CN220984509U - 治具及具有其的装片机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种治具及具有其的装片机，治具包括至少一个支撑部和至少一个水平限位部，至少一个支撑部围成圆环形，水平限位部与支撑部连接，至少一个水平限位部围成圆环形，其中，支撑部的外径大于或小于水平限位部的内径。该治具使得非通用尺寸的圆片环能够与现有的装片机的圆片底盘相适配，有利于新型晶圆的封装，且降低了生产成本。

Description

治具及具有其的装片机

技术领域

本实用新型涉及半导体封装技术领域，尤其是涉及一种治具及具有其的装片机。

背景技术

现有技术中的半导体封装用装片机的圆片底盘部分，采用通用尺寸的圆片环。随着可以用于生产晶圆的材料的变化，新型晶圆尺寸可能会发生变化，用于承载新型晶圆的新型圆片环尺寸也会发生变化，而现有的装片机的圆片底盘无法与新型圆片环相适配，不利于新型晶圆的封装。重新设计与新型圆片环相适配的装片机的圆片底盘，提高了生产成本。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种治具，使得非通用尺寸的圆片环能够与现有的装片机的圆片底盘相适配，有利于新型晶圆的封装，且降低了生产成本。

本实用新型还旨在提出一种具有上述治具的装片机

根据本实用新型第一方面实施例的治具，包括至少一个支撑部和至少一个水平限位部，至少一个支撑部围成圆环形，水平限位部与支撑部连接，至少一个水平限位部围成圆环形，其中，支撑部的外径大于或小于水平限位部的内径。

根据本实用新型的治具，通过设置支撑部，对非通用尺寸的圆片环进行支撑，通过水平限位部对非通用尺寸的圆片环进行水平限位，从而使得非通用尺寸的圆片环能够与现有的装片机的圆片底盘相适配，有利于新型晶圆的封装，且降低了生产成本。

根据本申请的一些实施例，水平限位部包括至少三个第一限位部，水平限位部的圆心位于至少三个第一限位部依次连接成的多边形内。

根据本申请的一些实施例，水平限位部包括至少一个第二限位部，第二限位部具有弧形限位面。

根据本申请的一些实施例，水平限位部包括至少一个弹性限位部，弹性限位部沿水平方向可伸缩。

根据本申请的一些实施例，治具还包括底座，底座与支撑部连接，底座设有沿水平方向的通孔，弹性限位部包括限位本体，第三限位部和第四限位部，以及弹性件，限位本体穿设于通孔，且与通孔可活动连接，第三限位部和第四限位部分别连接在限位本体的靠近和远离水平限位部的圆心的一端，弹性件抵压于底座和第三限位部之间。

根据本申请的一些实施例，治具还包括至少一个竖直限位部，竖直限位部与支撑部连接。

根据本申请的一些实施例，竖直限位部包括固定限位部，固定限位部连接于水平限位部的上表面，且延伸出水平限位部的上表面边缘。

根据本申请的一些实施例，竖直限位部还包括活动限位部，活动限位部与支撑部活动连接，活动限位部具有限位位置和用松开位置。

根据本申请的一些实施例，支撑部为一个，支撑部包括圆环形的支撑本体和圆环形的支撑侧壁，支撑侧壁连接在支撑本体的径向外边缘，支撑侧壁上设有至少一个连接孔。

根据本申请的一些实施例，支撑侧壁远离支撑本体的一面设有至少一个边沿，边沿水平方向设置，边沿的下表面与支撑侧壁远离支撑本体的一侧呈L型。

根据本实用新型第二方面实施例的治具，包括底盘和上述实施例中的治具，底盘具有沿竖直方向的通孔，治具的至少部分安装于通孔内。

根据本实用新型实施例的装片机，通过采用上述实施例中的治具，能够与非通用尺寸的圆片环进行适配，有利于新型晶圆的封装，且降低了生产成本。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1是根据本实用新型实施例的治具的立体结构示意图；

图2是根据本实用新型实施例的治具的俯视图；

图3是图2中A处的放大图。

附图标记：

治具100、

支撑部10、支撑本体11、支撑侧壁12、边沿13、连接块14、连接孔141、

水平限位部20、第一限位部21、第二限位部22、弧形限位面22a、弹性限位部23、限位本体231、第三限位部232、第四限位部233、弹性件234、

底座30、

竖直限位部40、固定限位部41、活动限位部42。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的可应用于性和/或其他材料的使用。

下面参考附图描述根据本实用新型实施例的治具100。

如图1和图2所示，根据本实用新型第一方面实施例的治具100，包括至少一个支撑部10和至少一个水平限位部20，至少一个支撑部10围成圆环形，水平限位部20与支撑部10连接，至少一个水平限位部20围成圆环形，其中，支撑部10的外径大于或小于水平限位部20的内径。

