CN220961594U - 一种半导体加工用检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及检测设备技术领域，具体为一种半导体加工用检测设备，包括工作箱，所述工作箱的顶部设置有放置台，所述放置台的顶部开设有两个互通的滑槽，且所述滑槽内转动安装有双向丝杆，所述双向丝杆的一端连接有手轮，且所述双向丝杆的正反螺纹段上分别连接有滑块，且两个所述滑块的顶部分别固定安装有支架板。本实用新型通过半导体产品放置在放置台上后，使得手轮转动带动双向丝杆转动时，滑块可带动支架板和夹板相互靠近，且靠近时夹板可经由导杆推动滑板移动，从而起到缓冲夹持的目的，并借助软性垫减少对产品的损伤，而当夹板推动导杆后完全贴合在支架板上时，使得两个夹板可对半导体产品夹持固定，保证产品限位后的稳定性。

Description

一种半导体加工用检测设备

技术领域

本实用新型涉及检测设备技术领域，具体涉及一种半导体加工用检测设备。

背景技术

在授权公告号为CN217561542U的专利中，公开了一种半导体加工用检测设备，该公开专利通过底箱、第一电机、传动杆、主动齿轮、转杆、从动齿轮、检测台、弹簧、第一限位块、安装块、电动推杆、第二限位块、侧板、箱体、第二电机、螺纹杆、螺纹套和连接块的配合使用，能够有效的解决传统半导体加工用检测设备在使用的过程中，采用的定位方式效率较为低下，无法快速的对半导体进行限位的问题，该装置能够方便对半导体进行限位，保证了半导体加工过程中的稳定性，提高了使用效果。

上述中的现有技术方案仍存在以下缺陷：因公开专利中第一限位块的一侧连接有弹簧，且弹簧因本身所具备的弹性缓冲力，使得检测台发生转动或底箱发生晃动时，弹簧作为缓冲的部件会使第一限位块存在发生晃动或偏动的问题，从而易导致被夹持的半导体出现偏移的现象，造成检测结果不够准确，且夹持方式稳定性不足，存在改进。

公开该背景技术部分的信息仅仅旨在增加对本申请的总体背景的理解,而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。

实用新型内容

本实用新型提供一种半导体加工用检测设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：

一种半导体加工用检测设备，包括工作箱，所述工作箱的顶部设置有放置台，所述放置台的顶部开设有两个互通的滑槽，且所述滑槽内转动安装有双向丝杆，所述双向丝杆的一端连接有手轮，且所述双向丝杆的正反螺纹段上分别连接有滑块，且两个所述滑块的顶部分别固定安装有支架板，所述支架板上活动贯穿有导杆，所述导杆的一端固定连接有夹板，所述导杆的另一端固定连接有滑板，且所述导杆上套设有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的两端连接在支架板和滑板上，且所述工作箱内设置有用于驱使放置台转动的驱动组件，且所述工作箱的顶部连接有支撑板，所述支撑板上设置有检测机构。

优选的，所述驱动组件包括安装在工作箱内的电机，所述电机的输出端连接有蜗杆，所述蜗杆上啮合连接有蜗轮，且所述蜗轮的中部设置有转轴，所述转轴的一端转动安装在工作箱上，所述转轴的另一端贯穿工作箱并连接在放置台的底部。

优选的，所述支架板上开设有限位槽，所述滑板的底端侧设于限位槽内。

优选的，两个所述夹板相对的一面分别设置有软性垫。

通过采用上述技术方案，本实用新型所取得的有益效果为：

本实用新型中，通过半导体产品放置在放置台上后，使得手轮转动带动双向丝杆转动时，滑块可带动支架板和夹板相互靠近，且靠近时夹板可经由导杆推动滑板移动，从而起到缓冲夹持的目的，并借助软性垫减少对产品的损伤，而当夹板推动导杆后完全贴合在支架板上时，使得两个夹板可对半导体产品夹持固定，保证产品限位后的稳定性。

本实用新型中，通过电机带动蜗杆的转动，使得蜗杆可驱使蜗轮带动转轴转动，从而转轴转动后可带动放置台进行转动，便于根据使用需求将半导体产品进行旋转，达到便于检测的目的。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的右视剖面结构示意图；

图3为本实用新型的双向丝杆结构示意图；

图4为本实用新型的导杆和限位槽结构示意图。

图中：1、工作箱；2、放置台；3、滑槽；4、双向丝杆；5、手轮；6、滑块；7、支架板；8、导杆；9、夹板；10、滑板；11、缓冲弹簧；12、支撑板；13、检测机构；14、电机；15、蜗杆；16、蜗轮；17、转轴；18、限位槽。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。

