CN221261290U - 一种透镜回流热板装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种透镜回流热板装置，包括主体、设在主体表面的温度显示屏与操控区，主体的顶部设有凹槽结构，主体的底部安装有等级排列的支撑件，凹槽结构包括固定在主体的内部的适配件，适配件的顶部固定连接有提拉件。本实用新型提供的透镜回流热板装置，通过设有凹槽结构，双面透镜中间有效区域处于凹槽结构的中空部分，有效的避免双面透镜的有效区域与平面热板接触，从而损坏双面透镜，且平面热板可将热量通过套筒传递至弹簧、限位圈B及支撑块的表面，以达到边缘加热传递能量，使晶圆边缘位置的透镜回流可以达到与中间位置一致的面型，进而达到回流效果好的目的，进一步的提高了均匀性。

Description

一种透镜回流热板装置

技术领域

本实用新型涉及半导体微透镜制造技术领域，尤其涉及一种透镜回流热板装置。

背景技术

透镜回流热板装置是一种用于透镜回流工艺的设备，常用于光学领域中的透镜组装和精密光学元件的制造过程。

传统的微透镜热熔方法是将光刻显影好的光刻胶胶柱放置热板上，胶柱受热熔化，通过表面界能张力作用圆柱形胶柱会回流成半球面的微透镜，晶圆在回流过程中，由于边缘效应导致边缘透镜回流面型和中间位置存在很大差异，会导致生产良率低下。

实用新型内容

鉴于上述现有晶圆在回流过程中，由于边缘效应导致边缘透镜回流面型和中间位置存在很大差异，会导致生产良率低下的问题，提出了本实用新型。

因此，本实用新型目的是提供一种透镜回流热板装置，其目的在于：解决晶圆在回流过程中，由于边缘效应导致边缘透镜回流面型和中间位置存在很大差异，会导致生产良率低下的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种透镜回流热板装置，其包括主体、设在主体表面的温度显示屏与操控区，所述主体的顶部设有凹槽结构，所述主体的底部安装有等级排列的支撑件，所述凹槽结构包括固定在主体的内部的适配件，所述适配件的顶部固定连接有提拉件，所述提拉件的两侧设有定位件，所述定位件位于主体的顶部，所述主体的顶部安装有平面热板，平面热板可对透镜进行加热。

作为本实用新型所述透镜回流热板装置的一种优选方案，其中：所述适配件包括固定在主体顶部的套筒，所述套筒的底部延伸至主体的内部，所述套筒的内部设有支撑杆，所述支撑杆的底部与主体的内部进行固定连接，所述支撑杆的内部活动套接有提拉杆。

作为本实用新型所述透镜回流热板装置的一种优选方案，其中：所述支撑杆的表面活动套接有限位圈A，所述限位圈A位于套筒的内部，且与其进行固定连接，限位圈A位于支撑杆的顶部，限位圈A可使弹簧顶部不会随着透镜的重力下移。

作为本实用新型所述透镜回流热板装置的一种优选方案，其中：所述限位圈A的底部固定连接有弹簧，所述弹簧套设在提拉杆与支撑杆的表面，所述弹簧的底部固定连接有限位圈B，限位圈B可通过支撑块带动弹簧产生形变。

作为本实用新型所述透镜回流热板装置的一种优选方案，其中：所述限位圈B位于支撑杆的表面，所述支撑杆的表面开设有环形阵列的滑轨，所述提拉杆的表面固定连接有环形阵列的滑块，滑块与滑轨可使限位圈B带动提拉杆在支撑杆的内部滑动。

作为本实用新型所述透镜回流热板装置的一种优选方案，其中：所述滑块位于滑轨的内部，且与其进行活动连接，所述滑块延伸至滑轨的表面与限位圈B的内部进行固定连接，所述限位圈B的表面固定连接有支撑块。

作为本实用新型所述透镜回流热板装置的一种优选方案，其中：所述提拉件包括固定在提拉杆顶部的框架，所述框架的一端固定连接有把手，所述框架的两侧均固定连接有限位块，通过把手可使框架带动弹簧在完成作业后复位。

作为本实用新型所述透镜回流热板装置的一种优选方案，其中：所述限位块的内部开设有缺口与卡槽，所述限位块通过缺口与框架进行固定连接，所述卡槽位于缺口的一侧，缺口与卡槽可对框架进行限位。

作为本实用新型所述透镜回流热板装置的一种优选方案，其中：所述定位件包括固定在平面热板表面的限位框，所述限位框的内部卡接有卡块，所述限位框的一侧固定连接有存放仓，所述卡块与卡槽适配，限位框与限位块通过卡块及卡槽进行卡接，限位框为绝缘体，存放仓用与放置卡块。

