CN221039860U - 设备测试电路及装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及测试技术领域，提供一种设备测试电路及装置。所述电路包括：第一切换开关包括第一切换按钮和第二切换按钮，第二切换开关包括第三切换按钮和第四切换按钮；第一切换按钮的一端与第一电源相连接，第一切换按钮的另一端与第四切换按钮的一端相连接，第四切换按钮的另一端与多引脚插头的第一引脚相连接；第三切换按钮的一端与接地，第三切换按钮的另一端与第二切换按钮的一端相连接，第二切换按钮的另一端与多引脚插头的第一引脚相连接。本申请提供的设备测试电路及装置不再需要使用万用表进行多个电压的测量，通过对两个电压极值的快速切换，就能实现温控设备温度输入信号的便捷测试，且提高了测试效率和准确率。

Description

设备测试电路及装置

技术领域

本申请涉及测试技术领域，具体涉及一种设备测试电路及装置。

背景技术

半导体专用温控设备，应用在集成电路制造的工艺过程中，通过提供恒定温度的循环液体将工艺制程中产生的热量带走，实现集成电路制造过程中工艺腔体的温度精准控制，在应用的过程中半导体专用温控设备需要实时的与主工艺设备进行数据交互，接收主工艺设备传送的指令，同时反馈主工艺设备需要的运行状态及数值。

为了保证主工艺设备与温控设备之间的通讯顺畅，需要在生产调试的过程中对温控设备进行通讯的模拟测试，来判断温控设备的通讯是否正常以及是否能够满足主工艺设备的通讯要求。

目前半导体专用温控设备通讯模拟测试过程中，模拟量输入信号测试是对温控设备输入不同的电压信号，利用万用表测量不同电压信号的具体数值，根据量程内电压值与温度值之间约定的对应关系，判断当前温控设备的显示温度值与输入电压对应的约定温度值是否一致，若不同电压下显示温度值与约定温度值均一致，则确定温控设备的温度输入信号通道的通讯正常，但这种方法利用万用表测量不同电压信号的具体数值，测试过程极其不便，且测试效率和准确率较低。

实用新型内容

本申请实施例提供一种设备测试电路及装置，用以解决目前半导体专用温控设备通讯模拟测试过程中，利用万用表测量不同电压信号的具体数值，测试过程极其不便，且测试效率和准确率较低的技术问题。

第一方面，本申请实施例提供一种设备测试电路，包括：多引脚插头和模拟量输入信号测试模块；

所述模拟量输入信号测试模块包括第一电源、第一切换开关和第二切换开关；

所述第一切换开关包括第一切换按钮和第二切换按钮，所述第二切换开关包括第三切换按钮和第四切换按钮；

所述第一切换按钮的一端与所述第一电源相连接，所述第一切换按钮的另一端与所述第四切换按钮的一端相连接，所述第四切换按钮的另一端与所述多引脚插头的第一引脚相连接；

所述第三切换按钮的一端与接地，所述第三切换按钮的另一端与所述第二切换按钮的一端相连接，所述第二切换按钮的另一端与所述多引脚插头的第一引脚相连接；

所述多引脚插头的第二引脚接地。

在一个实施例中，还包括：开关量输入信号测试模块；

所述开关量输入信号测试模块包括第二电源和控制按钮；

所述控制按钮的一端与所述第二电源相连接，所述控制按钮的另一端与所述多引脚插头的第三引脚相连接。

在一个实施例中，还包括：模拟量输出信号测试模块；

所述模拟量输出信号测试模块包括显示表头和拨码开关；

所述显示表头的第一端接地，所述拨码开关包括多个电路通道；

任一电路通道的一端与所述显示表头的第二端相连接，所述任一电路通道的另一端与所述多引脚插头的任一剩余引脚相连接，形成模拟量输出信号测试电路。

在一个实施例中，还包括：开关量输出信号测试模块；

所述开关量输出信号测试模块包括第一电阻和第一发光二极管；

所述第一电阻的一端与所述多引脚插头的第八引脚相连接，所述第一电阻的另一端与所述第一发光二极管的正极相连接，所述第一发光二极管的负极接地，形成启停输出信号测试电路。

