CN221141929U - 一种硅片夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种硅片夹具，包括：横梁组件，包括平行设置的第一横梁和第二横梁；连接组件，包括两个与横梁组件垂直设置的第一连接杆，且两个第一连接杆相互平行；至少一组夹持模块，每组夹持模块有两个分别安装于第一连接杆上的夹持单元；夹持单元包括活动夹和固定夹，活动夹和第一连接杆的第一表面弹性连接，固定夹和第一连接杆的第二表面固定连接。本实用新型提供的硅片夹具可对待镀膜的硅片进行稳定夹持，减少硅片上的各个位置的导电差异，使硅片镀膜均匀性得到有效提升。

Description

一种硅片夹具

技术领域

本实用新型涉及电镀处理技术领域，尤其是指一种硅片夹具。

背景技术

电镀处理是整个工艺流程的核心步骤，它将金属离子在电极上还原成为金属或合金，覆盖在硅片表面，形成金属镀层。电镀液中包含金属离子和其它化学物质，不同的电镀液可以镀不同的金属。电镀过程中，控制电位、电流密度、温度等参数，可使金属沉积在硅片表面形成均匀、致密的金属层。

目前，现有的硅片夹具在夹持硅片的过程中，在夹持的过程中，硅片会发生松动，影响硅片与夹具之间的导电性，从而影响镀膜效果，降低硅片质量。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型公开了一种硅片夹具。

本实用新型所采用的技术方案如下：

一种硅片夹具，包括：

横梁组件，包括平行设置的第一横梁和第二横梁；

连接组件，包括两个与所述横梁组件垂直设置的第一连接杆，且两个所述第一连接杆相互平行；

至少一组夹持模块，每组所述夹持模块有两个分别安装于所述第一连接杆上的夹持单元；所述夹持单元包括活动夹和固定夹，所述活动夹和所述第一连接杆的第一表面弹性连接，所述固定夹和所述第一连接杆的第二表面固定连接。

在本实用新型的一个实施例中，所述夹持模块有多组，多组所述夹持模块均布在所述第一连接杆上。

在本实用新型的一个实施例中，所述活动夹远离所述第一连接杆的一侧与所述第一连接杆的第一表面的垂直距离形成间距。

在本实用新型的一个实施例中，所述第一横梁具有相对的第一表面和第二表面，所述第一表面设有安装块；

所以连接组件还包括至少一个第二连接杆，所述第二连接杆设置在两个所述第一连接杆之间，且所述第二连接杆的一侧固定于所述安装块，所述第二连接杆的另一侧固定于所述第二横梁；所述第二连接杆上设有夹持单元，所述活动夹和所述第二连接杆的第一表面弹性连接，所述固定夹和所述第二连接杆的第二表面固定连接。

在本实用新型的一个实施例中，所述第二连接杆的夹持单元和所述第一连接杆的夹持单元的数量和位置分别对应。

在本实用新型的一个实施例中，所述活动夹远离所述第二连接杆的一侧与所述第二连接杆的第一表面的垂直距离形成间距。

在本实用新型的一个实施例中，所述第二横梁上设有至少一个第一限位块。

在本实用新型的一个实施例中，所述第一限位块为圆柱销，或者，所述第一限位块为开设限位槽的限位块。

在本实用新型的一个实施例中，所述第一连接杆的内侧壁上设有至少一个第二限位块。

在本实用新型的一个实施例中，所述第二连接杆的内侧壁上设有至少一个第二限位块。

本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

本实用新型所述的硅片夹具通过设置至少一组夹持模块，可以保证夹持点位精准无偏差，可对待镀膜的硅片进行稳定夹持，减少硅片上的各个位置的导电差异，使硅片镀膜均匀性得到有效提升。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明。

图1是本实用新型中硅片夹具的第一视角的结构示意图。

图2是图1中A处的放大示意图。

图3是本实用新型中硅片夹具的第二视角的结构示意图。

图4是图3中B处的放大示意图。

图5是本实用新型中硅片夹具的使用示意图。

说明书附图标记说明：100、横梁组件；101、第一横梁；102、第二横梁；103、安装块；104、第一限位块；200、连接组件；201、第一连接杆；202、第二连接杆；203、第二限位块；300、夹持单元；301、活动夹；302、固定夹；400、硅片。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。

