CN221037688U - 一种硅片温度测量设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及温度测量设备技术领域，且公开了一种硅片温度测量设备，包括支撑架，所述支撑架的顶端安装有支撑板，所述支撑架右内壁的顶部安装有第一电机，所述第一电机的输出轴安装有螺纹杆，所述支撑架左内壁的顶部安装有活动机构，所述螺纹杆的左侧与活动机构相连接，所述螺纹杆的中部安装有螺纹套。本实用新型通过第一电机带动螺纹杆转动，能够带动螺纹套沿着直线移动，从而能够带动活动板进行左右移动，方便将硅片移动到测温箱的内部，在对硅片进行温度测量时降低外部因素对测量温度的影响，并且通过第二电机带动安装架进行转动，能够方便对硅片的角度进行调整，能够方便设备对硅片进行方位地测温，能够降低硅片表面温度的测量误差。

Description

一种硅片温度测量设备

技术领域

本实用新型涉及温度测量设备技术领域，尤其涉及一种硅片温度测量设备。

背景技术

地壳中含量达25.8％的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，硅片是由硅单质制成的元件，是半导体行业的重要材料。

现有的温度测量设备在对硅片进行温度测量时，不方便对硅片进行夹紧固定，无法对夹持的硅片进行旋转，导致在测量时需要多次对模型进行固定根据中国专利公告号CN206891867U所公开的硅片机械强度测量装置，该测量装置不方便对硅片的温度进行测量，并且不方便对硅片进行夹紧固定，无法对夹持的硅片进行旋转，在使用中较为不便，并且现有的测量设备无法对模型的角度进行调节，从而影响硅片的测量结果，针对以上情况提出一种硅片温度测量设备来解决上述提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，如：现有的测量装置不方便对硅片的温度进行测量，并且不方便对硅片进行夹紧固定，无法对夹持的硅片进行旋转，在使用中较为不便，并且现有的测量设备无法对模型的角度进行调节，从而影响硅片的测量结果，而提出的一种硅片温度测量设备。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种硅片温度测量设备，包括支撑架，所述支撑架的顶端安装有支撑板，所述支撑架右内壁的顶部安装有第一电机，所述第一电机的输出轴安装有螺纹杆，所述支撑架左内壁的顶部安装有活动机构，所述螺纹杆的左侧与活动机构相连接，所述螺纹杆的中部安装有螺纹套，所述螺纹套的顶端安装有连接杆，所述连接杆的顶端穿过支撑板安装有活动板，所述活动板顶端的中部安装有第二电机，所述第二电机输出轴的顶端安装有安装架，所述活动板的顶端安装有限位机构，所述限位机构的顶端与安装架相连接，所述安装架左侧的顶部安装有第三电机，所述第三电机的输出轴穿过安装架安装有转动板，所述安装架右侧的顶部安装有固定机构，所述固定机构左侧活动安装有夹紧板，所述支撑板顶端的左侧安装有测温箱，所述测温箱内顶壁的中部安装有红外温度测量器。

优选的，所述固定机构包括安装在安装架右侧顶部的固定架，所述固定架的右侧安装有第四电机，所述第四电机的输出轴穿过固定架安装有调节杆，所述固定架的左侧活动安装有活动套，所述调节杆的左侧螺纹安装在活动套的内部，所述活动套的左侧与夹紧板活动连接，所述固定架的上下两内壁均横向开设有滑槽，所述活动套的右侧安装有上下对称的滑块，所述滑块分别活动穿插在滑槽的内部。

优选的，所述限位机构包括安装在活动板顶端的环形架，所述环形架顶端的两侧均活动穿插有稳定杆，所述稳定杆底端的两侧均安装有活动轮，所述活动轮的底端与环形架的内底壁相接触。

优选的，所述活动机构包括安装在支撑架左内壁顶部的活动架，所述活动架的内部活动安装有活动块，所述螺纹杆的左侧穿过活动架与活动块相连接。

优选的，所述支撑板顶端的前后两侧均横向开设有限位槽，所述活动板底端中部的前后两侧均安装有限位轮，所述限位轮分别活动穿插在限位槽的内部。

优选的，所述支撑架底端的四角均安装有自锁脚轮。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)本实用新型通过控制第四电机带动调节杆转动，能够使调节杆与活动套之间进行螺纹传动，通过滑块在滑槽的内部滑动，能够对活动套起到限制的作用，防止活动套随着调节杆发生转动，随着控制第四电机正反转，使活动套带动夹紧板向左侧移动，使夹紧板能够推动硅片与转动板接触，通过能够将硅片在安装架的内部夹紧固定，使硅片保持稳定，通过第三电机带动转动板进行转动，能够对硅片进行转动，从而使红外温度测量器对硅片表面的各处进行温度测量，解决了现有设备无法对硅片进行旋转的问题。

