CN221325526U - 一种mems老化箱 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种MEMS老化箱，属于半导体加工技术领域；包括：箱体、箱门、老化台基座、夹持板和第二垫高件，老化台包括底板、PCB基板、带套弹簧探针；夹持板正对每束带套弹簧探针的区域处均开设有夹持孔；通过在PCB基板上与带套弹簧探针建立临时性电气连接，传感器插设于夹持孔内时，传感器的引脚通过与带套弹簧探针接触，建立与PCB基板电气连接；夹持孔固定传感器，防止其倾倒；带套弹簧探针支撑传感器，所以夹持孔和带套弹簧探针配合使用，能够保持传感器在老化箱内保持不动，进行老化；老化结束后，可以立即进行标定，不需要再次建立传感器和PCB基板的电连接；实现老化和标定的无缝切换。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种MEMS老化箱，属于半导体加工技术领域。
背景技术
老化箱，是一种模拟传感器长期使用和环境影响的设备，以测试和评估传感器在各种条件下的稳定性、性能和可靠性。MEMS老化箱是专门应用于MEMS设备的老化箱。MEMS设备的气敏传感器和半导体传感器在老化测试时，通过夹持件固定在老化箱内部。虽然现在夹持件种类和结构多样，但是现有夹持件都是通过将传感器悬浮于老化箱内，以实现传感器的老化。但是随后进行的标定操作中，需要将传感器与PCB板电连接。所以从老化操作切换到标定操作需要更换传感器的固定方式，使用不便。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题在于，从老化操作切换到标定操作需要更换传感器的固定方式。
本实用新型所要解决的技术问题采取以下技术方案来实现：
方案一：一种MEMS老化箱，包括：箱体，所述箱体配套设置有箱门；老化台基座，所述老化台基座固定安装于箱体内部；所述老化台基座包括底板和固定安装于底板上的PCB基板，所述PCB基板上固定连接有若干束带套弹簧探针；夹持板，所述夹持板正对每束带套弹簧探针的区域处均开设有夹持孔，所述夹持板承托于PCB基板上，所述夹持板和PCB基板设置有第二垫高件。
作为优选技术方案，所述底板上固定连接有若干支撑柱，若干所述支撑柱的顶端贯穿PCB基板。便于拆卸和安装PCB基板。
作为优选技术方案，所述支撑柱上固定连接有使PCB基板悬浮于底板上的第一垫高件，所述PCB基板由第一垫高件支撑，便于PCB基板散热。
作为优选技术方案，所述支撑柱还贯穿夹持板，所述支撑柱上活动套设有连接套，所述连接套由PCB基板承托，所述夹持板由连接套承托。便于支撑板和PCB基板的拆卸和安装。
方案二，基于方案一，为了避免因泄露破坏老化气体氛围，还设置了密封圈。
作为优选技术方案，所述箱门和箱体之间还设置有密封圈。密封圈固定安装于箱体朝向箱门的一侧或者箱门朝向箱体的一侧，以提高老化箱气密性。
方案三，基于方案一，为了无缝切换接入老化气体，老化箱上固定连接有至少三个进气管。进气管设置于箱体或者箱门上均可。
作为优选技术方案，老化箱上固定连接有若干四通接头。可以节省设置于箱体内部的连接管道和连接件，有利于精简箱体内部结构。
本实用新型的有益效果是：
通过在PCB基板上与带套弹簧探针建立临时性电气连接，传感器插设于夹持孔内时，传感器的引脚通过与带套弹簧探针接触，建立与PCB基板电气连接。第二垫高件增加夹持孔与带套弹簧探针之间的距离，以便夹持孔的高度能够稳定的夹持传感器，防止传感器倾倒；带套弹簧探针支撑传感器，所以夹持孔和带套弹簧探针配合使用，能够保持传感器在老化箱内保持不动，进行老化。老化结束后，可以立即进行标定，不需要再次建立传感器和PCB基板的电连接。实现老化和标定的无缝切换。
附图说明
图1为本实用新型第一视角立体结构示意图；
图2为本实用新型第二视角结构示意图；
图3为老化台基座和夹持板结构示意图。
图中：1、箱体；2、箱门；3、支撑柱；4、老化台基座；401、底板；402、PCB基板；403、第一垫高件；404、带套弹簧探针；405、第二垫高件；5、夹持板；501、夹持孔；6、密封圈；7、四通接头。
具体实施方式
为了对本实用新型的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“横向”、“纵向”、“末端”、“边沿”、“侧壁”、“上”、“下”、“上部”、“下部”、“正上方”、“表面”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”、“端”、“首”、“尾”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型的技术方案和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
如图1和图2所示，本实施例提供了一种MEMS老化箱，包括：
箱体1，箱体1可以为任意形状，本实用新型以长方向形状的箱体1为例进行说明。所述箱体1配套设置有箱门2；箱门2与箱体1可以采用现有连接方式连接，例如铰接配合卡扣连接。打开箱门2，以将待老化传感器放入箱内。
