CN221006806U - 气体分配盘测试设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及气体分配盘技术领域，具体公开了气体分配盘测试设备。该设备用于测试待测分配盘，待测分配盘包括用于加热产品的加热模块及分别电连接于加热模块正负极的两个接线端头，气体分配盘测试设备包括设备壳体，设备壳体内设有多点测温工作台和调压器；多点测温工作台包括工作台主体和置于其顶部的弹性板；调压器包括调压电源及分别电连接于调压电源正负极的两个调压端头，调压端头均通过柔性加热管电连接极性对应的接线端头；工作台主体连接有用于显示待测分配盘的工作温度的多通道温度显示单元，调压器电连接有用于测量工作电流的电流显示单元和用于测量工作电压的电压显示单元。该设备能对产品进行预加热，以检验产品的性能稳定性。

Description

气体分配盘测试设备

技术领域

本实用新型涉及气体分配盘技术领域，尤其涉及气体分配盘测试设备。

背景技术

在半导体用零部件领域中，半导体用加热型气体分配盘存在有各种性能的类型需求，各种型号的气体分配盘分别应用于不同的使用环境之中，这类气体分配盘包括单层气体分配盘、多层气体分配盘以及多层且带加热模块的气体分配盘。在上述背景下，多层且带加热模块的气体分配盘需要针对相关加热的参数和数据进行测试，以实现上述气体分配盘在加热过程中对产品的品质控制，从而把控产品的成品质量。

现有技术中，常采用调压器直接连接气体分配盘的方式，利用气体分配盘对产品进行简单的加热测试。这是由于市场上没有专门对应半导体气体分配盘的全套测试设备，使得加热测试需要将调压器与不同的测试装置临时拼凑以完成测试，这类测试既没有规范的测试流程，也没有统一的测试参数，上述情况致使加热测试的效率低下，测试结果的准确性难以保障。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供气体分配盘测试设备，以集成气体分配盘的加热结构与测试结构，提升产品的测试结果的便利性，提升产品的加工品质的稳定性。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

气体分配盘测试设备，用于测试待测分配盘，所述待测分配盘上安装有产品，所述待测分配盘包括用于加热所述产品的加热模块及分别电连接于所述加热模块的正负极的两个接线端头，所述气体分配盘测试设备包括设备壳体，所述设备壳体内设有多点测温工作台和调压器；所述多点测温工作台包括工作台主体和置于所述工作台主体顶部的弹性板，所述弹性板用于承载所述待测分配盘，所述工作台主体用于测量所述待测分配盘的工作温度；所述调压器包括调压电源及分别电连接于所述调压电源的正负极的两个调压端头，每个所述调压端头均通过一个柔性加热管与极性对应的所述接线端头电连接；所述工作台主体上通信连接有用于显示所述工作温度的多通道温度显示单元，所述调压器上还电连接有用于测量所述调压器的工作电流的电流显示单元和用于测量所述调压器的工作电压的电压显示单元。

作为气体分配盘测试设备的优选技术方案，所述设备壳体围成第一腔室和第二腔室，所述第一腔室位于所述第二腔室的正上方；所述多点测温工作台安装于所述第二腔室内，且所述多点测温工作台的顶部伸入所述第一腔室内。

作为气体分配盘测试设备的优选技术方案，所述设备壳体还围成第三腔室和第四腔室，所述第三腔室位于所述第四腔室的正上方；所述调压电源安装于所述第四腔室内，所有的所述调压端头均置于所述第一腔室内。

作为气体分配盘测试设备的优选技术方案，所述多通道温度显示单元、所述电流显示单元和所述电压显示单元嵌设于所述第三腔室的腔壁。

作为气体分配盘测试设备的优选技术方案，所述第三腔室的腔壁还嵌设有参数显示单元，所述参数显示单元通信连接于所述调压器，所述参数显示单元用于显示所述调压器的工作参数。

作为气体分配盘测试设备的优选技术方案，所述第三腔室的腔壁还嵌设有计时显示单元，所述计时显示单元通信连接于所述调压器，所述计时显示单元用于测量所述调压器的工作时间。

