CN221056529U - 一种多自由度探针组件 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种多自由度探针组件，该探针组件包括滑槽板滑块、旋转轴、连接臂以及探针本体；其中滑块可滑动设置于滑槽内，旋转轴可转动，同时连接臂转动固定于旋转轴上端。本实用新型的有益效果为：滑块的滑动连接和旋转轴转动连接使探针本体在多维度可调节，提高探针本体探测待测物的灵活性，同时连接臂和旋转轴通过紧固螺丝相连，在松动该紧固螺丝后，使探针本体尖端部以浮动连接的形式接触待测物，这样可以减少探针下降时受到的压力，从而避免下压力过大导致电极被扎穿的危险，保护待测物体的完整性和稳定性，提高测量的准确性，延长探针的使用寿命。
Description
技术领域
本实用新型涉及电学探针检测装置技术领域，具体为一种多自由度探针组件。
背景技术
电学探针的结构可以根据具体的应用需求和测量方法进行设计和制造。不同的结构设计可以实现不同的电学性质测量，如电阻、电容、介电常数等。它们通常与信号接收器相连，并在的电学测量和表征方面发挥着重要的作用。电学探针通常由以下几个主要部分组成，探针尖端，探针主体，绝缘层，连接线，支撑载体。一般的，探针和连接线目前工艺较为成熟，对于探针的易用性的结构改进主要集中在支持载体结构和绝缘设计上，支撑载体是用于保护探针并提供机械稳定性的部分，载体通常用于固定探针尖端并提供支撑。目前市面上的多为一些固定探针，在芯片变温测量环境中，如果使用固定探针进行测量，并且待测物体存在移动的情况，探针尖端可能会受到不均匀的热膨胀和热应力的作用，导致探针下压力过大而电极被扎穿的问题，同时固定探针存在位置难以调节的情况，但待测物位置移动，或需要移动待测物位置时，整个探针组件需要重新安装固定，效率低。因此为提高探针组件的实用性，并防止探针尖端刺穿待测物，需要一种位置调节的探针结构。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型提供一种多自由度探针组件，包括滑槽板、滑块、压块、旋转轴、连接臂以及探针本体；
所述滑槽板上设有滑动槽，所述滑块可滑动地限位所述滑动槽内，所述压块中部设有贯穿压块的旋转孔，所述旋转轴可转动地设置于所述旋转孔内，且旋转轴上端延伸出所述旋转孔，所述压块固定于所述滑块上；
所述连接臂端部通过紧固件固定于所述旋转孔端部，所述连接臂上设有安装槽，所述探针本体尾部安装于所述安装槽内，所述探针本体头部延伸出所述安装槽。
进一步地，该探针组件还包括绝缘底座，所述滑槽板固定于所述绝缘底座上，所述绝缘底座为聚四氟材质。
进一步地，所述旋转轴底部设有一限位块，所述旋转轴上套有一转动轴承，所述转动轴承位于限位块上方，且转动轴位于旋转孔内。
进一步地，所述连接臂中部设有一连接孔，连接孔贯穿所述连接臂，所述连接孔位于所述安装槽内，所述探针本体尾部为垂直弯折部，所述探针本体头部为倾斜弯折部，所述垂直弯折部垂直所述探针本体，所述垂直弯折部位于所述连接孔内。
进一步地，所述滑动槽与所述滑块通过燕尾槽结构滑动配合。
进一步地，所述安装槽两侧均设有夹紧孔，两所述夹紧孔内均设有夹紧螺钉，两所述夹紧螺钉端部夹紧所述探针本体。
进一步地，所述紧固件为紧固螺钉，所述旋转轴上端设有紧固螺纹孔，所述紧固螺钉穿过所述连接臂端部，且延伸至紧固螺纹孔内，从而将连接臂连接于所述旋转轴上端。
本实用新型一种多自由度探针组件的有益效果为：该探针组件包括滑槽板滑块、旋转轴、连接臂以及探针本体；其中滑块可滑动设置于滑槽内，旋转轴可转动，同时连接臂转动固定于旋转轴上端，这样可以使探针本体在多维度调节，使该探针本体具有很好的安装灵活性。同时连接臂和旋转轴通过紧固螺丝相连，在松动该紧固螺丝后，旋转轴和探针本体能在自身重力下转动，使探针本体尖端部支撑于待测物上，从而使探针本体尖端部以自由浮动连接的形式接触待测物，这样可以减少探针下降时受到的压力，从而避免下压力过大导致待测物电极被扎穿的危险。通过减轻探针对待测物的压力，可以保护待测物体的完整性和稳定性。此外探针本体的自由浮动接触特性可以减少探针与待测物之间的机械应力，从而减小误差来源，提高测量的准确性。并且探针本体的自由浮动接触特性还减少对探针的应力和损坏。这有助于延长探针的使用寿命，提高设备的稳定性和可靠性。
附图说明
图1本实用新型实施例一种多自由度探针组件的立体结构示意图。
图2本实用新型实施例一种多自由度探针组件的部分零部件的分散结构示意图。
上述图中：1-滑槽板，11-绝缘底座，2-压块，21-滑块，3-旋转轴，31-转动轴承，4-连接臂，41-安装槽，42-连接孔，43-夹紧螺钉，5-探针本体，51-倾斜弯折部，52-垂直弯折部，6-紧固螺钉。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施方式作进一步地描述。