具体地，如图1和图2所示，本实用新型实施例中的治具100，包括至少一个支撑部10，支撑部10用于支撑。支撑部10可以为一个或两个以上。例如，可以为一个、两个、三个、五个等。至少一个支撑部10围成圆环形，便于对圆形待支撑物进行支撑。例如，可以用于支撑圆形晶圆。当支撑部10为一个时，支撑部10可以为圆环形；当支撑部10为两个以上时，支撑部10可以为弧形、四方体，圆柱体等。

水平限位部20与支撑部10连接，水平限位部20用于在水平方向上对待支撑物进行限位。至少一个水平限位部20围成圆环形，便于对圆形待支撑物在周向上进行水平限位。水平限位部20可以为一个或两个以上。例如，可以为一个、两个、三个、五个等。当水平限位部20为一个时，水平限位部20可以为圆环形；当水平限位部20为两个以上时，水平限位部20可以为弧形、四方体，圆柱体等。

支撑部10的外径大于或小于水平限位部20的内径，这样，水平限位部20可以对直径大于或小于支撑部10外径的圆形待支撑物进行限位，即直径大于或小于的圆片环能够与现有的装片机的圆片底盘进行装配，同时，支撑部10对待支撑物进行支撑，有利于新型晶圆的封装，且降低了生产成本。

由此，如图1和图2所示，根据本实用新型的治具100，通过设置支撑部10，对非通用尺寸的圆片环进行支撑，通过水平限位部20对非通用尺寸的圆片环进行水平限位，从而使得非通用尺寸的圆片环能够与现有的装片机的圆片底盘相适配，有利于新型晶圆的封装，且降低了生产成本。

在本实用新型的一些实施例中，如图1所示，水平限位部20包括至少三个第一限位部21，水平限位部20的圆心位于至少三个第一限位部21依次连接成的多边形内。通过设置至少三个第一限位部21，且水平限位部20的圆心位于至少三个第一限位部21依次连接成的多边形内，这样，至少三个水平限位部20可以在周向对圆片环进行限位，提高了圆片环在治具100上的稳定性。

具体地，水平限位部20可以为三个或四个以上。例如，可以为三个、四个、七个等。至少三个第一限位部21可以沿圆环形均匀分布，也可以间隔分布。例如，其中一个第一限位部21位于水平限位部20的一条直径上，其余第一限位部21分别位于该直径的两侧，位于直径两侧的第一限位部21的数量可以相同，也可以不同。例如，可以在直径两侧都设置一个、两个、四个等第一限位部21；也可以在直径的两侧分别设置一个和两个、三个和五个等第一限位部21。

第一限位部21可以与支撑部10固定连接，例如，第一限位部21可以与支撑部10焊接等；第一限位部21也可以与支撑部10可拆卸连接，例如，第一限位部21可以与支撑部10可以螺栓连接、卡扣连接等。具体地，第一限位部21可以为螺栓，与设置在支撑部10上的螺纹孔连接。

可以理解的是，第一限位部21与圆环片相接触的可以为直线或弧面。在本申请方案中，第一限位部21与圆环片相接触的为直线。

在本实用新型的一些实施例中，如图1所示，水平限位部20包括至少一个第二限位部22，第二限位部22具有弧形限位面22a。通过设置具有弧形限位面22a的第二限位部22，增大了水平限位部20与圆片环的接触面积，在提高对圆片环稳定限位的基础上，减小对圆片环的压强，对圆片环具有一定的保护左右。

具体地，第二限位部22可以为一个、两个、三个等。在本申请方案中，第二限位部22设有两个，两个第二限位部22沿支撑部10的周向间隔设置。当然，可以理解的是，当第二限位部22为两个以上时，也可以沿支撑部10的周向均匀分布。

在本实用新型的一些实施例中，如图2和图3所示，水平限位部20包括至少一个弹性限位部23，弹性限位部23沿水平方向可伸缩。通过设置至少一个沿水平方向可伸缩的弹性限位部23，便于将圆片环卡接于水平限位部20内，提高了圆片环与治具100装配的稳定性。

具体地，水平限位部20可以为一个弹性限位部23，弹性限位部23为环形，例如，可以为环形的弹性件234，可以在周向上对圆片环进行限位。水平限位部20还可以包括两个以上弹性限位部23，两个以上弹性限位部23可以沿圆片环的周向间隔分布，优选的，可以均匀分布。

水平限位部20还可以包括一个弹性限位部23以及多个第一限位部21，且水平限位部20的圆形位于弹性限位部23与第一限位部21依次连接成的多边形内，以对圆片环在周向上进行限位。当然，可以理解的是，水平限位部20还可以包括两个以上弹性限位部23和一个第一限位部21，或者两个以上弹性限位部23和两个以上第一限位部21，且水平限位部20的圆形位于弹性限位部23与第一限位部21依次连接成的多边形内。