作为本实用新型所述透镜回流热板装置的一种优选方案，其中：所述支撑件包括固定在主体底部的固定块，所述固定块的底部固定连接有螺栓，所述螺栓的底部螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套的底部固定连接有吸盘，支撑件可使主体调整水平高度，且吸盘可使主体放置的更为稳定。

本实用新型的有益效果：

1、本实用新型，通过设有凹槽结构，双面透镜中间有效区域处于凹槽结构的中空部分，有效的避免双面透镜的有效区域与平面热板接触，从而损坏双面透镜，且平面热板可将热量通过套筒传递至弹簧、限位圈B及支撑块的表面，以达到边缘加热传递能量，使晶圆边缘位置的透镜回流可以达到与中间位置一致的面型，进而达到回流效果好的目的，进一步的提高了均匀性。

2、本实用新型，通过设有适配件与提拉件，可适配不同厚度的透镜进行作业，通过自调节高度，可以灵活适配不同尺寸的样品，确保回流加热能够满足各种样品的需求。

3、本实用新型，通过设有支撑件，在使用时，直接旋转螺纹套使其内部沿着螺栓的表面旋转，从而便可达到调整主体水平高度的目的，通过调整装置的高度，可实现更均匀的加热效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中：

图1为本实用新型透镜回流热板装置的整体结构示意图。

图2为本实用新型透镜回流热板装置的整体结构剖视图；

图3为本实用新型透镜回流热板装置的部分凹槽结构示意图；

图4为本实用新型透镜回流热板装置的部分适配件结构展示图；

图5为本实用新型透镜回流热板装置的适配件结构展示图；

图6为本实用新型透镜回流热板装置的适配件结构剖视图；

图7为本实用新型透镜回流热板装置的定位件与限位块结构展示图；

图8为本实用新型透镜回流热板装置的支撑件结构展示图。

附图标记说明：

1、主体；2、温度显示屏；3、操控区；4、凹槽结构；41、适配件；411、支撑杆；412、套筒；413、提拉杆；414、限位圈A；415、弹簧；416、支撑块；417、限位圈B；418、滑轨；419、滑块；42、提拉件；421、框架；422、把手；423、限位块；4231、缺口；4232、卡槽；43、定位件；431、限位框；432、卡块；433、存放仓；44、平面热板；5、支撑件；51、固定块；52、螺栓；53、螺纹套；54、吸盘。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合说明书附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。

实施例1

参照图1-7，为本实用新型第一个实施例，提供了一种透镜回流热板装置，此透镜回流热板装置包括主体1、设在主体1表面的温度显示屏2与操控区3，主体1的顶部设有凹槽结构4，主体1的底部安装有等级排列的支撑件5；

凹槽结构4包括固定在主体1的内部的适配件41，适配件41的顶部固定连接有提拉件42，提拉件42的两侧设有定位件43，定位件43位于主体1的顶部，主体1的顶部安装有平面热板44，适配件41包括固定在主体1顶部的套筒412，套筒412的底部延伸至主体1的内部，套筒412的内部设有支撑杆411，支撑杆411的底部与主体1的内部进行固定连接，支撑杆411的内部活动套接有提拉杆413，支撑杆411的表面活动套接有限位圈A414，限位圈A414位于套筒412的内部，且与其进行固定连接，限位圈A414位于支撑杆411的顶部，限位圈A414的底部固定连接有弹簧415，弹簧415套设在提拉杆413与支撑杆411的表面，弹簧415的底部固定连接有限位圈B417，限位圈B417位于支撑杆411的表面，支撑杆411的表面开设有环形阵列的滑轨418，提拉杆413的表面固定连接有环形阵列的滑块419，滑块419位于滑轨418的内部，且与其进行活动连接，滑块419延伸至滑轨418的表面与限位圈B417的内部进行固定连接，限位圈B417的表面固定连接有支撑块416，提拉件42包括固定在提拉杆413顶部的框架421，框架421的一端固定连接有把手422，框架421的两侧均固定连接有限位块423，限位块423的内部开设有缺口4231与卡槽4232，限位块423通过缺口4231与框架421进行固定连接，卡槽4232位于缺口4231的一侧，定位件43包括固定在平面热板44表面的限位框431，限位框431的内部卡接有卡块432，限位框431的一侧固定连接有存放仓433，卡块432与卡槽4232适配，限位框431与限位块423通过卡块432及卡槽4232进行卡接。

使用过程中，将透镜放置在四组支撑块416的表面，其受到重力会将重力传递至限位圈B417的表面，使其带动提拉杆413通过滑块419沿着滑轨418的表面进行下降，并带动弹簧415的底部拉伸，使透镜根据自身的重力下降，以适配不同厚度的透镜进行作业，通过自调节高度，可以灵活适配不同尺寸的样品，确保回流加热能够满足各种样品的需求。

