CN221034602U - 一种光刻胶除泡装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光刻胶除泡装置，属于半导体器件设备技术领域。光刻胶除泡装置包括除泡罐、进液管和胶空传感器，除泡罐的内部形成有除泡腔，除泡罐设有连通除泡腔的进液口、排气口和出液口。排气口设置于除泡腔的腔顶壁，出液口设置于除泡腔的腔底壁。进液管穿设于进液口，进液管的出口与排气口在竖直方向上间隔设置，进液管的出口位于排气口的下方。胶空传感器与进液管连接，胶空传感器用于检测进液管内是否有气体。光刻胶除泡装置能够降低除泡腔内部的气体进入进液管内部的概率，从而降低胶空传感器发生误报警的概率。

Description

一种光刻胶除泡装置

技术领域

本实用新型涉及半导体器件设备技术领域，尤其涉及一种光刻胶除泡装置。

背景技术

光刻胶是一种用于半导体工艺中的材料，它是一种特殊的光敏聚合物溶液。光刻胶在制造集成电路和微芯片等器件时，被用于制作光刻图案。光刻胶的主要成分是聚合物和光敏剂，当光照射到光刻胶上时，光敏剂会发生化学反应，导致光刻胶的物理性质发生变化。操作人员可通过控制光照的位置和强度，可以在光刻胶上形成所需的图案。

在光刻胶的传输过程中，依靠管道进行传输，管道的一端与储存光刻胶的储胶罐连通，管道的另一端与传输泵连接，通过传输泵来提供动力以将光刻胶传输至需要使用的位置。

然而，当储胶罐内部的光刻胶用完后，将会在传输光刻胶的管道内部出现有空气的情况，在更换新的储胶罐再次进行光刻胶的传输过程中，需要先保证传输光刻胶的管道内部的空气排尽。

图1示出了现有技术中的一种光刻胶除泡结构，光刻胶除泡结构包括除泡罐1，除泡罐1内部形成有圆柱体形状的除泡腔11，在除泡腔11的顶壁上设置进液口12，进液口12处连通有进液管2，进液管2远离进液口12的一端与储胶罐5连通，光刻胶能够通过进液管2流入除泡腔11内部。在除泡腔11的顶壁上还设置有排气口13，排气口13出连通有排气管3，除泡腔11的底壁上设置有出液口14，出液口14处连通有出液管4。此外在进液口12处设置有胶空传感器，当储胶罐5内的光刻胶用完后，进液口12处会出现空气，胶空传感器用于检测进液口12处是否有空气，当胶空传感器检测到空气时，会触发报警装置发生报警，表明储胶罐5内的光刻胶已用完，提醒操作人员进行更换。

在光刻胶正常流通输送时，光刻胶充满除泡罐1内部，光刻胶由进液口12进入除泡罐1，由出液口14流出除泡罐1。当储胶罐5内的光刻胶使用完之后，除泡罐1内部将会进入空气，操作人员更换新的储胶罐5后，操作人员会截断出液管4，打开排气管3，光刻胶由进液管2进入除泡腔11内部并在除泡腔11内部慢慢积累，在此过程中，除泡腔11内部的空气由排气口13流经排气管3排出，当排气口13处开始流出光刻胶后，操作人员认定除泡腔11的空气排尽，除泡腔11由光刻胶充满，此时，打开出液管4，截断排气管3，开始光刻胶的正常流通输送。

在上述排气泡的过程中，由于除泡腔11为圆柱体结构，顶壁为齐平结构，当除泡罐1的放置的水平度有倾斜时，可能会导致气泡汇聚于除泡腔11远离排气口13的一侧，发生气泡无法顺利排出的情况，在使用过程中，若气泡移动至进液口12处随后流入进液管2，将会引发胶空传感器误报警。

因此，亟需研究一种光刻胶除泡装置来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光刻胶除泡装置，能够降低除泡腔内部的气体进入进液管内部的概率，从而降低胶空传感器发生误报警的概率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种光刻胶除泡装置，包括：除泡罐，所述除泡罐内部形成有除泡腔，所述除泡罐设有连通所述除泡腔的进液口、排气口和出液口，所述排气口设置于所述除泡腔的腔顶壁，所述出液口设置于所述除泡腔的腔底壁；