在一个实施例中，所述开关量输出信号测试模块还包括第二电阻和第二发光二极管；

所述第二电阻的一端与所述多引脚插头的第九引脚相连接，所述第二电阻的另一端与所述第二发光二极管的正极相连接，所述第二发光二极管的负极接地，形成远程与本地输出信号测试电路。

在一个实施例中，所述开关量输出信号测试模块还包括第三电阻和第三发光二极管；

所述第三电阻的一端与所述多引脚插头的第十引脚相连接，所述第三电阻的另一端与所述第三发光二极管的正极相连接，所述第三发光二极管的负极接地，形成提示报警输出信号测试电路。

在一个实施例中，所述开关量输出信号测试模块还包括第四电阻和第四发光二极管；

所述第四电阻的一端与所述多引脚插头的第十一引脚相连接，所述第四电阻的另一端与所述第四发光二极管的正极相连接，所述第四发光二极管的负极接地，形成故障报警输出信号测试电路。

在一个实施例中，所述开关量输出信号测试模块还包括第五电阻和第五发光二极管；

所述第五电阻的一端与所述多引脚插头的第十二引脚相连接，所述第五电阻的另一端与所述第五发光二极管的正极相连接，所述第五发光二极管的负极接地，形成液位状态输出信号测试电路。

第二方面，本申请实施例提供一种设备测试装置，包括第一方面所述的设备测试电路。

本申请提供的设备测试电路及装置，包括多引脚插头和模拟量输入信号测试模块，模拟量输入信号测试模块包括第一电源、第一切换开关和第二切换开关，第一切换开关包括第一切换按钮和第二切换按钮，第二切换开关包括第三切换按钮和第四切换按钮，第一切换按钮的一端与第一电源相连接，第一切换按钮的另一端与第四切换按钮的一端相连接，第四切换按钮的另一端与多引脚插头的第一引脚相连接，第三切换按钮的一端与接地，第三切换按钮的另一端与第二切换按钮的一端相连接，第二切换按钮的另一端与多引脚插头的第一引脚相连接，多引脚插头的第二引脚接地。第一切换开关和第二切换开关形成互锁结构，当需要对温控设备进行模拟量输入信号测试时，可将该多引脚插头连接至待测的温控设备，点击第一切换按钮和第四切换按钮，此时第二切换按钮和第三切换按钮断开，第一电源通过该多引脚插头向该温控设备输入电压，再根据输入电压值与温度值之间约定的对应关系，判断当前温控设备的显示温度值与输入电压对应的约定温度值是否一致；点击第二切换按钮和第三切换按钮，此时第一切换按钮和第四切换按钮断开，通过该多引脚插头向该温控设备输入0V电压，再根据输入电压值与温度值之间约定的对应关系，判断当前温控设备的显示温度值与输入电压对应的约定温度值是否一致。第一次输入温控设备的电压为第一电源的额定电压，第二次输入温控设备的电压为0V电压，由于一般温控设备输入电压在0-10V范围内，可以通过采用额定电压为10V的第一电源，使得两次输入温控设备的电压分别为其输入电压范围内的最大值和最小值，若这两次温控设备的显示温度值与输入电压对应的约定温度值均一致，则可以确定在0-10V的输入电压范围内，温控设备的显示温度值与输入电压对应的约定温度值大概率一致，即确定温控设备的温度输入信号通道的通讯正常，因此，不再需要使用万用表进行多个电压的测量，通过对两个电压极值的快速切换，就能实现温控设备温度输入信号的便捷测试，且提高了测试效率和准确率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请实施例提供的设备测试电路图。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

需要说明的是，在本申请实施例的描述中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

本申请中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施，且“第一”、“第二”等所区分的对象通常为一类，并不限定对象的个数，例如第一对象可以是一个，也可以是多个。此外，“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