作为气体分配盘测试设备的优选技术方案，所述多通道温度显示单元包括多通道温度表。

作为气体分配盘测试设备的优选技术方案，所述电流显示单元包括电流表。

作为气体分配盘测试设备的优选技术方案，所述电压显示单元包括电压表。

作为气体分配盘测试设备的优选技术方案，所述柔性加热管的一端可拆卸插接于所述接线端头上，另一端可拆卸插接于所述调压端头上。

本实用新型的有益效果：

该气体分配盘测试设备借助设备壳体的设置，达到了对多点测温工作台和调压器的防护目的，减少了外部环境对多点测温工作台和调压器的干扰，保障了气体分配盘测试设备的稳定运行。根据在工作台主体的顶部设置弹性板的设计，得以避免待测分配盘与多点测温工作台的刚性碰撞，减少工作台主体与待测分配盘损伤的风险，降低了多点测温工作台的维护频率。调压端头通过柔性加热管与极性对应的接线端头电连接的限定，确保了接线端头与调压端头之间的电连接，而柔性加热管的设置降低了连接的难度，减少了对待测分配盘的位置限定要求，提高了气体分配盘测试设备的测试效率。借助多通道温度显示单元的设置，得以显示工作台主体所测得的待测分配盘的工作温度；借助电流显示单元的设置，得以实时显示调压器的在线工作电流和在线工作电压，故而得以满足性能测试的要求，保障了待测分配盘处温度控制的一致性及准确性；操作人员能够直观地监测当前的温度、电流和电压是否稳定，并根据对测试所得数据的直观分析，判断待测分配盘的品质是否满足测试要求。利用调压器对产品的预加热工序，能够检验产品在出货前的性能稳定性，进而得以验证不同设备的使用要求。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的气体分配盘测试设备的剖面图。

图中：

100、设备壳体；101、第一腔室；102、第二腔室；103、第三腔室；

200、多点测温工作台；210、工作台主体；220、弹性板；

300、调压器；310、调压电源；320、调压端头；330、柔性加热管；

410、多通道温度显示单元；420、电流显示单元；430、电压显示单元；440、参数显示单元；

500、待测分配盘；510、接线端头。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置，而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

如图1所示，本实施例提供了气体分配盘测试设备，用于测试待测分配盘500，待测分配盘500上安装有产品，待测分配盘500包括用于加热产品的加热模块及分别电连接于加热模块的正负极的两个接线端头510，气体分配盘测试设备包括设备壳体100，设备壳体100内设有多点测温工作台200和调压器300；多点测温工作台200包括工作台主体210和置于工作台主体210顶部的弹性板220，弹性板220用于承载待测分配盘500，工作台主体210用于测量待测分配盘500的工作温度；调压器300包括调压电源310及分别电连接于调压电源310的正负极的两个调压端头320，每个调压端头320均通过一个柔性加热管330与极性对应的接线端头510电连接；工作台主体210上通信连接有用于显示工作温度的多通道温度显示单元410，调压器300上还电连接有用于测量调压器300的工作电流的电流显示单元420和用于测量调压器300的工作电压的电压显示单元430。

根据产品的测试要求，需要利用满足各项需求的对应测试工具，设计相关的设备，用以满足产品的出货质量的性能测试要求。性能测试要求包括对工作温度、在线工作电流和在线工作电压的稳定性监测，其目的是为了保障温度控制的一致性及准确性。

本实施例中，产品为晶圆板。在本实施例的其他实施方式中，产品为其他板状精密电子结构。具体的电子结构由本领域内的技术人员根据工程实际所决定，其决定方式为本利用内的公知常识，在此不多加赘述。

