CN221007365U - 一种晶圆缺陷检测设备 - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims abstract description 25
- 230000007306 turnover Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 11
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 claims description 8
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000003086 colorant Substances 0.000 abstract description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical group [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 210000003781 tooth socket Anatomy 0.000 description 1
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种晶圆缺陷检测设备，包括底座，所述底座上表面后端中部固定安装有竖板，所述竖板前表面上端固定安装有顶板，所述顶板下表面中部固定安装有竖杆，所述竖杆下端固定安装有连接杆，所述连接杆前端固定安装有照射灯，所述底座上表面中部设置有翻转结构，所述顶板内部设置有转动结构，所述翻转结构包括一号转动块。本实用新型所述的一种晶圆缺陷检测设备，可以在检测晶圆的时候，对晶圆进行多角度检测，避免晶圆表面细小划痕等缺陷不易被检测出来，还可以不需要人工对照射灯更换不同颜色的灯罩来实现照射灯发射出白光或黄绿光等检测光照射到晶圆之上，避免影响对晶圆的正常观察效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆检测领域，特别涉及一种晶圆缺陷检测设备。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，晶圆在加工过程中，常需经过切段、滚磨、切片、倒角、抛光和激光刻等工序，因此需要光学检测器对晶圆进行缺陷检测；然而现阶段使用的晶圆缺陷检测设备在检测晶圆时，是平放在光学检测器下端的，导致晶圆表面细小划痕等缺陷不易被检测出来，而且需要人工对照射灯更换不同颜色的灯罩来实现照射灯发射出白光或黄绿光等检测光照射到晶圆之上，从而影响对晶圆的正常观察效率。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种晶圆缺陷检测设备，可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
一种晶圆缺陷检测设备，包括底座，所述底座上表面后端中部固定安装有竖板，所述竖板前表面上端固定安装有顶板，所述顶板下表面中部固定安装有竖杆，所述竖杆下端固定安装有连接杆，所述连接杆前端固定安装有照射灯，所述底座上表面中部设置有翻转结构，所述顶板内部设置有转动结构。
优选的，所述翻转结构包括一号转动块、固定板、一号轴承、轴杆、T型槽、弹簧、检测台、L型夹持板、L型硅胶垫、T型滑块，所述底座上表面靠近两端中部均固定安装有固定板。
优选的，所述固定板靠近上端固定安装有一号轴承，所述一号轴承内表面活动安装有轴杆，所述轴杆一端固定安装有一号转动块，所述轴杆内侧固定安装有检测台，所述检测台内部两端均开设有T型槽。
优选的，所述T型槽内部滑动安装有T型滑块，在所述T型槽内T型滑块另一端固定安装有弹簧，所述T型滑块上端固定安装有L型夹持板，所述L型夹持板内侧固定安装有L型硅胶垫。
优选的，所述转动结构包括二号转动块、旋转杆、二号轴承、齿轮、矩形槽、转动盒、三号轴承、齿槽、安装孔、灯罩，所述顶板下表面中部开设有矩形槽。
优选的，所述矩形槽前表面固定安装有二号轴承，所述二号轴承内表面活动安装有旋转杆，所述旋转杆前端固定安装有二号转动块，所述二号转动块后端固定安装有齿轮，所述转动盒后表面中部固定安装有三号轴承。
优选的，所述三号轴承内表面活动安装有连接杆，所述转动盒外表面开设有齿槽，所述齿槽与齿轮啮合，所述转动盒外表面中部开设有安装孔，所述安装孔内固定安装有灯罩。
与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
本实用新型中，通过设置的翻转结构，可以在检测晶圆的时候，对晶圆进行多角度检测，避免晶圆表面细小划痕等缺陷不易被检测出来；通过设置的转动结构，可以不需要人工对照射灯更换不同颜色的灯罩来实现照射灯发射出白光或黄绿光等检测光照射到晶圆之上，避免影响对晶圆的正常观察效率。
附图说明
图1为本实用新型一种晶圆缺陷检测设备的整体结构示意图；
图2为本实用新型一种晶圆缺陷检测设备的剖面视图；
图3为本实用新型一种晶圆缺陷检测设备的图2中A处放大图；
图4为本实用新型一种晶圆缺陷检测设备的图2中B处放大图。
图中：1、底座；2、竖板；201、顶板；3、竖杆；301、连接杆；302、照射灯；4、翻转结构；401、一号转动块；402、固定板；403、一号轴承；404、轴杆；405、T型槽；406、弹簧；407、检测台；408、L型夹持板；409、L型硅胶垫；410、T型滑块；5、转动结构；501、二号转动块；502、旋转杆；503、二号轴承；504、齿轮；505、矩形槽；506、转动盒；507、三号轴承；508、齿槽；509、安装孔；510、灯罩。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
如图1-4所示，一种晶圆缺陷检测设备，包括底座1，底座1上表面后端中部固定安装有竖板2，竖板2前表面上端固定安装有顶板201，顶板201下表面中部固定安装有竖杆3，竖杆3下端固定安装有连接杆301，连接杆301前端固定安装有照射灯302，底座1上表面中部设置有翻转结构4，顶板201内部设置有转动结构5；
翻转结构4包括一号转动块401、固定板402、一号轴承403、轴杆404、T型槽405、弹簧406、检测台407、L型夹持板408、L型硅胶垫409、T型滑块410，底座1上表面靠近两端中部均固定安装有固定板402；固定板402靠近上端固定安装有一号轴承403，一号轴承403内表面活动安装有轴杆404，轴杆404一端固定安装有一号转动块401，轴杆404内侧固定安装有检测台407，检测台407内部两端均开设有T型槽405；T型槽405内部滑动安装有T型滑块410，在T型槽405内T型滑块410另一端固定安装有弹簧406，T型滑块410上端固定安装有L型夹持板408，L型夹持板408内侧固定安装有L型硅胶垫409；转动结构5包括二号转动块501、旋转杆502、二号轴承503、齿轮504、矩形槽505、转动盒506、三号轴承507、齿槽508、安装孔509、灯罩510，顶板201下表面中部开设有矩形槽505；矩形槽505前表面固定安装有二号轴承503，二号轴承503内表面活动安装有旋转杆502，旋转杆502前端固定安装有二号转动块501，二号转动块501后端固定安装有齿轮504，转动盒506后表面中部固定安装有三号轴承507；三号轴承507内表面活动安装有连接杆301，转动盒506外表面开设有齿槽508，齿槽508与齿轮504啮合，转动盒506外表面中部开设有安装孔509，安装孔509内固定安装有灯罩510。
