CN221094254U - 一种用于旋转型蒸发源的冷却装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型适用于蒸镀设备技术领域，提供了一种用于旋转型蒸发源的冷却装置，包括用于承载旋转型蒸发源连接旋转台的底座、与底座连接的冷却组件，所述冷却组件包含有底座上的至少两个的固定座，以及盘绕在固定座上的第一管段和第二管段，冷却液从冷却管进水端进入第一管段中自下而上沿着环绕在固定座外壁上进行冷却，接着升温的冷却液在固定座顶端折弯处折返进入螺旋盘绕在固定座上的第二管段，自上而下流动的冷却液继续对固定座外壁进行冷却，从而第一管段和第二管段内两种温度的冷却液交替对固定座外壁进行冷却，因此固定座上的温度基本为上下均匀的冷却温度，使得冷却槽内的蒸发源上下温度均衡。

Description

一种用于旋转型蒸发源的冷却装置

技术领域

本实用新型属于蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种用于旋转型蒸发源的冷却装置。

背景技术

真空蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料并使之气化，粒子飞至基板表面凝聚成膜的方法。蒸发源为蒸镀机的主要组成部分，其中，配备多个坩埚，通过旋转驱动机构驱动而旋转，从而使坩埚移动到所需要的位置的蒸发源称为旋转型蒸发源。

但是其中单个蒸发源在高温环境下蒸镀时，非接触零部件之间通过热传递导致温度升高，零件表面吸附的材料将再次脱附，可能会沉积到基片上，影响镀膜质量；同时，还未升温工作的蒸镀源还会受其温度影响，材料蒸发沉积至挡板上，造成材料浪费；此外，当蒸发源内蒸镀材料消耗完毕或发生故障时需要降温开腔，若降温时间过长，会延长维护周期，降低产能。因此在使用旋转型蒸发源时，需要配备相应的适用于旋转型蒸发源的冷却装置。

现有技术CN201811070879.1提供的一种蒸发源装置，该蒸发源具备冷却液室，设置在遮热构造体内部，可供冷却液流动，提高冷却效率，但是该装置适用在单个蒸发源装置，无法适用在旋转型蒸发源上，并且该冷却液室是一端进水、一端出水，进水端温度低，出水端温度高，导致蒸发源装置温度不均匀，无法降低上下温差使蒸发源整体温度均衡，难以提升对蒸发源的冷却效果。

虽然现有技术CN202211555272.9提供的一种蒸发源装置，包含旋转台和蒸发源单元，单元与单元之间通过分隔板隔离，每个单元上方设有遮挡件，该装置能够保持长时间蒸镀并能够承接冷却阶段掉落的材料，但是仍然存在无法降低上下温差使蒸发源整体温度均衡，难以提升对蒸发源的冷却效果。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的在于提供一种适用于旋转型蒸发源的冷却装置，旨在解决现有冷却装置冷却不均匀、蒸镀的蒸发源会传热给附近的蒸发源且不适用于旋转型蒸发源的问题。

本实用新型实施例是这样实现的，一种用于旋转型蒸发源的冷却装置，包括用于承载旋转型蒸发源连接旋转台的底座、设置于所述底座上的第一固定座与第二固定座，所述第一固定座与所述第二固定座上均开设有用于放置坩埚的冷却槽，所述第一固定座与所述第二固定座上均盘绕设置有第一管段与第二管段，所述第一管段与所述第二管段均由下至上交替盘绕设置于所述第一固定座与所述第二固定座上，所述第一管段与所述第二管段之间通过弯折部相连接，所述第一固定座上的第一管段与冷却液进水端相连接，所述第一固定座上的第二管段与所述第二固定座上的第一管段通过冷却接管相连接，所述第二固定座上的第二管段与冷却液出水端相连接。

进一步的是，所述冷却液进水端的末端设有进水管接头，所述冷却液出水端的末端设有出水管接头，所述底座上开设有穿孔，所述穿孔内设置有用于将冷却液进水端与进水管接头相连接的进水管路，所述穿孔内设置有用于将冷却液出水端与出水管接头相连接的出水管路，所述进水管接头和出水管接头设于远离第一固定座与第二固定座的位置。

