CN221109262U - 一种用于单晶炉炉内的清洁装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及单晶炉清洁设备技术领域，尤其涉及一种用于单晶炉炉内的清洁装置。本实用新型包括传动装置、第一清洁组件、承接盘和刷洗组件；传动装置包括电机和传动轴，电机竖直放置；第一清洁组件包括第一伸缩杆和第一清洁单元，第一伸缩杆通过传动轴与电机连接，第一清洁单元安装于第一伸缩杆的外壁上；承接盘的底部与第一伸缩杆的顶部连接且承接盘的外壁与炉体的内壁贴合，刷洗组件安装于承接盘的顶部，承接盘用于承接刷洗组件刷洗下来的杂质。本实用新型通过第一清洁组件、承接盘和刷洗组件能够对炉体的内壁进行全方位的清刷，提高清洗的效率；结构简单，操作方便快捷，清洁效率高，降低了生产成本，减少了安全隐患。

Description

一种用于单晶炉炉内的清洁装置

技术领域

本实用新型涉及单晶炉清洁设备技术领域，尤其涉及一种用于单晶炉炉内的清洁装置。

背景技术

目前单晶炉拆清时使用1根长约3米的厚壁PVC管，前端插入毛刷，拆清工人将PVC管另一端接入吸尘软管，通过手持的方式插入管道内进行清理，在插入炉体下端清理口处，会有大量氧化物堆积，PVC管接近底部氧化物时，氧气量增大导致复燃，管道内气体受热膨胀产生冲击波将复燃物喷出。由于拆清工人近距离接触会对身体产生危害，复燃爆炸会产生震动，临近炉如处在引晶状态，震动会导致液面抖动，使单晶断胞造成损失。爆炸后会产生大量的烟气，对车间人员的呼吸道及肺部产生影响，是污染车间环境，粉尘量的增加也会造成拉制NG、良品率下降等问题。

专利申请CN210146609U提出了“单晶炉的炉内清洁装置”，其通过在清洗部中采用可更换的除尘布的方式，避免产生二次性的碎屑，通过可伸缩的装置，清洗部和除尘部可以适用于不同的型号的单晶炉，通过低速电机的转动实现全方位的清洁。但是，清洗部在清洗的过程中极易发生清洗不完全的情况，同时，除尘部同样有可能使氧化物复燃，造成爆炸，安全性不足。

专利申请CN218864819U提出了“一种炉体清扫装置”，其通过电动推杆上的活塞杆伸出带动下压板下压进而带动连接块下压，连接块下压带动连接杆下移进而带动滑动块向清扫盘方向滑动伸出，从而扩大了清扫块的清扫面积。但是，通过压板下压带动连接杆下移而带动滑动块想清扫盘方向伸出，此方案易造成连接杆的损耗增大，连接杆易断裂，从而造成装置的损坏。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

鉴于现有技术的上述缺点、不足，本实用新型提供了一种用于单晶炉炉内的清洁装置，其解决了清洗不完全和使氧化物复燃的的技术问题。

(二)技术方案

为了达到上述目的，本实用新型采用的主要技术方案包括：

本实用新型提供一种用于单晶炉炉内的清洁装置，包括传动装置、第一清洁组件、承接盘和刷洗组件；所述传动装置包括电机和传动轴，所述电机竖直放置；所述第一清洁组件包括第一伸缩杆和第一清洁单元，所述第一伸缩杆通过所述传动轴与所述电机连接，所述第一清洁单元安装于所述第一伸缩杆的外壁上；所述承接盘的底部与所述第一伸缩杆的顶部连接且所述承接盘的外壁与炉体的内壁贴合，所述刷洗组件安装于所述承接盘的顶部，所述承接盘用于承接所述刷洗组件刷洗下来的杂质；所述传动轴能够同时带动所述第一伸缩杆、所述第一清洁单元、所述承接盘和所述刷洗组件转动。