在本实用新型的一些实施例中，如图1和图3所示，治具100还包括底座30，底座30与支撑部10连接，底座30设有沿水平方向的通孔，弹性限位部23包括限位本体231，第三限位部232和第四限位部233，以及弹性件234，限位本体231穿设于通孔，且与通孔可活动连接，第三限位部232和第四限位部233分别连接在限位本体231的靠近和远离水平限位部20的圆心的一端，弹性件234抵压于底座30和第三限位部232之间。

如图1所示，底座30用于支撑弹性限位部23。当然，弹性限位部23也可以与支撑部10连接，例如，支撑部10包括沿竖直方向的侧壁，弹性限位部23可以与侧壁连接。

底座30上设置沿水平方向的通孔，限位本体231穿设于通孔，且与通孔可活动连接，这样，限位本体231可以沿水平方向移动。

如图1和图3所示，第三限位部232和第四限位部233分别连接在限位本体231的两端，使得限位本体231在通孔内移动时，不易由通孔内脱出。

如图1和图3所示，弹性件234抵压于底座30和第三限位部232之间，这样，可以将第三限位部232抵压于圆环片的周向边缘，提高了圆片环在周向上的稳定性。

如图1和图3所示，可以理解的是，弹性件234可以弹簧，弹簧两端可以分别连接底座30和第三限位部232；弹簧也可以套接在限位本体231外侧，且位于底座30与第三限位部232之间，弹簧还可以套接在限位本体231外侧，且位于支撑部10的支撑侧壁12与第三限位部232之间。

在本实用新型的一些实施例中，如图1所示，治具100还包括至少一个竖直限位部40，竖直限位部40与支撑部10连接。通过设置与支撑部10连接的至少一个竖直限位部40，可以对圆片环在竖直方向上进行限位，使得圆片环不易由竖直方向脱出，提高了治具100对圆片环限位的稳定性。

具体地，竖直限位部40可以为一个或两个以上。竖直限位部40可以为环形片状或任意形状的片状。当竖直限位部40为两个以上时，两个以上竖直限位部40可以沿圆片环的周向间隔分布，优选地，可以均为分布。

在本实用新型的一些实施例中，如图1所示，竖直限位部40包括固定限位部41，固定限位部41连接于水平限位部20的上表面，且延伸出水平限位部20的上表面边缘。通过在水平限位部20的上表面设置固定限位部41，便于生产设置。

具体地，水平限位部20可以与固定限位部41一体成型。例如，可以是螺栓等通用部件，便于获取，成本较低。当然，也可以为T型结构等。

当然，本申请不限于此；在其他实施例中，水平限位部20与固定限位部41也可以可拆卸连接。例如，螺纹连接，卡口连接等。

固定限位部41可以为片状，形状不作限制，只要能够在竖直方向上对圆片环进行限位即可。例如，固定限位部41可以为圆片、半圆片、不规则圆片等。

在本实用新型的一些实施例中，如图1和图2所示，竖直限位部40还包括活动限位部42，活动限位部42与支撑部10活动连接，活动限位部42具有限位位置和用松开位置。通过设置活动限位部42，便于取放圆片环，便于对圆片环进行竖向限位。

具体地，活动限位部42可以与支撑部10沿水平方向转动连接。例如，活动限位部42可以与第二水平限位部20沿水平方向转动连接，活动限位部42的转动角度可以为任意角度，例如，可以为30°、45°、90°、120°、270°等，优选的，活动限位部42的转动角度可以为30°、90°。

在一些实施例中，活动限位部42还可以与支撑部10沿竖直方向滑动连接。例如，可以在支撑部10上设置立柱，立柱上设置有沿竖直方向的滑槽，活动限位部42上设置凸起，凸起与滑槽配合，以使活动限位部42可以相对于立柱滑动。

在本实用新型的一些实施例中，如图1和图2所示，支撑部10为一个，支撑部10包括圆环形的支撑本体11和圆环形的支撑侧壁12，支撑侧壁12连接在支撑本体11的径向外边缘，支撑侧壁12上设有至少一个连接孔141。通过在支撑壁上设置连接孔141，便于将治具100与装片机进行连接。

具体地，连接孔141可以为螺纹孔，治具100与装片机进行连接时，先将治具100放入装片机的底盘部分，然后将螺栓穿设于螺纹孔，一端抵接在装配机底盘上，从而将治具100限定在装片机的底盘上。

