CN221107630U - 一种废气处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供了一种废气处理装置，涉及废气处理技术领域。废气处理装置包括塔体，塔体设置有进风口及出风口，进风口与出风口之间还设置有相连通的缓冲腔及吸附腔，吸附腔填充有第一吸附件，第一吸附件用于吸收废气，缓冲腔相对吸附腔远离出风口，缓冲腔用于均匀自身腔体的废气。通过第一吸附件实现对废气的吸收，有效的避免了废水的产生，进而避免由于大量废水导致环境出现二次污染。

Description

一种废气处理装置

技术领域

本实用新型涉及废气处理技术领域，具体而言，涉及一种废气处理装置。

背景技术

在半导体制造等行业中，使用特殊气体参与制程反应，产生的废气中含有少量的有毒气体，如砷烷、磷烷和硼化物。为了保护环境和人体健康，这些废气必须经过处理达到符合规范标准后才能排放入大气中。

经发明人研究发现，现有的一些废气处理装置会采用洗涤的方式进行废气处理，但通过洗涤的方式处理废气会产生大量的废水，大量的废水容易产生二次污染。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种废气处理装置，其能够避免废水的产生，进而避免由于大量废水导致环境出现二次污染。

本实用新型的实施例是这样实现的：

第一方面，本实用新型提供一种废气处理装置，包括：

塔体，塔体设置有进风口及出风口，进风口与出风口之间还设置有相连通的缓冲腔及吸附腔；

吸附腔与出风口连通且填充有第一吸附件，第一吸附件用于吸收废气；

缓冲腔与进风口连通且相对吸附腔远离出风口，缓冲腔用于均匀自身腔内的废气。

通过上述设置，由于缓冲腔能够均匀自身腔体内的废气，因此能够保证缓冲腔内的废气能够相对均匀的进入缓冲腔，第一吸附件实现对废气的吸收，有效的避免了废水的产生，进而避免由于大量废水导致环境出现二次污染。

在可选的实施方式中，废气处理装置还包括第二吸附件，第二吸附件由碱性活性炭吸附剂制成，第二吸附件设置于吸附腔内。

通过上述设置，碱性活性炭能够通过物理吸附和化学吸附能来提高对砷烷、磷烷或硼化物的吸附效果。

在可选的实施方式中，第二吸附件位于第一吸附件靠近出风口的一侧。

通过上述设置，能够确保对砷烷、磷烷或硼化物依次通过第一吸附件及第二吸附件被彻底吸附，最大限度的减少砷烷、磷烷或硼化物逃逸的风险。

在可选的实施方式中，塔体内腔呈圆柱孔状。

通过上述设置，由于塔体的内腔呈圆柱孔状，因此可以使得塔体内的气体分布相对均匀，从而能够保证气体相对均匀地在塔体内流动。

在可选的实施方式中，进风口与出风口沿塔体内腔的轴线方向依次排布，缓冲腔及吸附腔沿塔体内腔的轴线方向间隔排布。

通过上述设置，使得进风口与出风口沿碳体内腔的轴线方向上具有间距，因此能够保证从进风口进入塔体内的废气到出风口具有足够的间距，从而保证废气在吸附腔内被第一吸附件及第二吸附件吸附，从而使废气得到足够的净化。