进液管，所述进液管穿设于所述进液口，所述进液管的出口与所述排气口在竖直方向上间隔设置，所述进液管的出口位于所述排气口的下方；

胶空传感器，所述胶空传感器与所述进液管连接，所述胶空传感器用于检测所述进液管内是否有气体。

作为优选，所述进液管的侧壁与所述除泡腔的腔壁之间抵接。

作为优选，所述进液管沿竖直方向设置，所述进液管由所述进液口处沿竖直方向延伸至所述除泡腔内部。

作为优选，所述除泡罐的整体高度设为H1，所述进液管的出口距离所述除泡罐的底壁之间的距离设为H2,0.2*H1＜H2＜0.4*H1。

作为优选，所述进液管的出口的端面为导向面，所述导向面沿靠近所述除泡腔的腔侧壁的一侧向远离所述除泡腔的腔侧壁的一侧向上倾斜。

作为优选，所述除泡罐的顶部设置有气体汇聚部，所述气体汇聚部能够对所述除泡腔内的气体导向汇聚，所述排气口与所述气体汇聚部连通。

作为优选，所述气体汇聚部包括第一导向面，所述第一导向面位于所述除泡腔的腔顶壁，所述第一导向面倾斜设置，所述进液口与所述排气口分别设置于所述第一导向面的两侧，所述排气口的设置高度高于所述进液口的设置高度。

作为优选，所述排气口开设于所述除泡腔的腔顶壁的中部；

所述气体汇聚部还包括第二导向面，所述第二导向面倾斜设置，所述第二导向面和所述第一导向面相对设置，所述排气口设置于所述第一导向面和所述第二导向面之间。

作为优选，所述第一导向面与所述第二导向面均为圆弧面，所述第一导向面与所述第二导向面围合形成圆环结构，所述圆环结构的上端口的口径小于所述圆环结构的下端口的口径，所述排气口与所述圆环结构的上端口连通。

作为优选，所述光刻胶除泡装置还包括：

排气管，所述排气管的一端与所述排气口连通，所述排气管的另一端与外界环境连通；

出液管，所述出液管与所述出液口连通；

和/或

储胶罐，所述进液管的进口与所述储胶罐连通；

加压件，所述加压件与所述进液管连通，所述加压件能够向所述进液管内加压以加速光刻胶在所述进液管内部的流动。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提供的光刻胶除泡装置通过设置除泡罐进行除泡，在光刻胶正常流通时，光刻胶流经进液管由进液口进入除泡腔，由出液口流出除泡腔。在一个储胶罐内部的光刻胶使用完之后，更换新的储胶罐时，操作人员将出液口截断，排气口流通，光刻胶依然流经进液管由进液口进入除泡腔，由于出液口被截断，排气口设置于除泡腔的顶壁，光刻胶将会在除泡腔内积累，直到光刻胶充满除泡腔，将除泡腔内的气体挤出。在光刻胶充满除泡腔，将除泡腔内的气体挤出的过程中，由于排气口与进液管的出口在竖直方向上间隔设置，即意味着进液管的出口在除泡腔内部，气体在光刻胶内自然上升，从而远离进液管的出口，靠近排气口，实现将除泡腔内部的气体排出，由此降低气体汇聚移动至进液口从而进入进液管内，引发胶空传感器误报警的概率。

附图说明

图1是本实用新型中现有技术的光刻胶除泡结构的示意图；

图2是本实用新型所提供的光刻胶除泡装置的轴测图；

图3是本实用新型所提供的光刻胶除泡装置的部分剖视图。

图中：

1、除泡罐；11、除泡腔；12、进液口；13、排气口；14、出液口；15、气体汇聚部；151、第一导向面；152、第二导向面；

2、进液管；

3、排气管；

4、出液管；

5、储胶罐；

6、泵体。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置。

除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一特征和第二特征直接接触，也可以包括第一特征和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

如图1至图3所示，本实用新型提供了一种光刻胶除泡装置，能够降低除泡腔11内部的气体进入进液管2内部的概率，从而降低胶空传感器发生误报警的概率。

光刻胶除泡装置包括除泡罐1、进液管2和胶空传感器，除泡罐1的内部形成有除泡腔11，除泡罐1设有连通除泡腔11的进液口12、排气口13和出液口14。排气口13设置于除泡腔11的腔顶壁，出液口14设置于除泡腔的腔底壁。进液管2穿设于进液口12，进液管2的出口与排气口13在竖直方向上间隔设置，进液管2的出口位于排气口13的下方。胶空传感器与进液管2连接，胶空传感器用于检测进液管2内是否有气体。