图1是本申请实施例提供的设备测试电路图。参照图1，本申请实施例提供一种设备测试电路，可以包括：多引脚插头DB15和模拟量输入信号测试模块；

模拟量输入信号测试模块包括第一电源、第一切换开关和第二切换开关；

第一切换开关包括第一切换按钮SB1和第二切换按钮SB2，第二切换开关包括第三切换按钮SB3和第四切换按钮SB4；

第一切换按钮SB1的一端与第一电源相连接，第一切换按钮SB1的另一端与第四切换按钮SB4的一端相连接，第四切换按钮SB4的另一端与多引脚插头DB15的第一引脚PIN1相连接；

第三切换按钮SB3的一端与接地，第三切换按钮SB3的另一端与第二切换按钮SB2的一端相连接，第二切换按钮SB2的另一端与多引脚插头DB15的第一引脚PIN1相连接；

多引脚插头DB15的第二引脚PIN2接地。

其中，第一电源的额定电压可以是10V，则第一电源、第一切换按钮SB1和第四切换按钮SB4形成10V电压输出电路；第三切换按钮SB3接地，则第三切换按钮SB3和第二切换按钮SB2形成0V电压输出电路。

第一切换开关中的两个切换按钮不能同时处于闭合或断开状态，第二切换开关同理，因此，本实施例中的第一切换开关和第二切换开关为互锁结构，保证10V电压输出电路和0V电压输出电路不会互相干扰，即保证能够通过多引脚插头DB15向温控设备输入10V电压或0V电压。

本实施例提供的设备测试电路，包括多引脚插头和模拟量输入信号测试模块，模拟量输入信号测试模块包括第一电源、第一切换开关和第二切换开关，第一切换开关包括第一切换按钮和第二切换按钮，第二切换开关包括第三切换按钮和第四切换按钮，第一切换按钮的一端与第一电源相连接，第一切换按钮的另一端与第四切换按钮的一端相连接，第四切换按钮的另一端与多引脚插头的第一引脚相连接，第三切换按钮的一端与接地，第三切换按钮的另一端与第二切换按钮的一端相连接，第二切换按钮的另一端与多引脚插头的第一引脚相连接，多引脚插头的第二引脚接地。第一切换开关和第二切换开关形成互锁结构，当需要对温控设备进行模拟量输入信号测试时，可将该多引脚插头连接至待测的温控设备，点击第一切换按钮和第四切换按钮，此时第二切换按钮和第三切换按钮断开，第一电源通过该多引脚插头向该温控设备输入电压，再根据输入电压值与温度值之间约定的对应关系，判断当前温控设备的显示温度值与输入电压对应的约定温度值是否一致；点击第二切换按钮和第三切换按钮，此时第一切换按钮和第四切换按钮断开，通过该多引脚插头向该温控设备输入0V电压，再根据输入电压值与温度值之间约定的对应关系，判断当前温控设备的显示温度值与输入电压对应的约定温度值是否一致。第一次输入温控设备的电压为第一电源的额定电压，第二次输入温控设备的电压为0V电压，由于一般温控设备输入电压在0-10V范围内，可以通过采用额定电压为10V的第一电源，使得两次输入温控设备的电压分别为其输入电压范围内的最大值和最小值，若这两次温控设备的显示温度值与输入电压对应的约定温度值均一致，则可以确定在0-10V的输入电压范围内，温控设备的显示温度值与输入电压对应的约定温度值大概率一致，即确定温控设备的温度输入信号通道的通讯正常，因此，不再需要使用万用表进行多个电压的测量，通过对两个电压极值的快速切换，就能实现温控设备温度输入信号的便捷测试，且提高了测试效率和准确率。