在可选的实施方式中，进风口与出风口沿塔体的径向设置于塔体的两侧。

通过上述设置，进风口与出风口使得在径向上的也有足够的距离，保证在塔体内流动的气体有足够的距离被第一吸附件及第二吸附剂吸收。

在可选的实施方式中，塔体还开设有观察窗，观察窗位于塔体对应吸附腔的外侧。

通过上述设置，用户能够通过观察窗观测吸附腔内的状态。

在可选的实施方式中，废气处理装置还包括压差测量管路，压差测量管路至少部分设置于塔体的外侧，压差测量管至少部分位于吸附腔或缓冲腔。

通过上述设置，便于用户通过压差测量管路检测压差。

在可选的实施方式中，缓冲腔内设置有均流板，均流板开设有多个均流孔，均流孔的轴线与缓冲腔与吸附腔的排布方向一致。

通过上述设置，能够保证从进风口进入的废气在缓冲腔内相对均匀，并且在通过均流板上均流孔能够更加均匀的进入到缓冲腔内。

在可选的实施方式中，第一吸附件由活性金属材料制成。

通过上述设置，活性金属材料可以促使废气发生酸碱中或反应或氧化还原反应生成稳定的无毒无害的化合物，也可以避免生成二次污染。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型实施例提供的废气处理装置的结构示意图。

图标:1-废气处理装置；10-塔体；11-进风口；12-出风口；13-缓冲腔；14-吸附腔；15-第一吸附件；16-第二吸附件；17-观察窗；18-喷淋装置；20-压差测量管路。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合专利附图详细介绍本实用新型实施例提供的一种废气处理装置的具体结构及其带来的相应的技术效果。

请参考图1，本实用新型实施例提供的一种废气处理装置1包括塔体10。

塔体10设置有进风口11及出风口12，进风口11与出风口12之间还设置有相连通的缓冲腔13及吸附腔14，吸附腔14与出风口12连通且填充有第一吸附件15，第一吸附件15用于吸收废气，需要说明的是，此处的吸收可以理解为与废气反应，还可以理解为传统意义上的吸附，也就是说可以为将废气颗粒吸附于吸附件内。

在本实施例中，通过第一吸附件15实现对废气的吸收，有效的避免了废水的产生，进而避免由于大量废水导致环境出现二次污染。

可选的，第一吸附件由活性金属材料制成。可以理解的，由于第一吸附件内含活性金属材料，活性金属材料可以促使废气发生反应生成稳定的无毒无害的化合物，也可以避免生成二次污染。

第一吸附件15的种类可以根据不同废气的种类进行选择。例如，当废气为VOCs时，活性金属可以为铂、钯、或铑，其能够显著降低有机废气中挥发性有机化合物(VOCs)的氧化反应活化能，使反应在较低的温度下进行。在贵金属催化剂的作用下，VOCs与氧气发生氧化反应，从而实现有害物质的去除。

需要说明的是，第一吸附件15由活性金属材料制成不应理解为第一吸附件15仅包含有活性金属材料，其可以理解为主要包含活性金属材料，第一吸附件15还可以包括纳米基材及其它能够与废气发生氧化反应或酸碱中和反应的其它材料，其中与废气发生反应氧化反应或酸碱中和反应的材料为现有的一些吸附材料。

当然，在另外的一些实施例中，第一吸附件15还可以为其它活性金属材料制成。

或者，在其他的一些可选的实施例中，第一吸附件15还可以由多层子吸附剂依次排布，例如，由靠近所述出气口依次排布的砷烷类吸附剂、酸洗吸附剂及除湿剂依次排布。可以理解的，通过吸附剂优先吸附砷烷，再依次通过酸性吸附剂吸附酸性气体，并通过除湿剂对气体进行除湿。需要说明的是，上述的砷烷吸附剂、酸洗吸附剂及除湿剂均为现有吸附剂。

缓冲腔13与进风口11连通且相对吸附腔14远离出风口12，缓冲腔13用于均匀自身腔体的废气。由于缓冲腔13能够均匀自身腔体内的废气，因此，废气在进入缓冲腔13后，废气能够较为均匀的扩散在缓冲腔13内，因此能够保证缓冲腔13内的废气能够相对均匀的进入吸附腔14，从而被填充在吸附腔14内的第一吸附件15吸收，使得第一吸附件15能够相对均匀的吸附经过缓冲腔13的废气，保证了第一吸附件15的吸附废气的均匀性，也提高了第一吸附件15的利用率，避免出现第一吸附件15的某处大量吸收废气，而一些地方未吸附废气的情况。