进一步的是，所述第一管段和第二管段为金属管，所述进水管路、出水管路和冷却接管为金属软管。

进一步的是，所述的进水管路上设有流量开关。

进一步的是，所述第一固定座和第二固定座是焊接于底座上的圆筒座。

进一步的是，所述底座包括底盘和支撑轴，所述支撑轴通过第一螺栓均布安装于底盘下方，所述底盘用于承载第一固定座、第二固定座和旋转型蒸发源连接的旋转台。

进一步的是，所述第一固定座与所述第二固定座上可拆卸有至少两个反射板，所述两个反射板之间留有0.5～2mm的间隙。

进一步的是，所述反射板下端固定设置有底板，所述底板为圆环形状，所述底板与底盘之间通过第二螺栓相连接。

进一步的是，所述反射板为金属钛或金属钽或金属钼板。

进一步的是，所述两个反射板之间留有0.5～2mm的间隙。

本实用新型实施例提供的一种适用于旋转型蒸发源的冷却装置，带来的有益效果是：

在需要对第一固定座上位于冷却槽内的坩埚进行冷却时，旋转台驱动底座转动以带动第一固定座移动至需要的位置，冷却液从进水管路进入第一管段中自下而上沿着环绕在固定座外壁上进行冷却，接着升温的冷却液在固定座顶端折弯部处折返进入螺旋盘绕在固定座上的第二管段，自上而下流动的冷却液继续对固定座外壁进行冷却，从而第一管段和第二管段内两种温度的冷却液交替对固定座外壁进行冷却；在需要对第二固定座上位于冷却槽内的坩埚进行冷却时，旋转台驱动底座转动以带动第二固定座移动至需要的位置，此时由于第一固定座未产生热量，冷却液经过第一固定座后进入第二固定座的第一管段中，通过相同的冷却方式对固定座外壁进行冷却。从而降低上下温差使蒸发源整体温度均衡，可提升对蒸发源的冷却效果。

进一步的效果是：由于第一管段和第二管段采用的是导热性能强的材料，冷却管之间也会进行热传导，进一步使得冷却槽内的蒸发源温度均匀，提高冷却效果。

进一步的效果是：冷却液从冷却液进水管路进入到第一固定座上的第一管段内再流入到第一固定座上的第二管段内后，通过连接接管流入到第二固定座上的第一管段内，以此类推，再流入到第二固定座的第二管段内，而后通过连接在第二固定座上的第二管段的出水接口，流入冷却装置，因此固定座之间形成冷却液流动通道，当冷凝液对其中的一个蒸发源进行冷却时，在各冷却单元流动的冷却液同时也对其他蒸发源进行冷却，避免位于正在蒸镀的蒸发源附近的坩埚内材料也受热蒸发。冷却管的包裹同时对各蒸发源起到隔离隔热作用，又实现各单元蒸发源冷却液互通。

附图说明

图1为本实用新型冷却装置的轴测立体图；

图2为本实用新型冷却管路的结构布局图；

图3为本实用新型冷却组件的固定座结构示意图；

图4为本实用新型冷却装置的剖面结构示意图；

图5为图4中圆圈部分A的放大图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

可以理解，本申请所使用的术语“第一”、“第二”等可在本文中用于描述各种元件，但除非特别说明，这些元件不受这些术语限制。这些术语仅用于将第一个元件与另一个元件区分。

下面用实施例对本实用新型进行说明。

如图1和图2所示，一种用于旋转型蒸发源的冷却装置，包括用于承载旋转型蒸发源连接旋转台的底座、设置于底座上的第一固定座11与第二固定座12(任意一固定座可设为第一固定座11，固定座连接着冷却液进水端319即为第一固定座11)。第一固定座11与第二固定座12上均开设有用于放置坩埚的冷却槽10，冷却槽10用于装配坩埚及其加热组件。底座包括底盘21和支撑轴22，支撑轴22通过第一螺栓44均布安装于底盘21下方。如图3所示，第一固定座11与第二固定座12上均盘绕设置有第一管段316与第二管段317，第一管段316与第二管段317均由下至上交替盘绕设置于第一固定座11与第二固定座12上，第一管段316与第二管段317之间通过弯折部318相连接，第一固定座11上的第一管段316与冷却液进水端319相连接，第一固定座11上的第二管段317与第二固定座12上的第一管段316通过冷却接管312相连接，所述第二固定座12上的第二管段317与冷却液出水端320相连接。本实用新型可设置多个固定座于底座上，在设置多个固定座时，冷却液进水端319可设于任一固定座上的第一管段316上，冷却液出水端320则设于相邻的固定座上的第二管段320上，其余固定座之间的第二管段317与第一管段316均通过冷却接管312相连接。

如图1所示，图中共有四个固定座，但并不局限于四个固定座，当需要对第一固定座11内的加热蒸发源进行冷却时，冷却液自进水管路313上的进水接头33进入到冷却液进水端319，由此冷却液进入到盘绕在第一固定座11上的第一管段316和第二管段317，进入到第一管段316的冷却液经过第一固定座11的外壁传热自下而上流入第二管段317，冷却液温度升温，第二管段317的冷却液从折弯部处自上而下进入到冷却接管312。虽然第一管段316内的冷却液温度与第二管段317内的冷却液温度不同，但是由于是相邻两管段交替传热至第一固定座11的外壁上，因此第一固定座11内的蒸发源温度均衡，冷却效果得到进一步提升。

