CN221302142U - 一种平面度检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于平面度检测技术领域，公开了一种平面度检测装置，包括安装架组件和深度表，深度表滑动设置于安装架组件上，安装架组件和深度表可作为整体使用，安装架组件和深度表可整体取放于产品表面，且使深度表的检测端与待检测产品表面接触，在对产品进行平面度检测时，可通过滑动深度表以及移动安装架组件将深度表的检测端置于产品表面的各个点位，且深度表滑动设置于安装架组件上，在检测产品表面平面度时，操作简便，且深度表检测数据可视，所测产品平面或产品表面各点位凹陷值更加直观。

Description

一种平面度检测装置

技术领域

本实用新型涉及平面度检测技术领域，尤其涉及一种平面度检测装置。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。靶材大多由多种金属焊接而成，容易变形，而溅射面材料多为高纯度金属或特种金属，因为靶材的贵重性，溅射面加工余量有限，加之很多特种金属容易变形，靶材也有材料厚度均匀性要求，所以加工前需要进行平面度检测，检测合格方能继续加工。

现有检测工具多为水平尺，十字架等，需要配合塞尺使用，将十字架或水平尺固定于靶材表面，通过在各个点位放置塞尺的数量判定靶材表面平面度，存在无法准确读取数值以及浪费时间的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种平面度检测装置，以解决产品的平面度检测无法实现数据可视化，以及检测过程操作复杂，浪费时间，且造成平面度检测值不准确的问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

提供一种平面度检测装置，包括：

安装架组件，所述安装架组件用于与待检测产品的表面接触；

深度表，设有至少一个，所述深度表滑动设置于所述安装架组件上，所述深度表的检测端与所述待检测产品的表面接触，用于检测所述待检测产品各点位处的凹陷值。

作为优选，所述安装架组件包括：

第一安装架，所述第一安装架包括至少两个安装杆，至少两个所述安装杆交叉设置，至少一个所述安装杆上滑动设有至少一个所述深度表，所述安装杆与所述待检测产品表面接触；

第一辅助件，所述第一辅助件与所述第一安装架连接，所述第一辅助件用于辅助人工取放所述安装架于所述待检测产品上。

作为优选，所述第一辅助件包括多个第一辅助杆，相邻的两个所述安装杆之间分别连接有至少一个所述第一辅助杆。

作为优选，相邻的两个所述安装杆相向的侧壁分别设有至少一个卡槽，所述第一辅助杆的两端卡接于所述卡槽内。

作为优选，至少一个所述安装杆上沿所述安装杆的长度方向设有滑槽，所述滑槽内滑动设有滑动件，所述滑动件上设有所述深度表。

作为优选，每个所述安装杆上沿所述安装杆的长度方向分别设有滑槽，所述滑槽内滑动设有滑动件，所述深度表可拆卸连接于任一滑动件。

作为优选，所述滑动件上螺接有锁紧件，所述锁紧件能抵压于所述滑槽的槽底。

作为优选，所述平面度检测装置还包括磁吸组件，所述安装架组件上与所述待检测产品接触的一侧设有至少一个磁吸组件。

作为优选，所述安装架组件还可以包括：

第二安装架，所述第二安装架为环形件，所述深度表滑动且可拆卸地设置于所述第二安装架上；

第二辅助件，设置于所述第二安装架上，所述第二辅助件用于辅助人工取放所述安装架于所述待检测产品上，所述第二辅助件包括第二辅助杆，所述第二辅助杆的一端与所述第二安装架的端面固定连接。

作为优选，所述第二安装架上设有深度表安装件，所述深度表安装件与所述第二安装架的内侧壁或外侧壁滑动连接，所述深度表与所述深度表安装件可拆卸连接。

本实用新型的有益效果：

本实用新型所提供的平面度检测装置包括安装架组件和深度表，安装架组件用于将平面度检测装置放置于待检测产品的表面，深度表的检测端与产品的表面接触，用于检测产品各点位处的凹陷值，安装架组件和深度表可整体使用，灵活取放于待检测产品表面的各点位，实现平面度检测数据可视化，且安装架和深度表整体的移动或转动能检测出多处点位的凹陷值，深度表滑动设置于安装架组件上，可使平面度检测装置在安装架不移动位置时，检测产品上多处点位的凹陷值，在检测产品平面度时，操作简便，节约时间。