需要说明的是，缓冲腔13可以为大尺寸的腔体，在废气从进风口11进入后，保证有足够的空间来保证缓冲腔13内的气体逐渐变得相对均匀。

可选的，在本实施例中，废气处理装置1还包括第二吸附件16，第二吸附件16由碱性活性炭吸附剂制成，第二吸附件16设置于吸附腔14内。

当废气中含有砷烷、磷烷或硼化物时，由于砷烷、磷烷或硼化物具有较高的毒性，为了保证废弃处理的安全性，在吸附腔14内还设置有第二吸附件16，因此，碱性活性炭能够通过物理吸附和化学吸附能来提高对砷烷、磷烷或硼化物的吸附效果。

可以理解的，物理吸附主要是利用碱性活性炭的多孔结构，将有毒成分分子吸附在多孔结构上。化学吸附主要是利用碱性活性炭的碱性表面与有毒成分发生化学反应。因此，可以通过在第一吸附件15上设置第二吸附件16，来保证吸附腔14对废气中砷烷、磷烷或硼化物的处理，保证废气处理的净化程度。

进一步地，在本实施例中，第二吸附件16位于第一吸附件15靠近出风口12的一侧。具体的，第二吸附件16与第一吸附件15连接，并且位于第一吸附件15靠近出风口12的一侧，也就是说，第二吸附件16位于吸附腔14的末端，将第二吸附件16位于吸附腔14的末端，能够确保对砷烷、磷烷或硼化物依次通过第一吸附件15及第二吸附件16被彻底吸附，最大限度的减少砷烷、磷烷或硼化物逃逸的风险。

当然，在另外的一些可选的实施例中，第二吸附件16还可以位于第一吸附件15靠近进风口11的一侧。

可选的，在本实施例中，塔体10内侧壁为圆弧侧壁，换句话说，缓冲腔13及吸附腔14也均为圆弧侧壁，可以理解的，相对于一些呈棱柱结构的塔体10，可以理解的，棱柱状的塔体10的内腔大致呈棱柱孔状，具有圆弧侧壁相对于多个板状围成的侧壁更能使得废气顺畅的流动。

进一步地，塔体10内腔呈圆柱孔状，可以理解的，由于塔体10的内腔呈圆柱孔状，因此可以使得塔体10内的气体分布相对均匀，从而能够保证气体相对均匀地在塔体10内流动，也即，可以保证废气能够相对均匀的从缓冲腔13流动至吸附腔14，减小由于气体流动不均匀带来的吸附不均匀的影响。

进一步地，进风口11与出风口12沿塔体10内腔的轴线间隔设置，缓冲腔13及吸附腔14及沿塔体10内腔的轴线方向依次排布。也就是说，在本实施例中，进风口11与出风口12沿碳体内腔的轴线方向上具有间距，并且缓冲腔13与吸附腔14也沿塔体10内腔的轴线方向依次排布，因此能够保证从进风口11进入塔体10内的废气到出风口12具有足够的间距，从而保证废气在吸附腔14内被第一吸附件15及第二吸附件16吸附，从而使废气得到足够的净化。

以图1为参考，塔体10内腔的轴线方向为高度方向，在塔体10内，缓冲腔13可以为缓冲腔13下部的腔体空间。缓冲腔13与吸附腔14位于进风口11与出风口12之间可以理解为，缓冲腔13的至少部分与吸附腔14的至少部分位于进风口11与出风口12之间。

可选的，缓冲腔13内设置有均流板，均流板开设有多个均流孔，均流孔的轴线与缓冲腔13与吸附腔14的排布方向一致，可以理解的，通过均流板的设置，能够保证从进风口11进入的废气在缓冲腔13内相对均匀，并且在通过均流板上均流孔能够更加均匀的进入到缓冲腔13内。其中，进风口11可以位于均流板远离出风口12的一侧。