优选地，所述第一清洁单元设有多组，多组所述第一清洁单元绕所述第一伸缩杆的轴线周向阵列。

优选地，所述第一清洁单元包括第二伸缩杆和第一清洁块；所述第二伸缩杆垂直于所述第一伸缩杆，所述第二伸缩杆的一端安装于所述第一伸缩杆的外壁上，所述第二伸缩杆的另一端与所述第一清洁块连接，所述第一清洁块的外壁上安装有无尘布。

优选地，所述刷洗组件包括第三伸缩杆和刷洗单元；所述第三伸缩杆与所述第一伸缩杆同轴设置，所述第三伸缩杆的底部连接于所述承接盘的顶部，所述刷洗单元安装于所述第三伸缩杆的外壁上。

优选地，所述刷洗单元包括第四伸缩杆和刷洗块；所述第四伸缩杆与所述第三伸缩杆垂直，所述第四伸缩杆的一端连接于所述第三伸缩杆的外壁上且所述第四伸缩杆的另一端与所述刷洗块连接。

优选地，所述清洁装置还包括多组第二清洁组件，多组所述第二清洁组件安装于所述第三伸缩杆的顶部且多组所述清洁组件绕所述第三伸缩杆的轴线周向阵列。

优选地，所述第二清洁组件包括连接杆和第二清洁单元；所述第二清洁单元包括第五伸缩杆和第二清洁块；所述连接杆同轴连接于所述第三伸缩杆的顶部，所述第五伸缩杆垂直于所述连接杆，所述第五伸缩杆的一端连接于所述连接杆的外壁上且所述第五伸缩杆的另一端连接所述第二清洁块，所述第二清洁块的外壁上安装有无尘布。

优选地，还包括喷淋组件；所述喷淋组件安装于靠近所述第三伸缩杆的顶部的外壁上，用于对炉体的内壁进行喷淋。

优选地，所述喷淋组件包括水管和喷头；所述水管安装于靠近所述第三伸缩杆的顶部的外壁上且所述水管为环形闭合，所述喷头安装于所述水管的外壁上且所述喷头与所述水管连通。

优选地，所述喷头设有多组且每组所述喷头在所述第三伸缩杆的轴向上为“八”字形，多组所述喷头在所述水管的外壁上间隔相同地分布。

(三)有益效果

本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型的一种用于单晶炉炉内的清洁装置，通过电机带动传动轴转动，从而带动第一清洁组件、承接盘和刷洗组件转动，能够对炉体的内壁进行全方位的清刷，提高清洗的效率；第一清洁组件包括第一伸缩杆和第一清洁单元，第一伸缩杆能够带动第一清洁单元朝靠近炉体的内壁处移动，以适应多种型号的单晶炉的清洁，使装置的适用性更广；通过在第一伸缩杆的顶部安装承接盘，其能够承接刷洗组件清扫下来的杂质，避免杂质污染车间；通过传动轴能够同时带动第一伸缩杆、第一清洁单元、承接盘和所述刷洗组件转动，能够对炉体的内壁进行全方位的清刷，使清刷的效果更好。本实用新型结构简单，操作方便快捷，清洁效率高，降低了生产成本，减少了安全隐患。

2、本实用新型的一种用于单晶炉炉内的清洁装置，通过设置多组第一清洁单元，并且多组第一清洁单元绕第一伸缩杆的轴线周向阵列，能够对炉体的内壁进行全方位的清扫，清扫的效率更高，效果更好。第一清洁单元包括第二伸缩杆和第一清洁块，通过第二伸缩杆的伸缩带动第一清洁块朝向炉体的内壁处移动，能够适应多种型号的炉体，使装置的适用性更广。通过在第一清洁块的外壁上安装无尘布，能够对炉体的内壁的清扫效率更高，清洁地更干净。

3、本实用新型的一种用于单晶炉炉内的清洁装置，通过设置第三伸缩杆和刷洗单元，第三伸缩杆能够带动第一清洁单元竖向伸缩，以对炉体的内壁更加全方位地刷洗。其中刷洗单元包括第四伸缩杆和刷洗块，第四伸缩杆能够带动刷洗块朝向炉体的内壁移动，以对不同型号的炉体进行清扫。