该气体分配盘测试设备借助设备壳体100的设置，达到了对多点测温工作台200和调压器300的防护目的，减少了外部环境对多点测温工作台200和调压器300的干扰，保障了气体分配盘测试设备的稳定运行。根据在工作台主体210的顶部设置弹性板220的设计，得以避免待测分配盘500与多点测温工作台200的刚性碰撞，减少工作台主体210与待测分配盘500损伤的风险，降低了多点测温工作台200的维护频率。调压端头320通过柔性加热管330与极性对应的接线端头510电连接的限定，确保了接线端头510与调压端头320之间的电连接，而柔性加热管330的设置降低了连接的难度，减少了对待测分配盘500的位置限定要求，提高了气体分配盘测试设备的测试效率。借助多通道温度显示单元410的设置，得以显示工作台主体210所测得的待测分配盘500的工作温度；借助电流显示单元420的设置，得以实时显示调压器300的在线工作电流和在线工作电压，故而得以满足性能测试的要求，保障了待测分配盘500处温度控制的一致性及准确性；操作人员能够直观地监测当前的温度、电流和电压是否稳定，并根据对测试所得数据的直观分析，判断待测分配盘500的品质是否满足测试要求。利用调压器300对产品的预加热工序，能够检验产品在出货前的性能稳定性，进而得以验证不同设备的使用要求。

本实施例中，多点测温工作台200及其上的工作台主体210为本领域内的常规结构，其具体结构为本领域内的技术人员所熟知，在此不多加赘述。

气体分配盘测试设备能根据产品类型(例如单工位或多工位)调压测试集成平台；气体分配盘测试设备采用了多点面多通道热数据采集载物平台；实现了气体分配盘测试设备在线工作电流和在线工作电压的数据采集及显示。气体分配盘测试设备集成了多通道热采集，能够配合多点面多通道热数据采集载物平台设计。具体地，多通道为温度多点测试显示设备。

在本实施例中，设备壳体100围成第一腔室101和第二腔室102，第一腔室101位于第二腔室102的正上方；多点测温工作台200安装于第二腔室102内，且多点测温工作台200的顶部伸入第一腔室101内。借助以上限定，实现了对多点测温工作台200的布局优化，以上限定降低了待测分配盘500因意外而落入第二腔室102的风险，确保所有的待测分配盘500均放置于第一腔室101内。以上设计有助于减少设备壳体100所占用的空间，提高待测分配盘500的测试速度。

进一步地，设备壳体100还围成第三腔室103和第四腔室，第三腔室103位于第四腔室的正上方；调压电源310安装于第四腔室内，所有的调压端头320均置于第一腔室101内。调压电源310安装于第四腔室内的限定实现了对调压器300的布局优化，降低了接线端头510与调压端头320的连接难度，减少了调压器300所需占用的空间，降低了调压器300故障的风险。

具体地，第一腔室101、第二腔室102、第三腔室103和第四腔室呈“田”字形布置。以上布局简单可靠，占用空间小且生产成本低。

再进一步地，多通道温度显示单元410、电流显示单元420和电压显示单元430嵌设于第三腔室103的腔壁。多通道温度显示单元410、电流显示单元420和电压显示单元430嵌设于第三腔室103腔壁的限定实现了多通道温度显示单元410、电流显示单元420和电压显示单元430的顺利安装，确保了操作人员能够直观且准确的读取多通道温度显示单元410、电流显示单元420和电压显示单元430的数据。

示例性地，第三腔室103的腔壁还嵌设有参数显示单元440，参数显示单元440通信连接于调压器300，参数显示单元440用于显示调压器300的工作参数。参数显示单元440的设置使得调压器300的工作参数得以显示给操作人员，使得操作人员能够对直观地获取调压器300的设备信息。以上结构简单可靠，减少了操作人员的工作量，同时还使得操作人员能够及时地发现调压器300处的问题，避免气体分配盘测试设备在调压器300故障的情况下进行检测，保障了检测结果的准确性。

在本实施例中，第三腔室103的腔壁还嵌设有计时显示单元，计时显示单元通信连接于调压器300，计时显示单元用于测量调压器300的工作时间。计时显示单元的设置使得操作人员得以直观地获取调压器300对待测分配盘500进行加热的时间，以上设计进一步地减少了操作人员的工作量，降低了操作人员记错或漏记的概率。