(2)本实用新型通过第一电机带动螺纹杆转动，能够带动螺纹套沿着直线移动，从而能够带动活动板进行左右移动，方便将硅片移动到测温箱的内部，在对硅片进行温度测量时降低外部因素对测量温度的影响，并且通过第二电机带动安装架进行转动，能够方便对硅片的角度进行调整，能够方便设备对硅片进行方位地测温，能够降低硅片表面温度的测量误差。

附图说明

图1为本实用新型整体的结构示意图；

图2为本实用新型活动板的安装结构示意图；

图3为本实用新型实施例一的结构示意图；

图4为本实用新型实施例二的结构示意图；

图5为本实用新型实施例三的结构示意图。

图中：1、支撑架；2、第一电机；3、螺纹杆；4、限位机构；41、环形架；42、稳定杆；43、活动轮；5、活动机构；51、活动架；52、活动块；6、固定机构；61、固定架；62、第四电机；63、调节杆；64、活动套；65、滑槽；66、滑块；7、螺纹套；8、连接杆；9、测温箱；10、自锁脚轮；11、支撑板；12、转动板；13、活动板；14、第二电机；15、夹紧板；16、安装架；17、第三电机；18、红外温度测量器；19、限位槽；20、限位轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

参照图1-5，一种硅片温度测量设备，包括支撑架1，支撑架1的顶端安装有支撑板11，支撑架1右内壁的顶部安装有第一电机2，第一电机2的输出轴安装有螺纹杆3，支撑架1左内壁的顶部安装有活动机构5，螺纹杆3的左侧与活动机构5相连接，螺纹杆3的中部安装有螺纹套7，螺纹套7的顶端安装有连接杆8，连接杆8的顶端穿过支撑板11安装有活动板13，支撑板11顶端的前后两侧均横向开设有限位槽19，活动板13底端中部的前后两侧均安装有限位轮20，限位轮20分别活动穿插在限位槽19的内部，通过限位轮20在限位槽19的内部滚动，能够对活动板13起到限制的作用，防止活动板13在移动时发生位置的偏移，通过第一电机2带动螺纹杆3转动，能够带动螺纹套7沿着直线移动，从而能够带动活动板13进行左右移动，方便对硅片的位置进行调节，活动板13顶端的中部安装有第二电机14，第二电机14输出轴的顶端安装有安装架16，通过第二电机14带动安装架16进行转动，能够方便对硅片的角度进行调整，活动板13的顶端安装有限位机构4，限位机构4的顶端与安装架16相连接，安装架16左侧的顶部安装有第三电机17，第三电机17的输出轴穿过安装架16安装有转动板12，安装架16右侧的顶部安装有固定机构6，固定机构6左侧活动安装有夹紧板15，支撑板11顶端的左侧安装有测温箱9，硅片移动到测温箱9的内部，在对硅片进行温度测量时降低外部因素对测量温度的影响，测温箱9内顶壁的中部安装有红外温度测量器18，红外温度测量器18能够对硅片表面的各处进行温度测量，支撑架1底端的四角均安装有自锁脚轮10，通过自锁脚轮10能够带动整个装置进行移动。

实施例一

如图3所示，固定机构6包括安装在安装架16右侧顶部的固定架61，固定架61的右侧安装有第四电机62，第四电机62的输出轴穿过固定架61安装有调节杆63，固定架61的左侧活动安装有活动套64，调节杆63的左侧螺纹安装在活动套64的内部，活动套64的左侧与夹紧板15活动连接，固定架61的上下两内壁均横向开设有滑槽65，活动套64的右侧安装有上下对称的滑块66，滑块66分别活动穿插在滑槽65的内部，通过控制第四电机62带动调节杆63转动，能够使调节杆63与活动套64之间进行螺纹传动，通过滑块66在滑槽65的内部滑动，能够对活动套64起到限制的作用，防止活动套64随着调节杆63发生转动，随着控制第四电机62正反转，使活动套64带动夹紧板15向左侧移动，使夹紧板15能够推动硅片与转动板12接触，通过能够将硅片在安装架16的内部夹紧固定。