第一固定座11上的第二管段317通过冷却接管312与第二固定座12上的第一管段316相连接，由此冷却液从第一固定座11流入第二固定座13上，第二固定座上的第二管段317与第三固定座321上的第一管段316通过冷却接管312相连接，依此类推，出水管路314设于最后一固定座上，与最后一固定座上的第二管段317相连接，从进水管路313通入冷却液后，在冷却管路内部空间循环流动后从出水管路314排出。当冷凝液对其中的一个蒸发源进行冷却时，在各冷却单元流动的冷却液同时也对其他蒸发源进行冷却，避免位于正在蒸镀的蒸发源附近的坩埚内材料也受热蒸发，冷却管的包裹同时对各蒸发源起到隔离隔热作用，防止蒸发源加热时高温辐射到其他部位，造成温度升高后的不良影响，又实现各单元蒸发源冷却液互通。

为便于安装调整，冷却接管312、进水管路313以及出水管路314均使用金属软管。进水管路313和出水管路314分别连接进水管接头33和出水管接头33，进水管接头33和出水管接头33尽最大限度设于远离加热组件的位置，可减少高温对接头33的影响。在进水管路314上设有流量开关(图中未标出)，用于监测流速，控制流量大小。第一管段316和第二管段317上的冷却管路可以使用不锈钢或铝合金等成本低、热传导率高的金属材质，在此不做限定。

如图4、图5所示，固定座32焊接为圆筒结构，可固定于底座上，反射板41用于防止加热时热量散失，设于冷却槽10与固定座32之间，固定于底盘21上，本实用新型提出将反射板41与底板42通过焊接方式作为一个整体固定于冷却装置的底座上，可延长使用寿命，便于组装，并简化了加热组件结构。其中，反射板41大于等于两层，层与层之间留有0.5～2mm的间隙，通过焊接为一体式的圆筒结构，为防止干涉点源装配，反射板41焊接于圆环形状的底板42上，通过第二螺栓43固定于底座下方，底板42孔径略小于反射板41圆筒内径，防止高温环境下反射板有脱焊现象从而导致脱落。反射板41可以使用钛、钽或钼等耐高温金属材质，在此不做限定。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种用于旋转型蒸发源的冷却装置，其特征在于：包括用于承载旋转型蒸发源连接旋转台的底座、设置于所述底座上的第一固定座与第二固定座，所述第一固定座与所述第二固定座上均开设有用于放置坩埚的冷却槽，所述第一固定座与所述第二固定座上均盘绕设置有第一管段与第二管段，所述第一管段与所述第二管段均由下至上交替盘绕设置于所述第一固定座与所述第二固定座上，所述第一管段与所述第二管段之间通过弯折部相连接，所述第一固定座上的第一管段与冷却液进水端相连接，所述第一固定座上的第二管段与所述第二固定座上的第一管段通过冷却接管相连接，所述第二固定座上的第二管段与冷却液出水端相连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于旋转型蒸发源的冷却装置，其特征在于：所述冷却液进水端的末端设有进水管接头，所述冷却液出水端的末端设有出水管接头，所述底座上开设有穿孔，所述穿孔内设置有用于将冷却液进水端与进水管接头相连接的进水管路，所述穿孔内设置有用于将冷却液出水端与出水管接头相连接的出水管路，所述进水管接头和出水管接头设于远离第一固定座与第二固定座的位置。

3.根据权利要求2所述的一种用于旋转型蒸发源的冷却装置，其特征在于：所述第一管段和第二管段为金属管，所述进水管路、出水管路和冷却接管为金属软管。

4.根据权利要求3所述的一种用于旋转型蒸发源的冷却装置，其特征在于：所述的进水管路上设有流量开关。

5.根据权利要求1所述的一种用于旋转型蒸发源的冷却装置，其特征在于：所述第一固定座和第二固定座是焊接于底座上的圆筒座。

6.根据权利要求1所述的一种用于旋转型蒸发源的冷却装置，其特征在于：所述底座包括底盘和支撑轴，所述支撑轴通过第一螺栓均布安装于底盘下方，所述底盘用于承载第一固定座、第二固定座和旋转型蒸发源连接的旋转台。

7.根据权利要求1所述的一种用于旋转型蒸发源的冷却装置，其特征在于：所述第一固定座与所述第二固定座上可拆卸有至少两个反射板，所述两个反射板之间留有0.5～2mm的间隙。

8.根据权利要求7所述的一种用于旋转型蒸发源的冷却装置，其特征在于：所述反射板下端固定设置有底板，所述底板为圆环形状，所述底板与底盘之间通过第二螺栓相连接。

9.根据权利要求7所述的一种用于旋转型蒸发源的冷却装置，其特征在于：所述反射板为金属钛或金属钽或金属钼板。