CN221003075U - 真空除气罐 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种真空除气罐，涉及真空设备技术领域，用于改善改善小型分子泵电机定子真空除气一次仅抽一个的低效问题。该真空除气罐具有一封闭空间，所述真空除气罐上开设有进气口和出气口，所述出气口通过管路与真空设备连接，所述进气口处设有进气阀；所述真空除气罐的底部具有摆放平面，所述摆放平面用于放置分子泵组件。上述真空除气罐可将多台小型分子泵放入大体积真空除气罐中，实现批量作业。

Description

真空除气罐

技术领域

本实用新型涉及真空设备技术领域，具体涉及一种真空除气罐。

背景技术

真空除气装置一般具有较大的体积，然而较大的体积需要耗费较大的能源以使得真空除气装置内部呈现真空状态。相关技术中，在分子泵组件的制作过程中，需要使其处于真空状态，而目前并无适应分子泵组件的真空除气装置，以适应分子泵组件的需求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空除气罐，从而为分子泵组件创造适合其制作的真空环境。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

提供一种真空除气罐，所述真空除气罐具有一封闭空间，所述真空除气罐上开设有进气口和出气口，所述出气口通过管路与真空设备连接，所述进气口处设有进气阀；所述真空除气罐的底部具有摆放平面，所述摆放平面用于放置分子泵组件。

在一些实施例中，所述真空除气罐为透明罐体。

在一些实施例中，所述真空除气罐的材料为透明有机玻璃。

在一些实施例中，包括盖板、罐体以及位于所述盖板和所述罐体之间的密封垫；所述盖板与所述罐体可拆卸连接。

在一些实施例中，所述进气口位于所述盖板上，所述出气口位于所述罐体的侧壁。

在一些实施例中，所述盖板上还设有至少一个把手。

在一些实施例中，所述进气口处还设有过滤网。

在一些实施例中，所述进气阀为进气球阀。

在一些实施例中，所述摆放平面上还设有多个凹槽，所述分子泵组件位于所述凹槽内。

在一些实施例中，所述凹槽的内径与所述分子泵组件位于所述凹槽内的部分的外径相适配。

有益效果：

本公开通过真空设备工作，同时将进气阀关闭，可以使得真空除气罐内部形成真空环境；而利用摆放平面来放置分子泵组件，且分子泵组件可以均匀排列多组，从而能够同时对多组分子泵组件的制作创造真空环境，利于分子泵的形成。此外，为了平衡真空除气罐内外的压力，当内部真空环境的压力过小时，通过开启进气阀，可以避免真空除气罐受压过大而发生损坏。此外，在分子泵组件置于真空除气罐中一定时间之后，需要取出分子泵组件，此时先将进气阀开启，待真空除气罐内外压力平衡之后，打开真空除气罐，即可取出分子泵组件。

附图说明

为了更清楚地说明本公开实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍。应当理解，以下附图仅示出了本公开的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定。对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本公开一些实施例提供的一种分子泵组件的结构示意图；

图2为本公开一些实施例提供的一种真空除气罐的结构示意图；

图3为本公开另一些实施例提供的一种真空除气罐的结构示意图；

附图标记：

1-泵体、2-定子、3-定子内套、11-盖板、12-罐体、13-进气口、14-出气口、15-进气阀、16-把手、20-分子泵组件、100-真空除气罐。

具体实施方式

为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例中的附图，对本公开实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本公开实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本公开的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本公开的范围，而是仅仅表示本公开的选定实施例。基于本公开中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

除非上下文另有要求，否则，在整个说明书和权利要求书中，术语“包括”被解释为开放、包含的意思，即为“包含，但不限于”。在说明书的描述中，术语“一些实施例”、“一些示例”或“示例性”等旨在表明与该实施例或示例相关的特定特征、结构、材料或特性包括在本实用新型的至少一个实施例或示例中。上述术语的示意性表示不一定是指同一实施例或示例。此外，所述的特定特征、结构、材料或特点可以以任何适当方式包括在任何一个或多个实施例或示例中。

在本公开的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。

此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。术语“A和/或B”包括以下组合：仅A，仅B，或者A和B。在本公开的描述中，C和D发生相对转动，可以指C静止而D转动，或者是C转动而D静止。

在本公开的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，“设置”、“连接”等术语应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接，可以是两个元件内部的连通。此外，“固定”可以是直接连接固定，也可以通过中间媒介间接固定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。

相关技术中，如图1所示，分子泵组件通常包括泵体1、定子2以及定子内套3，分子泵组件在制作成为分子泵的过程中，需要在泵体1内依次放入定子内套3以及定子2，然后再往泵体1内注入树脂，树脂充满泵体1、定子2以及定子内套3相互之间的间隙中，待后续将树脂固化成型，从而最终形成分子泵。

在树脂注入之后，树脂内会存在气泡。此时将注入树脂后的分子泵组件放入到真空环境中，树脂中的气泡由于真空环境的压力较小而溢出，这样最终所形成的分子泵的稳定性会更好。

分子泵组件通常具有较小的体积，而相关技术中真空除气设备的体积较大，难以适配于上述分子泵组件。

基于此，如图2-3所示，本公开一些实施例提供一种真空除气罐100，该真空除气罐100具有一封闭空间，真空除气罐100上开设有进气口13和出气口14，出气口14通过管路与真空设备连接，进气口13处设有进气阀15；真空除气罐100的底部具有摆放平面，该摆放平面用于放置分子泵组件20。