4、本实用新型的一种用于单晶炉炉内的清洁装置，通过在第三伸缩杆的顶部安装第二清洁组件，能够对炉体的内壁进行二次清洁，清洁效果更高。

5、本实用新型的一种用于单晶炉炉内的清洁装置，通过在第三伸缩杆的靠近顶部的外壁上安装喷淋组件，能够对炉体的内壁进行清洗，以对炉体的内壁更深层次的清洁。通过将喷头设置为在第三伸缩杆的轴向上为“八”字形，能够更全面地对炉体进行清洗，同时利用第二清洁组件对打湿过的炉体的内壁进行擦拭，使清洁效率更高。

附图说明

图1为本实用新型的一种用于单晶炉炉内的清洁装置的整体结构立体示意图；

图2为本实用新型的一种用于单晶炉炉内的清洁装置的前视示意图；

图3为本实用新型的一种用于单晶炉炉内的清洁装置的喷淋组件的立体结构示意图。

【附图标记说明】

1：传动装置；11：电机；12：传动轴；2：第一清洁组件；21：第一伸缩杆；22：第一清洁单元；221：第二伸缩杆；222：第一清洁块；3：承接盘；4：刷洗组件；41：第三伸缩杆；42：刷洗单元；421：第四伸缩杆；422：刷洗块；5：第二清洁组件；51：连接杆；52：第二清洁单元；521：第五伸缩杆；522：第二清洁块；6：喷淋组件；61：水管；62：喷头。

具体实施方式

为了更好的理解上述技术方案，下面将参照附图更详细地描述本实用新型的示例性实施例。虽然附图中显示了本实用新型的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本实用新型而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更清楚、透彻地理解本实用新型，并且能够将本实用新型的范围完整的传达给本领域的技术人员。

实施例一

如图1-3所示，本实施例的一种用于单晶炉炉内的清洁装置，包括传动装置1、第一清洁组件2、承接盘3和刷洗组件4。其中，传动装置1包括电机11和传动轴12，电机11竖直放置。

具体地，第一清洁组件2包括第一伸缩杆21和第一清洁单元22，第一伸缩杆21通过传动轴12与电机11连接，第一清洁单元22固定焊接于第一伸缩杆21的外壁上；承接盘3的底部焊接于第一伸缩杆21的顶部，其中，承接盘3的外壁与炉体的内壁贴合；刷洗组件4焊接于承接盘3的顶部，承接盘3用于承接刷洗组件4刷洗下来的炉体内壁上的杂质；其中，传动轴12能够同时带动第一伸缩杆21、第一清洁单元22、承接盘3和刷洗组件4转动，以在刷洗的过程中对杂质进行承接，同时，第一清洁单元22对刷洗过的炉体的内壁进行清洁擦拭，实现了刷洗和擦拭的双重清洁，有效地提高了清洁效率，降低了危险的发生。优选地，第一清洁单元22设有多组，多组第一清洁单元22绕第一伸缩杆21的轴线周向阵列，以对炉体的内壁进行更加高效的清洁擦拭，使炉体的内壁更加干净，杂质最大可能地被擦拭掉。

进一步地，第一清洁单元22包括第二伸缩杆221和第一清洁块222。第二伸缩杆221垂直于第一伸缩杆21，而且，第二伸缩杆221的一端焊接于第一伸缩杆21的外壁上，第二伸缩杆221的另一端与第一清洁块222连接，在第一清洁块222的靠近炉体的内壁的一侧安装有无尘布，通过第二伸缩杆221和第一清洁块222的设置，第二伸缩杆221能够带动第一清洁块222伸缩，以对不同大小的直径的炉体进行清洁，适应性更广；在第一清洁块222的靠近炉体的内壁的一侧安装无尘布，无尘布能够吸附杂质和吸湿，通过刷洗组件4的刷洗，炉体的内壁上多有液体，无尘布能够将炉体的内壁上的液体和杂质进行擦拭完全，保证了炉体的内壁的清洁程度，提高了工作效率。

