 一种一体固结封装大功率电热管及其制备方法 |
| CN112087825B (zh) * | 2020-08-24 | 2022-06-07 | 西安超码科技有限公司 | 一种一体固结封装大功率电热管及其制备方法 |
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