通过上述设置，通过真空设备工作，同时将进气阀15关闭，可以使得真空除气罐100内部形成真空环境；而利用摆放平面来放置分子泵组件20，且分子泵组件20可以均匀排列多组，从而能够同时对多组分子泵组件20的制作创造真空环境，便于分子泵组件的批量化作业。

为了平衡真空除气罐100内外的压力，当内部真空环境的压力过小时，通过开启进气阀15，可以避免真空除气罐100受压过大而发生损坏。此外，在分子泵组件20置于真空除气罐100中一定时间之后，需要取出分子泵组件20，此时先将进气阀15开启，待真空除气罐100内外压力平衡之后，打开真空除气罐100，即可取出分子泵组件20。

此外，上述真空除气罐100结构简单，可靠性高，且具有很强的实用性。

在一些实施例中，真空除气罐100为透明罐体，这样设置，有助于观察真空除气罐100内部分子泵组件20的树脂状态，从而可以更好地去除树脂中的气泡，利于分子泵的形成。

在一些示例中，真空除气罐100的材料为透明有机玻璃。一方面，透明有机玻璃获取方便，材料成本较低，而且还容易一体成型；另一方面，透明有机玻璃具有较强的耐力，在真空环境下不容易发生变形，从而方便分子泵组件20的放置。

在一些实施例中，如图2所示，真空除气罐100包括盖板11、罐体12以及位于盖板11和罐体12之间的密封垫，盖板11与10罐体可拆卸连接。通过盖板11与10罐体可拆卸连接，可以将真空除气罐100打开，以放置分子泵组件20；由于密封垫的设置，还能保障真空除气罐100内部的封闭空间的密闭性，从而确保真空环境能够长久保持。

在此情况下，盖板11和罐体12分别由透明有机玻璃制成。

在一些示例中，盖板11和罐体12之间可以设置卡扣结构，通过卡扣结构以实现二者之间的连接。在另一些示例中，盖板11和罐体12之间可以通过螺栓螺母的方式进行连接。再一些示例中，盖板11和罐体12之间可以通过过盈配合的方式进行连接，示例性的，盖板11下沿的内径略大于罐体12顶端的外径，从而实现两者之间的连接。当然，可拆卸连接方式并不限制于以上几种，只要能够实现盖板11和罐体12的拆卸和连接，都是本公开可选实施范围之内。

在一些实施例中，进气口13位于盖板11上，出气口14位于罐体12的侧壁。这样设置，出气口14相较于进气口13位于下方，这样有利于将罐体12内部的空气抽出，以形成真空环境。而进气口13和出气口14分别位于盖板11和罐体12上，这样也方便对于二者的分别维修。

在一些实施例中，盖板11上还设有至少一个把手16，通过设置把手16，从而便于对盖板11进行提取，从而打开盖板11取出分子泵组件20。

在一些示例中，把手16可以设置两个，分列盖板11的两侧，这样可以更加便于对盖板11进行提取。

在一些实施例中，进气口13处还设有过滤网，这样可以放置进气口13在进气过程中带入污染空气(例如带微尘颗粒的空气)，从而影响树脂的质量，进而影响分子泵的质量。

在一些实施例中，进气阀15为进气球阀，这样有利于对进气进行良好的控制。

在一些实施例中，摆放平面上还设有多个凹槽，分子泵组件20位于凹槽内，这样有利于对多个分子泵组件20进行排列放置，一方面利于分子泵组件20的安装稳定性，另一方面还利于对分子泵组件20进行快速定位，提高放置效率。

在一些实施例中，凹槽的内径与分子泵组件20位于该凹槽内的部分的外径相适配，这样在将分子泵组件20插入对应的凹槽中时，能够保障分子泵组件20的稳定性。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种真空除气罐，其特征在于，所述真空除气罐具有一封闭空间，所述真空除气罐上开设有进气口和出气口，所述出气口通过管路与真空设备连接，所述进气口处设有进气阀；所述真空除气罐的底部具有摆放平面，所述摆放平面用于放置分子泵组件。

2.根据权利要求1所述的真空除气罐，其特征在于，所述真空除气罐为透明罐体。

3.根据权利要求2所述的真空除气罐，其特征在于，所述真空除气罐的材料为透明有机玻璃。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的真空除气罐，其特征在于，包括盖板、罐体以及位于所述盖板和所述罐体之间的密封垫；所述盖板与所述罐体可拆卸连接。

5.根据权利要求4所述的真空除气罐，其特征在于，所述进气口位于所述盖板上，所述出气口位于所述罐体的侧壁。

6.根据权利要求4所述的真空除气罐，其特征在于，所述盖板上还设有至少一个把手。

7.根据权利要求1-3中任一项所述的真空除气罐，其特征在于，所述进气口处还设有过滤网。

8.根据权利要求1-3中任一项所述的真空除气罐，其特征在于，所述进气阀为进气球阀。

9.根据权利要求1-3中任一项所述的真空除气罐，其特征在于，所述摆放平面上还设有多个凹槽，所述分子泵组件位于所述凹槽内。

10.根据权利要求9所述的真空除气罐，其特征在于，所述凹槽的内径与所述分子泵组件位于所述凹槽内的部分的外径相适配。