如图3所示，老化台基座4包括底板401，若干PCB基板402固定安装于底板401上。底板401连同安装于底板401上的若干PCB基板402安装于箱体1内部。箱体1内部可以同时安装若干个老化台基座4。作为优选，底板401上固定连接有若干支撑柱3，若干支撑柱3的顶端贯穿PCB基板402，支撑柱3对PCB基板402起到限位作用，PCB基板402无法移动，实现固定安装于底板401上。而且，PCB基板402能够从支撑柱3中取出，便于PCB基板402拆卸。作为优选，所述支撑柱3上固定连接有第一垫高件403，第一垫高件403可以为任意形状，但是若干第一垫高件403的高度需相同，使PCB基板402任意位置均与底板401等距，以形成支撑稳定的老化台基座4。PCB基板402由若干第一垫高件403承托，以实现在PCB基板402与底板401之间留设散热间隙。
所述PCB基板402上固定连接有若干束带套弹簧探针404，每束带套弹簧探针404的电压可独立调节，对应一组老化工艺。
带套弹簧探针404通过与传感器引脚接触以获取脉冲信号，该脉冲信号经过PCB基板402内置电路传递到处理器中，获取标定曲线。
所述PCB基板402上固定连接有若干第二垫高件405，用于支撑夹持板5。第二垫高件405是为了垫高夹持板5，以与PCB基板402形成高度差，以便夹持孔501更好的固定传感器。第二垫高件405形状不限，但是要求若干第二垫高件405等高，已确保夹持板5各处相对于PCB基板402等高。作为优选，第二垫高件405为活动套设于支撑柱3上的支撑套，所述支撑柱3活动贯穿夹持板5，所述支撑套的顶端支撑夹持板5。所以支撑板、PCB基板402安装和拆卸均很方便。
夹持板5，所述夹持板5正对每束带套弹簧探针404的区域处均开设有夹持孔501，从俯视视角看，每个夹持孔501正对一束带套弹簧探针404。老化操作时，将传感器以引脚端朝向弹簧探针的方式插设于夹持孔501中，传感器的引脚与弹簧探针接触，传感器靠在夹持孔501上，以进行老化。老化结束后再进行标定，中间无需更换传感器的位置，实现老化和标定工艺无缝连接。
如图1所示，在另外一些实施例中，所述箱门2和箱体1之间还设置有密封圈6，密封圈6包围箱体1开口，当箱门2覆盖于箱体1上时，箱门2和箱体1通过密封圈6过盈接触，以提高老化箱气密性。密封圈6可以固定安装于箱体1朝向箱门2的一侧，密封圈6可以固定安装于箱门2朝向箱体1的一侧。
如图2所示，在另外一些实施例中，所述老化箱上固定连接有至少三个进气管，进气管设置于箱体1或者箱门2上均可，以便于无缝切换接入至少三种老化气体。优先选择采用若干四通接头7，可以节省设置于箱体1内部的连接管道和连接件，有利于精简箱体1内部结构。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本领域的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入本实用新型要求保护的范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (7)
1.一种MEMS老化箱，其特征在于，包括：
箱体（1），所述箱体（1）配套设置有箱门（2）；
老化台基座（4），所述老化台基座（4）固定安装于箱体（1）内部；所述老化台基座（4）包括底板（401）和PCB基板（402），所述PCB基板（402）上固定连接有若干束带套弹簧探针（404）；
夹持板（5），所述夹持板（5）正对每束带套弹簧探针（404）的区域处均开设有夹持孔（501），所述夹持板（5）承托于PCB基板（402）上，所述夹持板（5）和PCB基板（402）设置有第二垫高件（405）。
2.根据权利要求1所述的一种MEMS老化箱，其特征在于，所述底板（401）上固定连接有若干支撑柱（3），若干所述支撑柱（3）的顶端贯穿PCB基板（402）。
3.根据权利要求2所述的一种MEMS老化箱，其特征在于，所述支撑柱（3）上固定连接有使PCB基板（402）悬浮于底板（401）上的第一垫高件（403），所述PCB基板（402）由第一垫高件（403）支撑。
4.根据权利要求2所述的一种MEMS老化箱，其特征在于，所述支撑柱（3）还贯穿夹持板（5），所述支撑柱（3）上活动套设有连接套，所述连接套由PCB基板（402）承托，所述夹持板（5）由连接套承托。
5.根据权利要求1所述的一种MEMS老化箱，其特征在于，所述箱门（2）和箱体（1）之间还设置有密封圈（6），用以提高老化箱气密性。
6.根据权利要求1所述的一种MEMS老化箱，其特征在于，所述老化箱上固定连接有至少三个进气管。
7.根据权利要求6所述的一种MEMS老化箱，其特征在于，所述老化箱上固定连接有四通接头（7）。
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN221325526U true CN221325526U (zh) | 2024-07-12 |
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