实施例二

如图4所示，限位机构4包括安装在活动板13顶端的环形架41，环形架41顶端的两侧均活动穿插有稳定杆42，稳定杆42底端的两侧均安装有活动轮43，活动轮43的底端与环形架41的内底壁相接触，通过稳定杆42随着安装架16的转动而带动活动轮43在环形架41的内部转动，能够使安装架16在转动时保持稳定。

实施例三

如图5所示，活动机构5包括安装在支撑架1左内壁顶部的活动架51，活动架51的内部活动安装有活动块52，螺纹杆3的左侧穿过活动架51与活动块52相连接，通过螺纹杆3带动活动块52在活动架51的内部转动，能够保持螺纹杆3转动时的稳定性。

本实用新型中，使用者使用该装置时，将需要测量的硅片放置在安装架16的内部，控制第四电机62带动调节杆63转动，能够使调节杆63与活动套64之间进行螺纹传动，随着控制第四电机62正反转，使活动套64带动夹紧板15向左侧移动，使夹紧板15能够推动硅片与转动板12接触，通过能够将硅片在安装架16的内部夹紧固定，控制第三电机17带动转动板12进行转动，能够对硅片进行转动，从而方便设备对硅片进行多方位地测温，控制第一电机2带动螺纹杆3转动，能够带动螺纹套7沿着直线移动，从而能够带动活动板13进行左右移动，方便将硅片移动到测温箱9的内部，在对硅片进行温度测量时降低外部因素对测量温度的影响，并且通过第二电机14带动安装架16进行转动，能够方便对硅片的角度进行调整。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

Claims (6)

1.一种硅片温度测量设备，包括支撑架(1)，其特征在于，所述支撑架(1)的顶端安装有支撑板(11)，所述支撑架(1)右内壁的顶部安装有第一电机(2)，所述第一电机(2)的输出轴安装有螺纹杆(3)，所述支撑架(1)左内壁的顶部安装有活动机构(5)，所述螺纹杆(3)的左侧与活动机构(5)相连接，所述螺纹杆(3)的中部安装有螺纹套(7)，所述螺纹套(7)的顶端安装有连接杆(8)，所述连接杆(8)的顶端穿过支撑板(11)安装有活动板(13)，所述活动板(13)顶端的中部安装有第二电机(14)，所述第二电机(14)输出轴的顶端安装有安装架(16)，所述活动板(13)的顶端安装有限位机构(4)，所述限位机构(4)的顶端与安装架(16)相连接，所述安装架(16)左侧的顶部安装有第三电机(17)，所述第三电机(17)的输出轴穿过安装架(16)安装有转动板(12)，所述安装架(16)右侧的顶部安装有固定机构(6)，所述固定机构(6)左侧活动安装有夹紧板(15)，所述支撑板(11)顶端的左侧安装有测温箱(9)，所述测温箱(9)内顶壁的中部安装有红外温度测量器(18)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片温度测量设备，其特征在于，所述固定机构(6)包括安装在安装架(16)右侧顶部的固定架(61)，所述固定架(61)的右侧安装有第四电机(62)，所述第四电机(62)的输出轴穿过固定架(61)安装有调节杆(63)，所述固定架(61)的左侧活动安装有活动套(64)，所述调节杆(63)的左侧螺纹安装在活动套(64)的内部，所述活动套(64)的左侧与夹紧板(15)活动连接，所述固定架(61)的上下两内壁均横向开设有滑槽(65)，所述活动套(64)的右侧安装有上下对称的滑块(66)，所述滑块(66)分别活动穿插在滑槽(65)的内部。

3.根据权利要求1所述的一种硅片温度测量设备，其特征在于，所述限位机构(4)包括安装在活动板(13)顶端的环形架(41)，所述环形架(41)顶端的两侧均活动穿插有稳定杆(42)，所述稳定杆(42)底端的两侧均安装有活动轮(43)，所述活动轮(43)的底端与环形架(41)的内底壁相接触。

4.根据权利要求1所述的一种硅片温度测量设备，其特征在于，所述活动机构(5)包括安装在支撑架(1)左内壁顶部的活动架(51)，所述活动架(51)的内部活动安装有活动块(52)，所述螺纹杆(3)的左侧穿过活动架(51)与活动块(52)相连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅片温度测量设备，其特征在于，所述支撑板(11)顶端的前后两侧均横向开设有限位槽(19)，所述活动板(13)底端中部的前后两侧均安装有限位轮(20)，所述限位轮(20)分别活动穿插在限位槽(19)的内部。

6.根据权利要求1所述的一种硅片温度测量设备，其特征在于，所述支撑架(1)底端的四角均安装有自锁脚轮(10)。