本实用新型提供的光刻胶除泡装置通过设置除泡罐1进行除泡，在光刻胶正常流通时，光刻胶流经进液管2由进液口12进入除泡腔11，由出液口14流出除泡腔11。在一个储胶罐5内部的光刻胶使用完之后，更换新的储胶罐5时，操作人员将出液口14截断，排气口13流通，光刻胶依然流经进液管2由进液口12进入除泡腔11，由于出液口14被截断，排气口13设置于除泡腔11的顶壁，光刻胶将会在除泡腔11内积累，直到光刻胶充满除泡腔11，将除泡腔11内的气体挤出。在光刻胶充满除泡腔11，将除泡腔11内的气体挤出的过程中，由于排气口13与进液管2的出口在竖直方向上间隔设置，即意味着进液管2的出口在除泡腔11内部，气体在光刻胶内自然上升，从而远离进液管2的出口，靠近排气口13，实现将除泡腔11内部的气体排出，由此降低气体汇聚移动至进液口12从而进入进液管2内，引发胶空传感器误报警的概率。

对于进液管2的设置位置，在本实施例中，进液管2的侧壁与除泡腔11的腔壁之间抵接。将进液管2贴合于除泡腔11的腔壁设置，能够在除泡腔11内部形成较为空旷的空间，以便于气体向排气口13汇聚。

为了便于光刻胶的流动在本实施例中，进液管2沿竖直方向设置，进液管2由进液口12处沿竖直方向延伸至除泡腔11内部。在光刻胶流动过程中，由于进液管2沿竖直方向设置，光刻胶能够依靠自身重力向除泡腔11内部流动。光刻胶延伸至除泡腔11内部，能够将光刻胶引导至除泡腔11内部，降低光刻胶与除泡腔11底壁之间的冲击和振荡，使得光刻胶能够相对温和地流入除泡腔11内部，便于除泡腔11内部的气体排出。

在本实施例中，对于进液管2延伸至除泡腔11内部的尺寸作进一步限定，除泡罐1的整体高度设为H1，进液管2延伸至除泡腔11内部的端口距离除泡罐1的底壁之间的距离设为H2，0.2*H1＜H2＜0.4*H1。通过这样的设置，使得光刻胶流入除泡腔11内部的过程中，一方面能够在流入开始时顺利流入除泡腔11，将除泡腔11底部的气体挤到除泡腔11的顶部，便于后续对除泡腔11内部气体的排出；另一方面能够保证光刻胶能够相对温和地流入除泡腔11内部，便于除泡腔11内部的气体排出。

为进一步便于光刻胶流入除泡腔11，进液管2的出口的端面为导向面，导向面沿靠近除泡腔11的腔侧壁的一侧向远离除泡腔11的腔侧壁的一侧向上倾斜。通过上述设置，能够在光刻胶流出进液管2产生一定的引流作用，便于光刻胶的流出。

在本实施例中，除泡罐1的顶部设置有气体汇聚部15，气体汇聚部15能够对除泡腔11内的气体导向汇聚，排气口13与气体汇聚部15连通。

在本实施例中，气体汇聚部15包括第一导向面151，所述第一导向面151位于所述除泡腔11的腔顶壁，第一导向面151倾斜设置，进液口12与排气口13分别设置于第一导向面151的两侧，排气口13的设置高度高于进液口12的设置高度。第一导向面151的设置，使得除泡腔11内的气体由排气口13排出时，经过第一导向面151的导向，在光刻胶逐渐充满除泡腔11的过程中，气体总是沿第一导向面151汇聚导向于排气口13处排出，通过第一导向面151的汇聚导向能够将除泡腔11内部的气体顺利排出，避免发生气体形成气泡堆积于光刻胶内部的情况。

进一步地，排气口13开设于除泡腔11的腔顶壁的中部，气体汇聚部15还包括第二导向面152，第二导向面152倾斜设置，第一导向面151与第二导向面152相对设置，排气口13设置于第一导向面151和第二导向面152之间。通过将排气口13设置于除泡腔11的腔顶壁的中部，并设置第二导向面152，能够提高对于除泡腔11内部气体的汇聚效率，加快除泡腔11内部气体的排出速度。

具体地，在本实施例中，第一导向面151与第二导向面152均为圆弧面，第一导向面151与第二导向面152围合形成圆环结构，圆环结构的上端口的口径小于圆环结构的下端口的口径，排气口13与圆环结构的上端口连通。