附图说明

图1是本实用新型具体实施例所提供的平面度检测装置的结构示意图；

图2是本实用新型另一具体实施例所提供的平面度检测装置的结构示意图。

图中：

1、安装架组件；11、第一安装架；111、滑槽；12、第一辅助件；13、第二安装架；131、弧形滑槽；14、第二辅助件；2、深度表；3、产品；4、磁吸组件。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

本实用新型具体实施例提供了一种平面度检测装置，可用于检测靶材产品表面各点位处的凹陷值，从而判断靶材产品厚度的均匀是否均匀以及靶材产品的平面度是否符合要求，以便后续加工。如图1所示，具体地，本实施例所提供的平面度检测装置包括安装架组件1和深度表2，安装架组件1用于与待检测产品3的表面接触；深度表2设有至少一个，深度表2滑动设置于安装架组件1上，深度表2的检测端与待检测产品3的表面接触，用于检测产品3各点位处的凹陷值。具体地，深度表2为数显深度表或机械指针式深度表。在本实施例中，深度表2选择数显深度表，数显深度表可以使检测到的数值更加直观，降低工人的操作难度。

本实用新型具体实施例所提供的平面度检测装置包括安装架组件1和深度表2，安装架组件1用于将平面度检测装置放置于待检测产品3的表面，深度表2的检测端与产品3的表面接触，用于检测产品3各点位处的凹陷值，安装架组件1和深度表2可整体使用，灵活取放于待检测产品3表面的各点位，实现平面度检测数据可视化，且安装架和深度表2整体的移动或转动能检测出多处点位的凹陷值，深度表2滑动设置于安装架组件1上，可使平面度检测装置在安装架不移动位置时，便于检测产品3上多处点位的凹陷值，使检测产品3平面度时，操作简便，节约时间。

在一些实施例中，如图1所示，安装架组件1包括第一安装架11和第一辅助件12，第一安装架11包括至少两个安装杆，至少两个安装杆交叉设置，至少一个安装杆上滑动设有至少一个深度表2，安装杆与产品3表面接触；第一辅助件12与第一安装架11连接，第一辅助件12用于辅助人工取放第一安装架11于待检测产品3上。具体地，可在安装杆上，与第一辅助杆接触点的两侧分别滑动设有深度表2，由于第一辅助杆的设置，深度表2在安装杆上的滑动距离有限，设置两个深度表2，可在不移动安装架组件1的情况下，沿安装杆直线方向上检测到尽可能多的点位，且每个安装杆均具有与产品3表面接触的支撑面，该支撑面的面积使支撑架组件能平稳地放置于待检测产品3的表面。

进一步地，第一辅助件12包括多个第一辅助杆，相邻的两个安装杆之间分别连接有至少一个第一辅助杆。第一辅助杆除了用于辅助人工取放第一安装架11于待检测产品3上，还能连接安装杆，且相邻的两个安装杆之间均设有第一辅助杆，提高了第一安装架11的结构强度。

具体地，在本实施例中，第一安装架11包括两个安装杆，两个安装杆交叉形成“十字架”，十字架的设计可使第一安装架11上安装有深度表2后，第一安装架11能平稳地放置于产品3表面，防止由于深度表2具有重量使第一安装架11发生倾倒。第一安装架11的交叉点将第一安装架11分为四部分，每相邻的两部分之间均设有一个第一辅助杆，四个第一辅助杆围设成“菱形”，该结构便于人工手握操作且具有稳定性。

进一步地，相邻的两个安装杆相向的侧壁分别设有至少一个卡槽，第一辅助杆的两端卡接于卡槽内，便于将第一辅助杆和第一安装架11拆卸开来。在其他实施例中，也可将第一辅助杆焊接固定于第一安装架11上。

进一步地，至少一个安装杆上沿安装杆的长度方向设有滑槽111，滑槽111内滑动设有滑动件，每个滑动件上分别设有深度表2。

优选地，每个安装杆上均设有滑槽111，滑槽111内设有滑动件，每个滑动件上分别设有深度表2。在将平面度检测装置放置于待检测产品3的表面上后，可以同时测量待检测产品3上不同方位、不同位置的点，减少了移动第一安装架11的次数，降低了检测人员的劳动强度。