进一步地，若温控设备的温度输入信号通道的通讯正常，可以确定温控设备内部对应接线电路正常。

参照图1，在一个实施例中，设备测试电路还包括：开关量输入信号测试模块；

开关量输入信号测试模块包括第二电源和控制按钮SB5；

控制按钮SB5的一端与第二电源相连接，控制按钮SB5的另一端与多引脚插头DB15的第三引脚PIN3相连接。

其中，第二电源的额定电压可以是24V，以保证达到温控设备的启动电压。

本实施中，当需要对温控设备进行开关量输入信号测试时，可将该多引脚插头DB15连接至待测的温控设备，并点击控制按钮SB5，通过该多引脚插头DB15将第二电源的电压输入至温控设备以启动该温控设备，以测试该温控设备是否启动；放开控制按钮SB5，断开第二电源的电压输入，以测试该温控设备是否停运。若温控设备启动和停运测试均正常，则确定温控设备的启停输入信号通道的通讯正常。

通过本实施例电路，能够实现温控设备启停输入信号的便捷测试，且提高了测试效率和准确率。

参照图1，在一个实施例中，设备测试电路还包括：模拟量输出信号测试模块；

模拟量输出信号测试模块包括显示表头和拨码开关SW1；

显示表头的第一端接地，拨码开关SW1包括多个电路通道；

任一电路通道的一端与显示表头的第二端相连接，该电路通道的另一端与多引脚插头DB15的任一剩余引脚相连接，形成模拟量输出信号测试电路。

具体来说，拨码开关SW1包括第一电路通道、第二电路通道、第三电路通道和第四电路通道；

第一电路通道的一端与显示表头的第二端相连接，第一电路通道的另一端与多引脚插头DB15的第四引脚PIN4相连接，形成温度输出信号测试电路；

第二电路通道的一端与显示表头的第二端相连接，第二电路通道的另一端与多引脚插头DB15的第五引脚PIN5相连接，形成压力输出信号测试电路；

第三电路通道的一端与显示表头的第二端相连接，第三电路通道的另一端与多引脚插头DB15的第六引脚PIN6相连接，形成流量输出信号测试电路。

第四电路通道的一端与显示表头的第二端相连接，第四电路通道的另一端与多引脚插头DB15的第七引脚PIN7相连接，形成阻抗输出信号测试电路。

目前半导体专用温控设备通讯模拟测试过程中，模拟量输出信号测试是通过启动半导体专用温控设备，使其处于运行状态，此时会输出循环液体的温度、压力、流量、阻抗等模拟量信号，用万用表测量各个模拟量输出信号通道的电压值(量程一般为0-10V)，根据量程内电压值与温度值之间约定的对应关系，判断当前实际温度值与温度输出信号通道的电压值对应的约定温度值是否一致，若一致，则确定温控设备的温度输出信号通道的通讯正常；

同理，根据量程内电压值与压力值之间约定的对应关系，判断当前实际压力值与压力输出信号通道的电压值对应的约定压力值是否一致，若一致，则确定温控设备的压力输出信号通道的通讯正常；

同理，根据量程内电压值与流量值之间约定的对应关系，判断当前实际流量值与流量输出信号通道的电压值对应的约定流量值是否一致，若一致，则确定温控设备的流量输出信号通道的通讯正常；

同理，根据量程内电压值与阻抗值之间约定的对应关系，判断当前实际阻抗值与阻抗输出信号通道的电压值对应的约定阻抗值是否一致，若一致，则确定温控设备的阻抗输出信号通道的通讯正常。

以上测试方法需要使用万用表测量不同电压信号的具体数值，测试过程极其不便，且测试效率和准确率较低。

本实施例当需要对温控设备进行模拟量输出信号测试时，可将多引脚插头DB15连接至待测的温控设备，启动该温控设备，使其处于运行状态，通过设置拨码开关SW1选择不同的电路通道，从而连通不同模拟量的输出信号测试电路，通过显示表头显示对应模拟量输出信号的电压值，再根据该电压值与模拟量的值之间约定的对应关系，判断当前模拟量的实际值与该电压值对应的模拟量的约定值是否一致，若一致，则确定温控设备该模拟量输出信号通道的通讯正常。