当作业完成后，可直接拉动把手422使其带动框架421上升，由于框架421的底部与提拉杆413的顶部进行固定连接，且提拉杆413的底部与限位圈B417进行固定连接，所以当框架421上升的同时，会带动限位圈B417与支撑块416上升，使限位圈B417通过滑块419沿着滑轨418的内部上升，当框架421两侧的限位块423达到限位框431内部的顶部时，可将卡块432插入限位框431的内部，使其与卡槽4232重合，从而便可达到复位的目的。

平面热板44可加热，使得双面透镜受热产生回流，此外，双面透镜中间有效区域处于凹槽结构4的中空部分，有效的避免双面透镜的有效区域与平面热板44接触，从而损坏双面透镜，且平面热板44可将热量通过套筒412传递至弹簧415、限位圈B417及支撑块416的表面，以达到边缘加热传递能量，使晶圆边缘位置的透镜回流可以达到与中间位置一致的面型，进而达到回流效果好的目的，进一步的提高了均匀性。

实施例2

参照图1-8，为本实用新型的第二个实施例，该实施例不同于第一个实施例的是：

支撑件5包括固定在主体1底部的固定块51，固定块51的底部固定连接有螺栓52，螺栓52的底部螺纹连接有螺纹套53，螺纹套53的底部固定连接有吸盘54。

使用过程中，在对主体1调整高度时，可直接旋转螺纹套53使其内部沿着螺栓52的表面旋转，从而便可达到调整主体1水平高度的目的，通过调整装置的高度，可实现更均匀的加热效果。

其余结构与实施例1的结构相同。

应说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。

Claims (10)

1.一种透镜回流热板装置，包括主体(1)、设在主体(1)表面的温度显示屏(2)与操控区(3)，其特征在于：所述主体(1)的顶部设有凹槽结构(4)，所述主体(1)的底部安装有等级排列的支撑件(5)；

所述凹槽结构(4)包括固定在主体(1)的内部的适配件(41)，所述适配件(41)的顶部固定连接有提拉件(42)，所述提拉件(42)的两侧设有定位件(43)，所述定位件(43)位于主体(1)的顶部，所述主体(1)的顶部安装有平面热板(44)。

2.根据权利要求1所述的透镜回流热板装置，其特征在于：所述适配件(41)包括固定在主体(1)顶部的套筒(412)，所述套筒(412)的底部延伸至主体(1)的内部，所述套筒(412)的内部设有支撑杆(411)，所述支撑杆(411)的底部与主体(1)的内部进行固定连接，所述支撑杆(411)的内部活动套接有提拉杆(413)。

3.根据权利要求2所述的透镜回流热板装置，其特征在于：所述支撑杆(411)的表面活动套接有限位圈A(414)，所述限位圈A(414)位于套筒(412)的内部，且与其进行固定连接，限位圈A(414)位于支撑杆(411)的顶部。

4.根据权利要求3所述的透镜回流热板装置，其特征在于：所述限位圈A(414)的底部固定连接有弹簧(415)，所述弹簧(415)套设在提拉杆(413)与支撑杆(411)的表面，所述弹簧(415)的底部固定连接有限位圈B(417)。

5.根据权利要求4所述的透镜回流热板装置，其特征在于：所述限位圈B(417)位于支撑杆(411)的表面，所述支撑杆(411)的表面开设有环形阵列的滑轨(418)，所述提拉杆(413)的表面固定连接有环形阵列的滑块(419)。

6.根据权利要求5所述的透镜回流热板装置，其特征在于：所述滑块(419)位于滑轨(418)的内部，且与其进行活动连接，所述滑块(419)延伸至滑轨(418)的表面与限位圈B(417)的内部进行固定连接，所述限位圈B(417)的表面固定连接有支撑块(416)。

7.根据权利要求6所述的透镜回流热板装置，其特征在于：所述提拉件(42)包括固定在提拉杆(413)顶部的框架(421)，所述框架(421)的一端固定连接有把手(422)，所述框架(421)的两侧均固定连接有限位块(423)。

8.根据权利要求7所述的透镜回流热板装置，其特征在于：所述限位块(423)的内部开设有缺口(4231)与卡槽(4232)，所述限位块(423)通过缺口(4231)与框架(421)进行固定连接，所述卡槽(4232)位于缺口(4231)的一侧。

9.根据权利要求1所述的透镜回流热板装置，其特征在于：所述定位件(43)包括固定在平面热板(44)表面的限位框(431)，所述限位框(431)的内部卡接有卡块(432)，所述限位框(431)的一侧固定连接有存放仓(433)，所述卡块(432)与卡槽(4232)适配。

10.根据权利要求1所述的透镜回流热板装置，其特征在于：所述支撑件(5)包括固定在主体(1)底部的固定块(51)，所述固定块(51)的底部固定连接有螺栓(52)，所述螺栓(52)的底部螺纹连接有螺纹套(53)，所述螺纹套(53)的底部固定连接有吸盘(54)。