关本实用新型的前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考附图对实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。以下实施例中所提到的方向用语，例如：上、下、左、右、前或后等，仅是参考附图的方向。因此，使用的方向用语是用来说明并非用来限制本实用新型，此外，在全部实施例中，相同的附图标号表示相同的元件。

实施例一

结合图1-图4，一种硅片夹具，包括：

横梁组件100，包括平行设置的第一横梁101和第二横梁102；

连接组件200，包括两个与横梁组件100垂直设置的第一连接杆201以及至少一个第二连接杆202，且两个第一连接杆201相互平行；第二连接杆202设置在两个第一连接杆201之间。具体地，第一横梁101具有相对的第一表面和第二表面，第一表面设有安装块103，第二连接杆202的一侧固定于安装块103，第二连接杆202的另一侧固定于第二横梁102。

至少一组夹持模块，每组夹持模块有两个分别安装于第一连接杆201和第二连接杆202上的夹持单元300；夹持单元300包括活动夹301和固定夹302，同一组的夹持模块一个夹持单元300的活动夹301和第一连接杆201的第一表面弹性连接，固定夹302和第一连接杆201的第二表面固定连接，另一个夹持单元300的活动夹301和第二连接杆202的第一表面弹性连接，固定夹302和第二连接杆202的第二表面固定连接。

在本实施例中，如图1所示，夹持模块有四组，优选地，四组夹持模块均布在连接组件200上，第二连接杆202的夹持单元300和第一连接杆201的夹持单元300的数量和位置分别对应，使得硅片400的受力点均匀，可以理解的是，同一组夹持模块夹持硅片400时，可以保证每组夹持模块对硅片400表面的压力相同，同时，对硅片400的夹持力分布均匀。当然，夹持模块的数量可以根据硅片400的大小进行设计。

具体地，活动夹301远离第一连接杆201的一侧与第一连接杆201的第一表面的垂直距离形成间距，则活动夹301远离第一连接杆201的一侧可上下活动；固定夹302靠近第一连接杆201的一侧贴合第一连接杆201的第二表面。可以理解的是，第一连接杆201的第一表面和第二表面是相对的。

同样地，活动夹301远离第二连接杆202的一侧与第二连接杆202的第一表面的垂直距离形成间距，则活动夹301远离第二连接杆202的一侧可上下活动；固定夹302靠近第二连接杆202的一侧贴合第二连接杆202的第二表面。可以理解的是，第二连接杆202的第一表面和第二表面是相对的。

并且，活动夹301和固定夹302均为金属材质，可以保证夹持单元300的导电性能。夹持单元300与硅片400接触的部分为碳纤维，可无损接触硅片400。

则如图5所示，单张硅片400通过第一连接杆201的夹持单元300和第二连接杆202的夹持单元夹持。

在本实施例中，第二横梁102上设有至少一个第一限位块104，其中，第一限位块104为圆柱销，或者，第一限位块104为开设限位槽的限位块，以对硅片400实现底部限位。需要说明的是，在图1或图3中，由于连接组件200可以包括或不包括第二连接杆202，因此图中均示出了第一限位块104的两种结构形式，当连接组件200包括第二连接杆202时，可采用圆柱销结构形式的第一限位块104，当连接组件200不包括第二连接杆202时，由于第一连接杆201和第二连接杆202之间的间距小于两个第一连接杆201之间的间距，对于间距较大的情况，可采用开设限位槽的第一限位块104，可以起到较好的限位作用。其中，限位槽的缺口大小可以根据硅片400的厚度进行设计。

在本实施例中，第一连接杆201的内侧壁上设有至少一个第二限位块203，以对硅片400实现侧向限位。其中，当第二限位块203的数量有多个时，多个第二限位块203均分分布在第一连接杆201的内侧壁。

本实施例的工作原理如下：

拨开夹持单元300的活动夹301，使得活动夹301和固定夹302打开，形成夹持空间，通过现有的上料机构，将硅片400放置在夹持空间内，当释放活动夹301，在活动夹301自身具有弹性的作用下，活动夹301复位，活动夹301和固定夹302夹持在硅片400的两个表面的阴极电触点，将硅片400固定，方便硅片400的装卸载，同时可以有效避免硅片400被夹碎。