在其他一些实施例中，每个安装杆上沿安装杆的长度方向分别设有滑槽111，滑槽111内滑动设有滑动件，其中一个滑动件上可拆卸连接有深度表2。在对设有深度表2的安装杆位置处的待检测产品3测量完毕后，拆卸深度表2，将深度表2安装于另一个安装杆的滑动件上进行测量，减少了移动第一安装架11的次数，降低了检测人员的劳动强度。

滑动件上螺接有锁紧件，锁紧件能抵压于滑槽111的槽底。滑槽111和滑动件的设置使安装架组件1在不移动的情况下，通过深度表2在待测产品3表面滑动，能检测出尽量多的点位处的凹陷值，在深度表2进行检测工作时，通过锁紧件将深度表2的位置锁定，以提高检测值的精度。

可选地，平面度检测装置还包括磁吸组件4，安装架组件1上与待检测产品3接触的一侧设有至少一个磁吸组件4。在本实施例中，由于待检测产品3靶材为金属材料，设置磁吸组件4可使第一安装架11稳定地吸附于待检测产品3的表面不发生松动，对产品3表面每个点位的检测值更加准确，且在一个安装杆的两端各设有一个磁吸组件4，两个磁吸组件4的设置适应于第一安装架11的结构，使第一安装架11更加平稳地放置于产品3表面。磁吸组件4优选为电磁铁，电磁铁被通电后吸附待检查产品3，电磁铁被断电后不吸附待检测产品，保护待检测产品3不受损。

该平面度检测装置使用时，具体操作步骤如下：

步骤一：将深度表2调零并安装于安装架组件1上。

步骤二：手持第一辅助杆，将深度表2的检测端对准产品3表面待检测的点位处，将平面度检测装置放置于产品3表面，读数。

步骤三：手持第一辅助杆，旋转平移平面度检测装置，更换深度表2的检测端与待测产品3的接触位置，得到其他点位处凹陷值的读数。

步骤四：重复步骤三，得到待测产品3表面任意点位处的凹陷值，进而对产品3平面度进行评判。

在另一些实施例中，如图2所示，安装架组件1包括第二安装架13和第二辅助件14，第二安装架13为环形件，深度表2滑动且可拆卸地设置于第二安装架13上；第二辅助件14设置于第二安装架13上，第二辅助件14用于辅助人工取放安装架于待检测产品3上。第二辅助杆的设置避免了操作人员拿放安装架组件1时直接接触第二安装架13，导致磨损第二安装架13，且环形件的一端端面与待测产品3表面接触，该端面的宽度使环形件能平稳地放置于待测产品3的表面。

可选地，第二辅助件14包括第二辅助杆，第二辅助杆的一端与第二安装架13的端面固定连接；第二安装架13上设有深度表安装件，深度表安装件与第二安装架13的内侧壁或外侧壁滑动连接，深度表2与深度表安装架可拆卸连接。

第二安装架13和第二辅助件14的连接方式可为焊接或通过螺栓连接等连接方式；第二辅助杆设计为一个，结构简洁，便于操作；深度表2安装件可通过螺栓等连接件安装于第二安装架13上，深度表2通过深度表安装件安装于第二安装架13上，便于拆卸深度表2。第二辅助杆设置的位置不影响深度表安装件在第二安装架13上滑动，深度表安装件可以设置在第二安装架13的内侧壁，也可以设置在第二安装架13的外侧壁。

第二安装架13的内侧壁或外侧壁沿周向设有弧形滑槽131，弧形滑槽131内滑动设有滑动件，滑动件上可拆卸连接有深度表2。滑动件上螺接有锁紧件，锁紧件能抵压于弧形滑槽131的槽底。弧形滑槽131和滑动件的设置使安装架组件1在不移动的情况下，通过深度表2在待测产品3表面滑动，能检测出尽量多的点位处的凹陷值，在深度表2进行检测的时候，通过锁紧件将深度表2的位置锁定，以提高检测值的精度。