其中，刷洗组件4包括第三伸缩杆41和刷洗单元。第三伸缩杆41与第一伸缩杆21同轴设置，第三伸缩杆41的底部焊接于承接盘3的顶部，刷洗单元42焊接于第三伸缩杆41的外壁上。

具体地，刷洗单元包括第四伸缩杆421和刷洗块422。第四伸缩杆421与第三伸缩杆41垂直，第四伸缩杆421的一端焊接于第三伸缩杆41的外壁上，第四伸缩杆421的另一端焊接刷洗块422。

其中，刷洗块422的靠近炉体的内壁的一侧安装有毛刷或者海绵布等具有刷洗和柔软的特点的工具，其不仅能够起到刷洗清洁的作用，而且还不会对炉体的内壁进行损伤，有效地降低了炉体的损坏率。

进一步地，在第三伸缩杆41的顶部焊接有第二清洁组件5，第二清洁组件5绕第三伸缩杆41的轴线周向阵列。

具体地，第二清洁组件5包括连接杆51和多组第二清洁单元52，多组第二清洁单元52绕连接杆51的轴线周向阵列；第二清洁单元52包括第五伸缩杆521和第二清洁块522，连接杆51焊接于第三伸缩杆41的顶部，并且，连接杆51与第三伸缩杆41同轴，第五伸缩杆521的一端垂直焊接于连接杆51的外壁上，第五伸缩杆521的另一端焊接第二清洁块522，第二清洁块522与第一清洁块222相同，在靠近炉体的内壁的一侧安装无尘布。

在靠近第三伸缩杆41的顶部的外壁上还焊接有喷淋组件6，其能够对炉体的内壁进行喷淋。其中，喷淋组件6包括水管61和喷头62。水管61焊接于靠近你第三伸缩杆41的顶部的外壁上，并且，水管61为环形闭合，喷头62为雾化喷头，其焊接于水管61的外壁上，喷头62与水管61连通，通过对水管61内进行注水，水流从水管61内输出至喷头62处，通过喷头62的雾化的效果，能够对炉体的内壁进行进一步地喷淋，使喷淋的效果更好。优选地，喷头62设有多组，并且，每组喷头62在第三伸缩杆41的轴向上为“八”字形，而且，多组喷头62在水管61的外壁上间隔相同地分布。通过将每组喷头62设为“八”字形，其能够对位于水管61位置的炉体的内壁进行上下喷淋，使喷淋的范围增大，而且，通过设置第二清洁块522，在向上喷淋的喷头62进行对炉体的内壁进行喷淋时，其能够第一时间进行清洁擦拭，使清洁的效果更佳。

本实施例的一种用于单晶炉炉内的清洁装置，通过以上结构，具有以下优点：

1、本实施例的一种用于单晶炉炉内的清洁装置，通过电机11带动传动轴12转动，从而带动第一清洁组件2、承接盘3和刷洗组件4转动，能够对炉体的内壁进行全方位的清刷，提高清洗的效率；第一清洁组件2包括第一伸缩杆21和第一清洁单元22，第一伸缩杆21能够带动第一清洁单元22朝靠近炉体的内壁处移动，以适应多种型号的单晶炉的清洁，使装置的适用性更广；通过在第一伸缩杆21的顶部安装承接盘3，其能够承接刷洗组件4清扫下来的杂质，避免杂质污染车间。本实施例结构简单，操作方便快捷，清洁效率高，降低了生产成本，减少了安全隐患。

2、本实施例的一种用于单晶炉炉内的清洁装置，通过设置多组第一清洁单元22，并且多组第一清洁单元22绕第一伸缩杆21的轴线周向阵列，能够对炉体的内壁进行全方位的清扫，清扫的效率更高，效果更好。第一清洁单元22包括第二伸缩杆221和第一清洁块222，通过第二伸缩杆221的伸缩带动第一清洁块222朝向炉体的内壁处移动，能够适应多种型号的炉体，使装置的适用性更广。通过在第一清洁块222的外壁上安装无尘布，能够对炉体的内壁的清扫效率更高，清洁地更干净。