需要说明的是，本实用新型为一种晶圆缺陷检测设备，在使用时，首先需要将L型夹持板408向两端拉动，使L型夹持板408下端固定安装的T型滑块410在T型槽405内滑动，并挤压弹簧406，然后将晶圆放置在检测台407中间，再放开L型夹持板408，这时T型滑块410会在弹簧406的作用下在T型槽405向内滑动，使L型夹持板408内侧固定安装的L型硅胶垫409紧贴晶圆，使晶圆固定住，然后打开照射灯302开始检测，当需要翻转晶圆角度时，转动一号转动块401，带动轴杆404在一号轴承403内表面转动，使检测台407转动，从而带动晶圆转动，对其进行多角度检测，当需要更换灯罩510时，转动二号转动块501，使二号转动块501带动旋转杆502在二号轴承503内表面转动，从而带动齿轮504转动，因为齿轮504与齿槽508啮合，从而带动灯罩510三号轴承507外表面转动，使相应的灯罩510转动到旋转杆502正下方。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (7)
1.一种晶圆缺陷检测设备，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)上表面后端中部固定安装有竖板(2)，所述竖板(2)前表面上端固定安装有顶板(201)，所述顶板(201)下表面中部固定安装有竖杆(3)，所述竖杆(3)下端固定安装有连接杆(301)，所述连接杆(301)前端固定安装有照射灯(302)，所述底座(1)上表面中部设置有翻转结构(4)，所述顶板(201)内部设置有转动结构(5)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆缺陷检测设备，其特征在于：所述翻转结构(4)包括一号转动块(401)、固定板(402)、一号轴承(403)、轴杆(404)、T型槽(405)、弹簧(406)、检测台(407)、L型夹持板(408)、L型硅胶垫(409)、T型滑块(410)，所述底座(1)上表面靠近两端中部均固定安装有固定板(402)。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆缺陷检测设备，其特征在于：所述固定板(402)靠近上端固定安装有一号轴承(403)，所述一号轴承(403)内表面活动安装有轴杆(404)，所述轴杆(404)一端固定安装有一号转动块(401)，所述轴杆(404)内侧固定安装有检测台(407)，所述检测台(407)内部两端均开设有T型槽(405)。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆缺陷检测设备，其特征在于：所述T型槽(405)内部滑动安装有T型滑块(410)，在所述T型槽(405)内T型滑块(410)另一端固定安装有弹簧(406)，所述T型滑块(410)上端固定安装有L型夹持板(408)，所述L型夹持板(408)内侧固定安装有L型硅胶垫(409)。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆缺陷检测设备，其特征在于：所述转动结构(5)包括二号转动块(501)、旋转杆(502)、二号轴承(503)、齿轮(504)、矩形槽(505)、转动盒(506)、三号轴承(507)、齿槽(508)、安装孔(509)、灯罩(510)，所述顶板(201)下表面中部开设有矩形槽(505)。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆缺陷检测设备，其特征在于：所述矩形槽(505)前表面固定安装有二号轴承(503)，所述二号轴承(503)内表面活动安装有旋转杆(502)，所述旋转杆(502)前端固定安装有二号转动块(501)，所述二号转动块(501)后端固定安装有齿轮(504)，所述转动盒(506)后表面中部固定安装有三号轴承(507)。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆缺陷检测设备，其特征在于：所述三号轴承(507)内表面活动安装有连接杆(301)，所述转动盒(506)外表面开设有齿槽(508)，所述齿槽(508)与齿轮(504)啮合，所述转动盒(506)外表面中部开设有安装孔(509)，所述安装孔(509)内固定安装有灯罩(510)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322514270.1U CN221007365U (zh) | 2023-09-15 | 2023-09-15 | 一种晶圆缺陷检测设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322514270.1U CN221007365U (zh) | 2023-09-15 | 2023-09-15 | 一种晶圆缺陷检测设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN221007365U true CN221007365U (zh) | 2024-05-24 |
Family
ID=91086780
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202322514270.1U Active CN221007365U (zh) | 2023-09-15 | 2023-09-15 | 一种晶圆缺陷检测设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN221007365U (zh) |
-
2023
- 2023-09-15 CN CN202322514270.1U patent/CN221007365U/zh active Active
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| GR01 | Patent grant | ||
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