通过本实施例电路，能够实现温控设备模拟量输出信号的便捷测试，且提高了测试效率和准确率，进一步地，若模拟量输出信号通道的通讯正常，可以确定温控设备内部对应接线电路正常。

参照图1，在一个实施例中，设备测试电路还包括：开关量输出信号测试模块；

开关量输出信号测试模块包括第一电阻R1和第一发光二极管L1；

第一电阻R1的一端与多引脚插头DB15的第八引脚PIN8相连接，第一电阻R1的另一端与第一发光二极管L1的正极相连接，第一发光二极管L1的负极接地，形成启停输出信号测试电路；可以将温控设备启动时或停运时设置为电路导通状态，此处不作限定，本实施例中，将温控设备启动时设置为电路导通状态，若温控设备启动时，第一发光二极管L1发亮，且温控设备停运时，第一发光二极管L1熄灭，则确定启停输出信号通道的通讯正常；

进一步地，开关量输出信号测试模块还包括第二电阻R2和第二发光二极管L2；

第二电阻R2的一端与多引脚插头DB15的第九引脚PIN9相连接，第二电阻R2的另一端与第二发光二极管L2的正极相连接，第二发光二极管L2的负极接地，形成远程与本地输出信号测试电路；可以将温控设备输出远程信号或本地信号时设置为电路导通状态，此处不作限定，本实施例中，将温控设备输出远程信号时设置为电路导通状态，若温控设备输出远程信号时，第二发光二极管L2发亮，且温控设备输出本地信号时，第二发光二极管L2熄灭，则确定远程与本地输出信号通道的通讯正常；

进一步地，开关量输出信号测试模块还包括第三电阻R3和第三发光二极管L3；

第三电阻R3的一端与多引脚插头DB15的第十引脚PIN10相连接，第三电阻R3的另一端与第三发光二极管L3的正极相连接，第三发光二极管L3的负极接地，形成提示报警输出信号测试电路；可以将温控设备进行提示报警时或停止提示报警时设置为电路导通状态，此处不作限定，本实施例中，将温控设备进行提示报警时设置为电路导通状态，若温控设备进行提示报警时，第三发光二极管L3发亮，且温控设备停止提示报警时，第三发光二极管L3熄灭，则确定提示报警输出信号通道的通讯正常；

进一步地，开关量输出信号测试模块还包括第四电阻R4和第四发光二极管L4；

第四电阻R4的一端与多引脚插头DB15的第十一引脚PIN11相连接，第四电阻R4的另一端与第四发光二极管L4的正极相连接，第四发光二极管L4的负极接地，形成故障报警输出信号测试电路；可以将温控设备进行故障报警时或停止故障报警时设置为电路导通状态，此处不作限定，本实施例中，将温控设备进行故障报警时设置为电路导通状态，若温控设备进行故障报警时，第四发光二极管L4发亮，且温控设备停止故障报警时，第四发光二极管L4熄灭，则确定故障报警输出信号通道的通讯正常；

进一步地，开关量输出信号测试模块还包括第五电阻R5和第五发光二极管L5；

第五电阻R5的一端与多引脚插头DB15的第十二引脚PIN12相连接，第五电阻R5的另一端与第五发光二极管L5的正极相连接，第五发光二极管L5的负极接地，形成液位状态输出信号测试电路；可以将温控设备输出的循环液体液位高于或等于预设液位时设置为电路导通状态，或将温控设备输出的循环液体液位低于预设液位时设置为电路导通状态，此处不作限定，本实施例中，将温控设备输出的循环液体液位高于或等于预设液位时设置为电路导通状态，若温控设备输出的循环液体液位高于或等于预设液位时，第五发光二极管L5发亮，且温控设备输出的循环液体液位低于预设液位时，第五发光二极管L5熄灭，则确定液位状态输出信号通道的通讯正常；