3、本实施例的一种用于单晶炉炉内的清洁装置，通过设置第三伸缩杆41和刷洗单元42，第三伸缩杆41能够带动第一清洁单元22竖向伸缩，以对炉体的内壁更加全方位地刷洗。其中刷洗单元42包括第四伸缩杆421和刷洗块422，第四伸缩杆421能够带动刷洗块422朝向炉体的内壁移动，以对不同型号的炉体进行清扫。

4、本实施例的一种用于单晶炉炉内的清洁装置，通过在第三伸缩杆41的顶部安装第二清洁组件5，能够对炉体的内壁进行二次清洁，清洁效果更高。

5、本实施例的一种用于单晶炉炉内的清洁装置，通过在第三伸缩杆41的靠近顶部的外壁上安装喷淋组件6，能够对炉体的内壁进行清洗，以对炉体的内壁更深层次的清洁。通过将喷头62设置为在第三伸缩杆41的轴向上为“八”字形，能够更全面地对炉体进行清洗，同时利用第二清洁组件5对打湿过的炉体的内壁进行擦拭，使清洁效率更高。

本实施例的工作原理如下：

如图1-3所示，首先组装本实施例，然后将本实施例放置于炉体的正下方，同时驱动电机11和第三伸缩杆41，电机11带动传动轴12转动，进而带动与传动轴12直接或间接地连接的组件转动，与此同时，第三伸缩杆41伸出，使刷洗组件4置于炉体的内部且靠近炉体的底部，然后给喷淋组件6中的水管61进行注水，水流从水管61内冲出多组喷头62，水管61内注入的水流可以为添加洗涤剂或清洁剂等具有清洁的液体与水混合，然后，第四伸缩杆421伸出带动刷洗块422移至与炉体的内壁贴合处，刷洗块422对炉体的内壁进行刷洗，刷洗掉落的杂质则会掉落在承接盘3上；由于第三伸缩杆41的伸缩，带动刷洗组件4和第二清洁单元52向靠近炉体的顶部进行移动，与此同时，第二清洁单元52对喷头62喷淋的炉体的内壁进行第一次擦拭；待刷洗块422对整个炉体的内壁刷洗完全后，喷头62停止喷淋，第四伸缩杆421带动刷洗块422缩回初始位置，同时，第三伸缩杆41缩回初始位置；紧接着，第一伸缩杆21伸出，同时，第二伸缩杆221伸出带动第一清洁块222移至与炉体的内壁贴合处，在转动的同时伸出第一伸缩杆21，以对刷洗块422刷洗过的炉体的内壁进行清洁擦拭，直至第一清洁块222擦拭至炉体的顶部，已完成二次清洁擦拭；最后，第一伸缩杆21缩回，同时带动第一清洁块222向下移动，以对炉体的内壁进行第三次清洁擦拭，直至第一伸缩杆21回到初始位置。此为第一次清洁，如此反复多次，即可对炉体的内壁进行多次清洁，使清洁的效果更佳，效率更高。

实施例二

与实施例一不同的是，本实施例中的承接盘3的轴心处开设有通孔，第一伸缩杆21与第三伸缩杆41焊接，承接盘3套在第三伸缩杆41的靠近第三伸缩杆41的底部的外壁上，并通过焊接将承接盘3焊接。

通过将承接盘3的轴心处开设通孔，并焊接在第三伸缩杆的外壁上，在加装承接盘3时，其能够根据炉体的内径的大小进行选型，以适应不同内径的炉体，使本装置的适用性更广。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连；可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”，可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”，可以是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”，可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度低于第二特征。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“实施例”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述，是指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行改动、修改、替换和变型。

Claims (10)

1.一种用于单晶炉炉内的清洁装置，包括传动装置(1)，其特征在于，还包括第一清洁组件(2)、承接盘(3)和刷洗组件(4)；

所述传动装置(1)包括电机(11)和传动轴(12)，所述电机(11)竖直放置；

所述第一清洁组件(2)包括第一伸缩杆(21)和第一清洁单元(22)，所述第一伸缩杆(21)通过所述传动轴(12)与所述电机(11)连接，所述第一清洁单元(22)安装于所述第一伸缩杆(21)的外壁上；