可以理解的，缓冲腔13还可以设置大尺寸的腔体，在废气从进风口11进入后，也有足够的空间来保证缓冲腔13内的气体逐渐变得相对均匀。

可选的，为了进一步的保证从进风口11进入塔体10内的废气到出风口12具有足够的间距，在本实施例中，进风口11与出风口12沿塔体10的径向设置于塔体10的两侧，也就是说，进风口11与出风口12在径向上的间距等于塔体10内腔的直径，因此，在径向上，进风口11与出风口12的也有足够的距离，保证在塔体10内流动的气体有足够的距离被第一吸附件及第二吸附剂吸收。

可选的，塔体10还开设有观察窗17，观察窗17位于塔体10对应吸附腔14的外侧。也就是说，用户能够通过观察窗17观测塔体10内吸附腔14内第一吸附件15与第二吸附件16的使用情况，例如，当第一吸附件15或第二吸附件16与废气发送显色反应时，用户能够通过观察窗17观测第一吸附件15或第二吸附件16的使用状况。

可选的，为了避免第一吸附件15或第二吸附件16在吸收废气时着火，例如在第一吸附件15或第二吸附件16在与废气反应过程中出现着火现象时能够对塔体10进行灭火，避免出现安全事故，在塔体10内设置有喷淋装置18。

废气处理装置1还包括压差测量管路20，压差测量管路20至少部分设置于塔体10的外侧，压差测量管路20至少部分位于吸附腔14或缓冲腔13内。可以理解的，压差测量管路20便于用户检测压差。

综上所述，本实用新型实施例提供的一种废气处理装置1包括塔体10，塔体10设置有进风口11及出风口12，进风口11与出风口12之间还设置有相连通的缓冲腔13及吸附腔14，吸附腔14填充有第一吸附件15，第一吸附件15用于吸收废气，缓冲腔13相对吸附腔14远离出风口12，缓冲腔13用于均匀自身腔体的废气。通过第一吸附件15实现对废气的吸收，有效的避免了废水的产生，进而避免由于大量废水导致环境出现二次污染。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种废气处理装置，其特征在于，包括：

塔体(10)，所述塔体(10)设置有进风口(11)及出风口(12)，所述进风口(11)与所述出风口(12)之间还设置有相连通的缓冲腔(13)及吸附腔(14)；

所述吸附腔(14)与所述出风口(12)连通且填充有第一吸附件(15)，所述第一吸附件(15)用于吸收废气；

所述缓冲腔(13)与所述进风口(11)连通且相对所述吸附腔(14)远离所述出风口(12)，所述缓冲腔(13)用于均匀自身腔内的废气。

2.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于：

所述废气处理装置还包括第二吸附件(16)，所述第二吸附件(16)由碱性活性炭吸附剂制成，所述第二吸附件(16)设置于所述吸附腔(14)内。

3.根据权利要求2所述的废气处理装置，其特征在于：

所述第二吸附件(16)位于第一吸附件(15)靠近所述出风口(12)的一侧。

4.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于：

所述塔体(10)内腔呈圆柱孔状。

5.根据权利要求4所述的废气处理装置，其特征在于：

所述进风口(11)与所述出风口(12)沿所述塔体(10)内腔的轴线方向间隔设置，所述缓冲腔(13)及所述吸附腔(14)沿所述塔体(10)内腔的轴线方向依次排布。

6.根据权利要求4所述的废气处理装置，其特征在于：

所述进风口(11)与所述出风口(12)沿所述塔体(10)的径向设置于所述塔体(10)的两侧。

7.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于：

所述塔体(10)还开设有观察窗(17)，所述观察窗(17)位于所述塔体(10)对应所述吸附腔(14)的外侧。

8.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于：

所述废气处理装置还包括压差测量管路(20)，所述压差测量管路(20)至少部分设置于所述塔体(10)的外侧，所述压差测量管至少部分位于所述吸附腔(14)或所述缓冲腔(13)。

9.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于：

所述缓冲腔(13)内设置有均流板，所述均流板开设有多个均流孔，所述均流孔的轴线与所述缓冲腔(13)与所述吸附腔(14)的排布方向一致。

10.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于：

所述第一吸附件(15)由活性金属材料制成。