需要说明的是，提示报警是相对于故障报警的前置报警，其报警级别低于故障报警，相当于其对应的报警事项相对于故障报警要轻微一些。

本实施例通过设置不同的开关量输出信号测试电路，以对应测试电路中的发光二极管的发亮与熄灭测试对应开关量输出信号通道的通讯是否正常，通过本实施例电路，能够实现温控设备开关量输出信号的便捷测试，且提高了测试效率和准确率。

本申请实施例提供一种设备测试装置，可以包括前述实施例中的设备测试电路。

该设备测试装置的有益效果如前述实施例的设备测试电路有益效果，在前述实施例中已经详细说明，此处不再赘述。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (9)

1.一种设备测试电路，其特征在于，包括：多引脚插头和模拟量输入信号测试模块；

所述模拟量输入信号测试模块包括第一电源、第一切换开关和第二切换开关；

所述第一切换开关包括第一切换按钮和第二切换按钮，所述第二切换开关包括第三切换按钮和第四切换按钮；

所述第一切换按钮的一端与所述第一电源相连接，所述第一切换按钮的另一端与所述第四切换按钮的一端相连接，所述第四切换按钮的另一端与所述多引脚插头的第一引脚相连接；

所述第三切换按钮的一端与接地，所述第三切换按钮的另一端与所述第二切换按钮的一端相连接，所述第二切换按钮的另一端与所述多引脚插头的第一引脚相连接；

所述多引脚插头的第二引脚接地。

2.根据权利要求1所述的设备测试电路，其特征在于，还包括：开关量输入信号测试模块；

所述开关量输入信号测试模块包括第二电源和控制按钮；

所述控制按钮的一端与所述第二电源相连接，所述控制按钮的另一端与所述多引脚插头的第三引脚相连接。

3.根据权利要求1所述的设备测试电路，其特征在于，还包括：模拟量输出信号测试模块；

所述模拟量输出信号测试模块包括显示表头和拨码开关；

所述显示表头的第一端接地，所述拨码开关包括多个电路通道；

任一电路通道的一端与所述显示表头的第二端相连接，所述任一电路通道的另一端与所述多引脚插头的任一剩余引脚相连接，形成模拟量输出信号测试电路。

4.根据权利要求1所述的设备测试电路，其特征在于，还包括：开关量输出信号测试模块；

所述开关量输出信号测试模块包括第一电阻和第一发光二极管；

所述第一电阻的一端与所述多引脚插头的第八引脚相连接，所述第一电阻的另一端与所述第一发光二极管的正极相连接，所述第一发光二极管的负极接地，形成启停输出信号测试电路。

5.根据权利要求4所述的设备测试电路，其特征在于，

所述开关量输出信号测试模块还包括第二电阻和第二发光二极管；

所述第二电阻的一端与所述多引脚插头的第九引脚相连接，所述第二电阻的另一端与所述第二发光二极管的正极相连接，所述第二发光二极管的负极接地，形成远程与本地输出信号测试电路。

6.根据权利要求4所述的设备测试电路，其特征在于，

所述开关量输出信号测试模块还包括第三电阻和第三发光二极管；

所述第三电阻的一端与所述多引脚插头的第十引脚相连接，所述第三电阻的另一端与所述第三发光二极管的正极相连接，所述第三发光二极管的负极接地，形成提示报警输出信号测试电路。

7.根据权利要求4所述的设备测试电路，其特征在于，

所述开关量输出信号测试模块还包括第四电阻和第四发光二极管；

所述第四电阻的一端与所述多引脚插头的第十一引脚相连接，所述第四电阻的另一端与所述第四发光二极管的正极相连接，所述第四发光二极管的负极接地，形成故障报警输出信号测试电路。

8.根据权利要求4所述的设备测试电路，其特征在于，

所述开关量输出信号测试模块还包括第五电阻和第五发光二极管；

所述第五电阻的一端与所述多引脚插头的第十二引脚相连接，所述第五电阻的另一端与所述第五发光二极管的正极相连接，所述第五发光二极管的负极接地，形成液位状态输出信号测试电路。

9.一种设备测试装置，其特征在于，包括权利要求1至8任一项所述的设备测试电路。