所述承接盘(3)的底部与所述第一伸缩杆(21)的顶部连接且所述承接盘(3)的外壁与炉体的内壁贴合，所述刷洗组件(4)安装于所述承接盘(3)的顶部，所述承接盘(3)用于承接所述刷洗组件(4)刷洗下来的杂质；

所述传动轴(12)能够同时带动所述第一伸缩杆(21)、所述第一清洁单元(22)、所述承接盘(3)和所述刷洗组件(4)转动。

2.如权利要求1所述的一种用于单晶炉炉内的清洁装置，其特征在于：

所述第一清洁单元(22)设有多组，多组所述第一清洁单元(22)绕所述第一伸缩杆(21)的轴线周向阵列。

3.如权利要求2所述的一种用于单晶炉炉内的清洁装置，其特征在于：

所述第一清洁单元(22)包括第二伸缩杆(221)和第一清洁块(222)；

所述第二伸缩杆(221)垂直于所述第一伸缩杆(21)，所述第二伸缩杆(221)的一端安装于所述第一伸缩杆(21)的外壁上，所述第二伸缩杆(221)的另一端与所述第一清洁块(222)连接，所述第一清洁块(222)的外壁上安装有无尘布。

4.如权利要求1所述的一种用于单晶炉炉内的清洁装置，其特征在于：

所述刷洗组件(4)包括第三伸缩杆(41)和刷洗单元(42)；

所述第三伸缩杆(41)与所述第一伸缩杆(21)同轴设置，所述第三伸缩杆(41)的底部连接于所述承接盘(3)的顶部，所述刷洗单元(42)安装于所述第三伸缩杆(41)的外壁上。

5.如权利要求4所述的一种用于单晶炉炉内的清洁装置，其特征在于：

所述刷洗单元(42)包括第四伸缩杆(421)和刷洗块(422)；

所述第四伸缩杆(421)与所述第三伸缩杆(41)垂直，所述第四伸缩杆(421)的一端连接于所述第三伸缩杆(41)的外壁上且所述第四伸缩杆(421)的另一端与所述刷洗块(422)连接。

6.如权利要求5所述的一种用于单晶炉炉内的清洁装置，其特征在于：

所述清洁装置还包括多组第二清洁组件(5)，多组所述第二清洁组件(5)安装于所述第三伸缩杆(41)的顶部且多组所述清洁组件绕所述第三伸缩杆(41)的轴线周向阵列。

7.如权利要求6所述的一种用于单晶炉炉内的清洁装置，其特征在于：

所述第二清洁组件(5)包括连接杆(51)和第二清洁单元(52)；

所述第二清洁单元(52)包括第五伸缩杆(521)和第二清洁块(522)；

所述连接杆(51)同轴连接于所述第三伸缩杆(41)的顶部，所述第五伸缩杆(521)垂直于所述连接杆(51)，所述第五伸缩杆(521)的一端连接于所述连接杆(51)的外壁上且所述第五伸缩杆(521)的另一端连接所述第二清洁块(522)，所述第二清洁块(522)的外壁上安装有无尘布。

8.如权利要求4所述的一种用于单晶炉炉内的清洁装置，其特征在于：

还包括喷淋组件(6)；

所述喷淋组件(6)安装于靠近所述第三伸缩杆(41)的顶部的外壁上，用于对炉体的内壁进行喷淋。

9.如权利要求8所述的一种用于单晶炉炉内的清洁装置，其特征在于：

所述喷淋组件(6)包括水管(61)和喷头(62)；

所述水管(61)安装于靠近所述第三伸缩杆(41)的顶部的外壁上且所述水管(61)为环形闭合，所述喷头(62)安装于所述水管(61)的外壁上且所述喷头(62)与所述水管(61)连通。

10.如权利要求9所述的一种用于单晶炉炉内的清洁装置，其特征在于：

所述喷头(62)设有多组且每组所述喷头(62)在所述第三伸缩杆(41)的轴向上为“八”字形，多组所述喷头(62)在所述水管(61)的外壁上间隔相同地分布。