在其他一些实施例中，第二辅助件14包括多个第二辅助杆，第二辅助杆的一端与第二安装架13的内侧壁连接，第二辅助杆的另一端延伸至第二安装架13的中心位置，且多个第二辅助杆的端部于第二安装架13的中心位置处连接，此时需要将深度表2安装于环形杆的外侧壁上，避免深度表2与第二辅助杆发生干涉。

该平面度检测装置使用时，具体操作步骤如下：

步骤一：将深度表2调零并安装于安装架组件1上。

步骤二：手持第第二辅助杆，将深度表2的检测端对准产品3表面待检测的点位处，将平面度检测装置放置于产品3表面，读数。

步骤三：手持第二辅助杆旋转平移平面度检测装置，更换深度表2的检测端与待测产品3的接触位置，得到其他点位处凹陷值的读数。

步骤四：重复步骤三，得到待测产品3表面任意点位处的凹陷值，进而对产品3平面度进行评判。

本实用新型具体实施例所提供的安装架组件1与深度表2的连接方式适用于任何需要检测平面度的产品。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种平面度检测装置，其特征在于，包括：

安装架组件(1)，所述安装架组件(1)用于与待检测产品(3)的表面接触；

深度表(2)，设有至少一个，所述深度表(2)滑动设置于所述安装架组件(1)上，所述深度表(2)的检测端与所述待检测产品(3)的表面接触，用于检测所述待检测产品(3)各点位处的凹陷值。

2.根据权利要求1所述的平面度检测装置，其特征在于，所述安装架组件(1)包括：

第一安装架(11)，所述第一安装架(11)包括至少两个安装杆，至少两个所述安装杆交叉设置，至少一个所述安装杆上滑动设有至少一个所述深度表(2)，所述安装杆与所述待检测产品(3)表面接触；

第一辅助件(12)，所述第一辅助件(12)与所述第一安装架(11)连接，所述第一辅助件(12)用于辅助人工取放所述安装架于所述待检测产品(3)上。

3.根据权利要求2所述的平面度检测装置，其特征在于，所述第一辅助件(12)包括多个第一辅助杆，相邻的两个所述安装杆之间分别连接有至少一个所述第一辅助杆。

4.根据权利要求3所述的平面度检测装置，其特征在于，相邻的两个所述安装杆相向的侧壁分别设有至少一个卡槽，所述第一辅助杆的两端卡接于所述卡槽内。

5.根据权利要求2所述的平面度检测装置，其特征在于，至少一个所述安装杆上沿所述安装杆的长度方向设有滑槽(111)，所述滑槽(111)内滑动设有滑动件，所述滑动件上设有所述深度表(2)。

6.根据权利要求2所述的平面度检测装置，其特征在于，每个所述安装杆上沿所述安装杆的长度方向分别设有滑槽(111)，所述滑槽(111)内滑动设有滑动件，所述深度表(2)可拆卸连接于任一滑动件。

7.根据权利要求5或6所述的平面度检测装置，其特征在于，所述滑动件上螺接有锁紧件，所述锁紧件能抵压于所述滑槽(111)的槽底。

8.根据权利要求1所述的平面度检测装置，其特征在于，所述平面度检测装置还包括磁吸组件(4)，所述安装架组件(1)上与所述待检测产品(3)接触的一侧设有至少一个磁吸组件(4)。

9.根据权利要求1所述的平面度检测装置，其特征在于，所述安装架组件(1)还可以包括：

第二安装架(13)，所述第二安装架(13)为环形件，所述深度表(2)滑动且可拆卸地设置于所述第二安装架(13)上；

第二辅助件(14)，设置于所述第二安装架(13)上，所述第二辅助件(14)用于辅助人工取放所述安装架于所述待检测产品(3)上，所述第二辅助件(14)包括第二辅助杆，所述第二辅助杆的一端与所述第二安装架(13)的端面固定连接。

10.根据权利要求9所述的平面度检测装置，其特征在于，所述第二安装架(13)上设有深度表安装件，所述深度表安装件与所述第二安装架(13)的内侧壁或外侧壁滑动连接，所述深度表(2)与所述深度表安装件可拆卸连接。