请参考图1和图2，本实用新型的一种多自由度探针组件，包括滑槽板1、滑块21、压块2、旋转轴3、连接臂4以及探针本体5。
所述滑槽板1底部还设有矩形块结构的绝缘底座11，滑槽板1固定于所述绝缘底座11上，本实施例中，所述绝缘底座11为聚四氟材质。
所述滑槽板1上设有滑动槽，所述滑块21可滑动地限位所述滑动槽1内，本实施例中所述滑动槽1与所述滑块21通过燕尾槽结构滑动配合。所述压块2通过两螺钉固定于所述滑块21上；
所述压块2中部设有贯穿压块2的旋转孔，所述旋转轴3位于可转动地设置于所述旋转孔内，且旋转轴3上端延伸出所述旋转孔，具体地，旋转孔为阶梯孔，所述旋转轴3底部设有一限位块，限位块为圆柱块，限位块直径大于旋转轴3直径，限位块底部支撑于滑块21上，所述旋转轴3上套有一转动轴承31，所述转动轴承31位于限位块上方，且转动轴承311位于旋转孔内，从而使旋转轴可转动地限位于旋转孔内。所述连接臂4端部通过紧固件固定于所述旋转轴3端部，所述探针本体5安装于连接臂4上。
优选地，所述连接臂4上设有安装槽41，安装槽41中部设有连接孔42，连接孔42贯穿所述连接臂4，所述探针本体5部为垂直弯折部52，所述探针本体5头部设有倾斜弯折部51，倾斜弯折部51断臂为尖端结构，垂直弯折部52用于通过金属导线连接电信号接收器，倾斜弯折部51用于接触待测物。探针本体5尾部安装于所述安装槽内的连接孔内，所述探针本体5的倾斜弯折部51延伸出所述安装槽41。所述安装槽41两侧均设有夹紧孔，两所述夹紧孔内均设有夹紧螺钉43，两所述夹紧螺钉43端部从两侧夹紧固定所述探针本体5。
优选地，所述紧固件为紧固螺钉6，所述旋转轴3上端设有紧固螺纹孔，所述紧固螺钉6穿过所述连接臂4端部，且延伸至紧固螺纹孔内，从而将连接臂4连接于所述旋转轴3上端，拧紧紧固螺钉6，连接臂4与旋转轴3上端相对规定，拧松紧固螺钉6，旋转轴3可相对连接臂4转动。
本实用新型一种多自由度探针组件的工作原理为:该探针组件的绝缘底座11固定在测试台上，该探针组件使用时，探针本体5的尾部通过焊接方式连接金属导线，金属导线穿过连接孔42与电信号接收器相连；滑推动滑块21并转动旋转轴3调节探针本体5位置，使探针本体5的倾斜弯折部51(即尖端部)位于待测物的待测点(例如芯片测试触点)上方；适当拧松紧固螺钉6，连接臂4和固定在其上的探针本体5在自身重力作用下转动，探针本体5的尖端部浮动支撑于待测物的被测点，从而对被测点进行检测；其中尖端部浮动连接被测点可以避免待测物被刺穿而损坏。可以理解地，对于比较坚固的待测物而言，也可以拧紧固螺钉6，使探针本体5尖端部在探针本体5弹力下压紧于待测物的被测点上，这样可以使探针本体5尖端部51能与待测物紧密接触，提高探针检测的可靠性。
在本文中，所涉及的前、后、上、下等方位词是以附图中零部件位于图中以及零部件相互之间的位置来定义的，只是为了表达技术方案的清楚及方便。应当理解，所述方位词的使用不应限制本申请请求保护的范围。
在不冲突的情况下，本文中上述实施例及实施例中的特征可以相互结合。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种多自由度探针组件，其特征在于：包括滑槽板、滑块、压块、旋转轴、连接臂以及探针本体；
所述滑槽板上设有滑动槽，所述滑块可滑动地限位所述滑动槽内，所述压块中部设有贯穿压块的旋转孔，所述旋转轴可转动地设置于所述旋转孔内，且旋转轴上端延伸出所述旋转孔，所述压块固定于所述滑块上；
所述连接臂端部通过紧固件固定于所述旋转孔端部，所述连接臂上设有安装槽，所述探针本体尾部安装于所述安装槽内，所述探针本体头部延伸出所述安装槽。
2.根据权利要求1所述的一种多自由度探针组件，其特征在于：该探针组件还包括绝缘底座，所述滑槽板固定于所述绝缘底座上，所述绝缘底座为聚四氟材质。
3.根据权利要求1所述的一种多自由度探针组件，其特征在于：所述旋转轴底部设有一限位块，所述旋转轴上套有一转动轴承，所述转动轴承位于限位块上方，且转动轴位于旋转孔内。
4.根据权利要求1所述的一种多自由度探针组件，其特征在于：所述连接臂中部设有一连接孔，连接孔贯穿所述连接臂，所述连接孔位于所述安装槽内，所述探针本体尾部为垂直弯折部，所述探针本体头部为倾斜弯折部，所述垂直弯折部垂直所述探针本体，所述垂直弯折部位于所述连接孔内。
5.根据权利要求1所述的一种多自由度探针组件，其特征在于：所述滑动槽与所述滑块通过燕尾槽结构滑动配合。
6.根据权利要求1所述的一种多自由度探针组件，其特征在于：所述安装槽两侧均设有夹紧孔，两所述夹紧孔内均设有夹紧螺钉，两所述夹紧螺钉端部夹紧所述探针本体。
7.根据权利要求1所述的一种多自由度探针组件，其特征在于：所述紧固件为紧固螺钉，所述旋转轴上端设有紧固螺纹孔，所述紧固螺钉穿过所述连接臂端部，且延伸至紧固螺纹孔内，从而将连接臂连接于所述旋转轴上端。
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