需要说明的是，装片机的底盘上设有圆形通孔，治具100与装片机进行装配时，先将支撑部10置于通孔内，将螺栓穿过螺纹孔，并抵接在圆形通孔的内壁上。

连接孔141可以设置一个或两个以上。当连接孔141位两个以上时，可以沿支撑部10的周向间隔设置。

在一些实施例中，支撑本体11与支撑侧壁12之间连接有连接块14，连接孔141设置于连接块14上.连接孔141也可以设置在第二限位部22上。

支撑本体11可以连接在支撑壁沿竖直方向的上端，中部或下端。在本申请方案中，支撑本体11连接在支撑壁的下端。

支撑壁与支撑本体11可以成一定夹角连接，例如，支撑壁可以与支撑本体11成30°、45°、60°、90°、120°等。在本申请方案中，支撑壁与支撑本体11成90°设置。

在本实用新型的一些实施例中，如图1和图2所示，支撑侧壁12远离支撑本体11的一面设有至少一个边沿13，边沿13水平方向设置，边沿13的下表面与支撑侧壁12远离支撑本体11的一侧呈L型。通过设置边沿13，便于在治具100与装片机进行装配时，将治具100搭接在装片机的底盘的通孔的一侧端面上，方便连接。将边沿13的下表面与支撑侧壁12远离支撑本体11的一侧设置L型，提高了治具100与装片机进行装配的稳定性。

可以理解的是，边沿13可以为一个或两个以上。边沿13可以设为弧形或任意形状。

根据本实用新型第二方面实施例的治具100，包括底盘和上述实施例中的治具100，底盘具有沿竖直方向的通孔，治具100的至少部分安装于通孔内。

具体地，支撑本体11和支撑侧壁12位于通孔内，边沿13位于通孔的一侧端面，便于将治具100与底盘进行装配。

在一些实施例中，也可以为支撑侧壁12的一部分位于通孔内，支撑侧壁12的另一部分以及支撑本体11位于通孔外，边沿13位于通孔的一侧端面。

根据本实用新型实施例的装片机，通过采用上述实施例中的治具100，能够与非通用尺寸的圆片环进行适配，有利于新型晶圆的封装，且降低了生产成本。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (11)

1.一种治具，其特征在于，包括：

至少一个支撑部(10)，所述至少一个支撑部(10)围成圆环形；

至少一个水平限位部(20)，所述水平限位部(20)与所述支撑部(10)连接，所述至少一个水平限位部(20)围成圆环形；

其中，所述支撑部(10)的外径大于或小于所述水平限位部(20)的内径。

2.根据权利要求1所述的治具，其特征在于，所述水平限位部(20)包括至少三个第一限位部(21)，所述水平限位部(20)的圆心位于所述至少三个第一限位部(21)依次连接成的多边形内。

3.根据权利要求2所述的治具，其特征在于，所述水平限位部(20)包括至少一个第二限位部(22)，所述第二限位部(22)具有弧形限位面(22a)。

4.根据权利要求1所述的治具，其特征在于，所述水平限位部(20)包括至少一个弹性限位部(23)，所述弹性限位部(23)沿水平方向可伸缩。

5.根据权利要求4所述的治具，其特征在于，还包括底座(30)，所述底座(30)与所述支撑部(10)连接，所述底座(30)设有沿水平方向的通孔；

所述弹性限位部(23)包括限位本体(231)，第三限位部(232)和第四限位部(233)，以及弹性件(234)，所述限位本体(231)穿设于所述通孔，且与所述通孔可活动连接，所述第三限位部(232)和所述第四限位部(233)分别连接在所述限位本体(231)的靠近和远离所述水平限位部(20)的圆心的一端，所述弹性件(234)抵压于所述底座(30)和所述第三限位部(232)之间。

6.根据权利要求1所述的治具，其特征在于，还包括至少一个竖直限位部(40)，所述竖直限位部(40)与所述支撑部(10)连接。

7.根据权利要求6所述的治具，其特征在于，所述竖直限位部(40)包括固定限位部(41)，所述固定限位部(41)连接于所述水平限位部(20)的上表面，且延伸出所述水平限位部(20)的上表面边缘。

8.根据权利要求7所述的治具，其特征在于，所述竖直限位部(40)还包括活动限位部(42)，所述活动限位部(42)与所述支撑部(10)活动连接，所述活动限位部(42)具有限位位置和用松开位置。

9.根据权利要求1所述的治具，其特征在于，所述支撑部(10)为一个，所述支撑部(10)包括圆环形的支撑本体(11)和圆环形的支撑侧壁(12)，所述支撑侧壁(12)连接在所述支撑本体(11)的径向外边缘，所述支撑侧壁(12)上设有至少一个连接孔(141)。

10.根据权利要求9所述的治具，其特征在于，所述支撑侧壁(12)远离所述支撑本体(11)的一面设有至少一个边沿(13)，所述边沿(13)沿水平方向设置，所述边沿(13)的下表面与所述支撑侧壁(12)远离所述支撑本体(11)的一侧呈L型。

11.一种装片机，其特征在于，包括：

底盘，所述底盘具有沿竖直方向的通孔；

权利要求1-10中任一项所述的治具，所述治具的至少部分安装于所述通孔内。