在本实施例中，光刻胶除泡装置还包括排气管3和出液管4，排气管3的一端与排气口连通，排气管3的另一端与外界环境连通。出液管4与出液口14连通。光刻胶除泡装置还包括泵体6，泵体6设置于出液管4，泵体6用于为光刻胶的正常流通提供动力。

此外，在本实施例中，光刻胶除泡装置还包括储胶罐5和加压件，进液管2远离进液口12的一端与储胶罐5连通。加压件与进液管2连通，加压件能够向进液管2内加压以加速光刻胶在进液管2内部的流动。加压件的设置能够加速光刻胶在进液管2内部的流动，以加快光刻胶充满除泡腔11的速度，提高除泡腔11内部气体的排出效率。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种光刻胶除泡装置，其特征在于，包括：

除泡罐(1)，所述除泡罐(1)内部形成有除泡腔(11)，所述除泡罐(1)设有连通所述除泡腔(11)的进液口(12)、排气口(13)和出液口(14)，所述排气口(13)设置于所述除泡腔(11)的腔顶壁，所述出液口(14)设置于所述除泡腔(11)的腔底壁；

进液管(2)，所述进液管(2)穿设于所述进液口(12)，所述进液管(2)的出口与所述排气口(13)在竖直方向上间隔设置，所述进液管(2)的出口位于所述排气口(13)的下方；

胶空传感器，所述胶空传感器与所述进液管(2)连接，所述胶空传感器用于检测所述进液管(2)内是否有气体。

2.根据权利要求1所述的光刻胶除泡装置，其特征在于，所述进液管(2)的侧壁与所述除泡腔(11)的腔壁之间抵接。

3.根据权利要求2所述的光刻胶除泡装置，其特征在于，所述进液管(2)沿竖直方向设置，所述进液管(2)由所述进液口(12)处沿竖直方向延伸至所述除泡腔(11)内部。

4.根据权利要求3所述的光刻胶除泡装置，其特征在于，所述除泡罐(1)的整体高度设为H1，所述进液管(2)的出口距离所述除泡罐(1)的底壁之间的距离设为H2,0.2*H1＜H2＜0.4*H1。

5.根据权利要求2所述的光刻胶除泡装置，其特征在于，所述进液管(2)的出口的端面为导向面，所述导向面沿靠近所述除泡腔(11)的腔侧壁的一侧向远离所述除泡腔(11)的腔侧壁的一侧向上倾斜。

6.根据权利要求1所述的光刻胶除泡装置，其特征在于，所述除泡罐(1)的顶部设置有气体汇聚部(15)，所述气体汇聚部(15)能够对所述除泡腔(11)内的气体导向汇聚，所述排气口(13)与所述气体汇聚部(15)连通。

7.根据权利要求6所述的光刻胶除泡装置，其特征在于，所述气体汇聚部(15)包括第一导向面(151)，所述第一导向面(151)位于所述除泡腔(11)的腔顶壁，所述第一导向面(151)倾斜设置，所述进液口(12)与所述排气口(13)分别设置于所述第一导向面(151)的两侧，所述排气口(13)的设置高度高于所述进液口(12)的设置高度。

8.根据权利要求7所述的光刻胶除泡装置，其特征在于，所述排气口(13)开设于所述除泡腔(11)的腔顶壁的中部；

所述气体汇聚部(15)还包括第二导向面(152)，所述第二导向面(152)倾斜设置，所述第二导向面(152)和所述第一导向面(151)相对设置，所述排气口(13)设置于所述第一导向面(151)和所述第二导向面(152)之间。

9.根据权利要求8所述的光刻胶除泡装置，其特征在于，所述第一导向面(151)与所述第二导向面(152)均为圆弧面，所述第一导向面(151)与所述第二导向面(152)围合形成圆环结构，所述圆环结构的上端口的口径小于所述圆环结构的下端口的口径，所述排气口(13)与所述圆环结构的上端口连通。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的光刻胶除泡装置，其特征在于，所述光刻胶除泡装置还包括：

排气管(3)，所述排气管(3)的一端与所述排气口(13)连通，所述排气管(3)的另一端与外界环境连通；

出液管(4)，所述出液管(4)与所述出液口(14)连通；

和/或

储胶罐(5)，所述进液管(2)的进口与所述储胶罐(5)连通；

加压件，所述加压件与所述进液管(2)连通，所述加压件能够向所述进液管(2)内加压以加速光刻胶在所述进液管(2)内部的流动。