随后，通电进行电镀，在硅片400上电镀形成导电电极结构，直到电镀完成。

实施例二

与实施例一不同之处在于，连接组件200不包括第二连接杆202(图中未示出)，即，

一种硅片夹具，包括：

横梁组件100，包括平行设置的第一横梁101和第二横梁102；

连接组件200，包括两个与横梁组件100垂直设置的第一连接杆201，且两个第一连接杆201相互平行；

至少一组夹持模块，每组夹持模块有两个分别安装于第一连接杆201上的夹持单元300；夹持单元300包括活动夹301和固定夹302，同一组夹持模块的其中一个夹持单元300的活动夹301和第一连接杆201的第一表面弹性连接，固定夹302和第一连接杆201的第二表面固定连接。

在本实施例中，持模块有四组，优选地，四组夹持模块均布在连接组件200上，两个第一连接杆201上的夹持单元300的数量和位置分别对应，使得硅片400的受力点均匀，可以理解的是，同一组夹持模块夹持硅片400时，可以保证每组夹持模块对硅片400表面的压力相同，同时，对硅片400的夹持力分布均匀。当然，夹持模块的数量可以根据硅片400的大小进行设计。

其余结构与实施例一所提供的硅片夹具的结构相同，且工作原理与实施例一相同，在此不再赘述。

在本实用新型实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种硅片夹具，其特征在于，包括：

横梁组件(100)，包括平行设置的第一横梁(101)和第二横梁(102)；

连接组件(200)，包括两个与所述横梁组件(100)垂直设置的第一连接杆(201)，且两个所述第一连接杆(201)相互平行；

至少一组夹持模块，每组所述夹持模块有两个分别安装于所述第一连接杆(201)上的夹持单元(300)；所述夹持单元(300)包括活动夹(301)和固定夹(302)，所述活动夹(301)和所述第一连接杆(201)的第一表面弹性连接，所述固定夹(302)和所述第一连接杆(201)的第二表面固定连接。

2.根据权利要求1所述的硅片夹具，其特征在于，所述夹持模块有多组，多组所述夹持模块均布在所述第一连接杆(201)上。

3.根据权利要求1所述的硅片夹具，其特征在于，所述活动夹(301)远离所述第一连接杆(201)的一侧与所述第一连接杆(201)的第一表面的垂直距离形成间距。

4.根据权利要求1所述的硅片夹具，其特征在于，所述第一横梁(101)具有相对的第一表面和第二表面，所述第一表面设有安装块(103)；

所以连接组件(200)还包括至少一个第二连接杆(202)，所述第二连接杆(202)设置在两个所述第一连接杆(201)之间，且所述第二连接杆(202)的一侧固定于所述安装块(103)，所述第二连接杆(202)的另一侧固定于所述第二横梁(102)；所述第二连接杆(202)上设有夹持单元(300)，所述活动夹(301)和所述第二连接杆(202)的第一表面弹性连接，所述固定夹(302)和所述第二连接杆(202)的第二表面固定连接。

5.根据权利要求4所述的硅片夹具，其特征在于，所述第二连接杆(202)的夹持单元(300)和所述第一连接杆(201)的夹持单元(300)的数量和位置分别对应。

6.根据权利要求4所述的硅片夹具，其特征在于，所述活动夹(301)远离所述第二连接杆(202)的一侧与所述第二连接杆(202)的第一表面的垂直距离形成间距。

7.根据权利要求1-6中任意一项所述的硅片夹具，其特征在于，所述第二横梁(102)上设有至少一个第一限位块(104)。

8.根据权利要求7所述的硅片夹具，其特征在于，所述第一限位块(104)为圆柱销，或者，所述第一限位块(104)为开设限位槽的限位块。

9.根据权利要求1-6中任意一项所述的硅片夹具，其特征在于，所述第一连接杆(201)的内侧壁上设有至少一个第二限位块(203)。

10.根据权利要求4-6中任意一项所述的硅片夹具，其特征在于，所述第二连接杆(202)的内侧壁上设有至少一个第二限位块(203)。