示例性地，多通道温度显示单元410包括多通道温度表；电流显示单元420包括电流表；电压显示单元430包括电压表。多通道温度表、电流表和电压表分别能够顺利地起到显示温度、显示电流和显示电压的作用，多通道温度表、电流表和电压表的具体结构简单可靠、生产成本低、工作稳定性高且占用空间小。

多通道温度表、电流表和电压表的具体结构为本利于内的常规结构，其具体结构为本领域内的技术人员所熟知，在此不多加赘述。

在本实施例中，柔性加热管330的一端可拆卸插接于接线端头510上，另一端可拆卸插接于调压端头320上。柔性加热管330的端部与接线端头510和调压端头320可拆卸插接匹配的限定，保障了柔性加热管330与接线端头510和调压端头320的连接稳定性，同时还降低了柔性加热管330因意外而脱离的风险，以上结构简单可靠且拆装方便，有助于进一步地提升气体分配盘测试设备的检测效率。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.气体分配盘测试设备，用于测试待测分配盘(500)，所述待测分配盘(500)上安装有产品，所述待测分配盘(500)包括用于加热所述产品的加热模块及分别电连接于所述加热模块的正负极的两个接线端头(510)，其特征在于，所述气体分配盘测试设备包括设备壳体(100)，所述设备壳体(100)内设有：

多点测温工作台(200)，所述多点测温工作台(200)包括工作台主体(210)和置于所述工作台主体(210)顶部的弹性板(220)，所述弹性板(220)用于承载所述待测分配盘(500)，所述工作台主体(210)用于测量所述待测分配盘(500)的工作温度；

调压器(300)，包括调压电源(310)及分别电连接于所述调压电源(310)的正负极的两个调压端头(320)，每个所述调压端头(320)均通过一个柔性加热管(330)与极性对应的所述接线端头(510)电连接；所述工作台主体(210)上通信连接有用于显示所述工作温度的多通道温度显示单元(410)，所述调压器(300)上还电连接有用于测量所述调压器(300)的工作电流的电流显示单元(420)和用于测量所述调压器(300)的工作电压的电压显示单元(430)。

2.根据权利要求1所述的气体分配盘测试设备，其特征在于，所述设备壳体(100)围成第一腔室(101)和第二腔室(102)，所述第一腔室(101)位于所述第二腔室(102)的正上方；所述多点测温工作台(200)安装于所述第二腔室(102)内，且所述多点测温工作台(200)的顶部伸入所述第一腔室(101)内。

3.根据权利要求2所述的气体分配盘测试设备，其特征在于，所述设备壳体(100)还围成第三腔室(103)和第四腔室，所述第三腔室(103)位于所述第四腔室的正上方；所述调压电源(310)安装于所述第四腔室内，所有的所述调压端头(320)均置于所述第一腔室(101)内。

4.根据权利要求3所述的气体分配盘测试设备，其特征在于，所述多通道温度显示单元(410)、所述电流显示单元(420)和所述电压显示单元(430)嵌设于所述第三腔室(103)的腔壁。

5.根据权利要求4所述的气体分配盘测试设备，其特征在于，所述第三腔室(103)的腔壁还嵌设有参数显示单元(440)，所述参数显示单元(440)通信连接于所述调压器(300)，所述参数显示单元(440)用于显示所述调压器(300)的工作参数。

6.根据权利要求4所述的气体分配盘测试设备，其特征在于，所述第三腔室(103)的腔壁还嵌设有计时显示单元，所述计时显示单元通信连接于所述调压器(300)，所述计时显示单元用于测量所述调压器(300)的工作时间。

7.根据权利要求1所述的气体分配盘测试设备，其特征在于，所述多通道温度显示单元(410)包括多通道温度表。

8.根据权利要求1所述的气体分配盘测试设备，其特征在于，所述电流显示单元(420)包括电流表。

9.根据权利要求1所述的气体分配盘测试设备，其特征在于，所述电压显示单元(430)包括电压表。

10.根据权利要求1-9任一项所述的气体分配盘测试设备，其特征在于，所述柔性加热管(330)的一端可拆卸插接于所述接线端头(510)上，另一端可拆卸插接于所述调压端头(320)上。