实施例

如图1-4所示，本实用新型提供了一种半导体加工用检测设备，包括工作箱1，工作箱1的顶部设置有放置台2，放置台2的顶部开设有两个互通的滑槽3，且滑槽3内转动安装有双向丝杆4，双向丝杆4的一端连接有手轮5，且双向丝杆4的正反螺纹段上分别连接有滑块6，且两个滑块6的顶部分别固定安装有支架板7，支架板7上活动贯穿有导杆8，导杆8的一端固定连接有夹板9，导杆8的另一端固定连接有滑板10，且导杆8上套设有缓冲弹簧11，缓冲弹簧11的两端连接在支架板7和滑板10上，且工作箱1内设置有用于驱使放置台2转动的驱动组件，且工作箱1的顶部连接有支撑板12，支撑板12上设置有检测机构13。

具体的，采用手轮5的设计，使得人工便于控制其转动力度，避免机器驱使对产品造成损坏的情况。

在本实施例中，驱动组件包括安装在工作箱1内的电机14，电机14的输出端连接有蜗杆15，蜗杆15上啮合连接有蜗轮16，且蜗轮16的中部设置有转轴17，转轴17的一端转动安装在工作箱1上，转轴17的另一端贯穿工作箱1并连接在放置台2的底部。

具体的，通过电机14带动蜗杆15的转动，使得蜗杆15可驱使蜗轮16带动转轴17转动，从而转轴17转动后可带动放置台2进行转动，便于根据使用需求将半导体产品进行旋转，达到便于检测的目的。

在本实施例中，支架板7上开设有限位槽18，滑板10的底端侧设于限位槽18内，两个夹板9相对的一面分别设置有软性垫。

具体的，利用限位槽18的设计，使得夹板9借助导杆8推动滑板10移动时，滑板10能够保证平稳性，从而保证夹板9的稳定性，而夹板9上软性垫的设计，使得夹板9对半导体产品进行夹持时，能够避免对产品的硬性接触，防止对产品造成损伤，利于对产品进行保护。

本实用新型的工作原理及使用流程：使用时，工作人员将半导体产品放置在放置台2上，然后手动转动手轮5，使得手轮5转动后带动双向丝杆4转动，双向丝杆4转动后可使得两个滑块6相互靠近，以此并带动支架板7和夹板9移动，而两个夹板9对半导体产品夹持时，夹板9可经由导杆8推动滑板10移动，从而起到缓冲夹持的目的，并借助软性垫减少对产品的损伤，而当夹板9推动导杆8后完全贴合在支架板7上时，使得两个夹板9可对半导体产品夹持固定，保证产品限位后的稳定性；而通过电机14带动蜗杆15的转动，使得蜗杆15可驱使蜗轮16带动转轴17转动，从而转轴17转动后可带动放置台2进行转动，便于根据使用需求将半导体产品进行旋转，达到便于检测的目的。

在本实用新型中，术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

需要说明的是，当元件被称为“装配于”、“安装于”、“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解，在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (4)

1.一种半导体加工用检测设备，包括工作箱(1)，其特征在于：所述工作箱(1)的顶部设置有放置台(2)，所述放置台(2)的顶部开设有两个互通的滑槽(3)，且所述滑槽(3)内转动安装有双向丝杆(4)，所述双向丝杆(4)的一端连接有手轮(5)，且所述双向丝杆(4)的正反螺纹段上分别连接有滑块(6)，且两个所述滑块(6)的顶部分别固定安装有支架板(7)，所述支架板(7)上活动贯穿有导杆(8)，所述导杆(8)的一端固定连接有夹板(9)，所述导杆(8)的另一端固定连接有滑板(10)，且所述导杆(8)上套设有缓冲弹簧(11)，所述缓冲弹簧(11)的两端连接在支架板(7)和滑板(10)上，且所述工作箱(1)内设置有用于驱使放置台(2)转动的驱动组件，且所述工作箱(1)的顶部连接有支撑板(12)，所述支撑板(12)上设置有检测机构(13)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用检测设备，其特征在于，所述驱动组件包括安装在工作箱(1)内的电机(14)，所述电机(14)的输出端连接有蜗杆(15)，所述蜗杆(15)上啮合连接有蜗轮(16)，且所述蜗轮(16)的中部设置有转轴(17)，所述转轴(17)的一端转动安装在工作箱(1)上，所述转轴(17)的另一端贯穿工作箱(1)并连接在放置台(2)的底部。

3.根据权利要求1所述的一种半导体加工用检测设备，其特征在于，所述支架板(7)上开设有限位槽(18)，所述滑板(10)的底端侧设于限位槽(18)内。

4.根据权利要求1所述的一种半导体加工用检测设备，其特征在于，两个所述夹板(9)相对的一面分别设置有软性垫。