CN220960045U - 形貌检测仪用衬底片定位装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种形貌检测仪用衬底片定位装置，属于衬底片技术领域。其技术方案为：包括定位块，定位块置于形貌检测仪滑轨平台上的上下料凹槽中；定位块上设置有辅助固定机构，定位块置于上下料凹槽中后，辅助固定机构将定位块固定住；定位块靠近被检测衬底片的一端为一平面且该端一侧设置有弧形挡条，被检测衬底片置于滑轨平台上的检测载台后，衬底片的直边和弧形边分别贴合定位块的平面端及弧形挡条。本实用新型的定位装置可以保证不同工作人员检测同一产品时，产品检测位置的一致性，防止同一产品由于检测位置的不同而导致检测结果不一致，影响产品检测结果。
Description
技术领域
本实用新型涉及衬底片技术领域，具体涉及一种形貌检测仪用衬底片定位装置。
背景技术
碳化硅衬底片在生产过程中，需要进行形貌检测，以判断生产的衬底片形貌参数是否符合要求。衬底片的形貌参数主要包括衬底片的总厚度变化(TTV)、弯曲度(Bow)、翘曲度(Warp)、厚度(Thickness)和局部厚度变化(LTV)。中国实用新型专利CN218002400U公开了一种用于蓝宝石衬底片的厚度测量装置，包括底座、支架和千分表，支架可转动地设置在底座上；支架包括上下平行设置的上横梁和下横梁，以及连接上横梁和下横梁的立柱；千分表的表体设置在上横梁上，千分表的探头可上下移动地设置在上横梁和下横梁之间。但该专利仅能测量衬底片的厚度，无法检测衬底片的其他形貌参数。目前常用形貌检测仪对衬底片的形貌进行检测，形貌检测仪包括机箱401，机箱401上设置有大理石平台402，大理石平台402上设置有检测底座403，检测底座403上设置有滑轨平台404，滑轨平台404上设置有检测载台4041，大理石平台402上还设置有门式力臂405，门式力臂405上设置有上传感器安装架406，上传感器安装架406位于检测载台4041上方且设置有上传感器，检测载台4041处设置有下传感器(上传感器和下传感器均采用光学共聚焦传感器)。衬底片放置在检测载台4041上后，利用上传感器和下传感器对位于中间的衬底片进行形貌检测，得出检测数据。但是在利用形貌检测仪检测衬底片形貌时，不同的工作人员将衬底片放置在检测载台4041上的位置会有差别，从而导致上传感器和下传感器对衬底片的检测位置有所不同，从而使检测结果存在差异，直接影响产品检测结果。因此需要开发一种适配于形貌检测仪的定位装置，保证不同工作人员检测衬底片形貌时检测位置的一致性。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种形貌检测仪用衬底片定位装置，可以保证不同工作人员检测同一产品时，产品检测位置的一致性，防止同一产品由于检测位置的不同而导致检测结果不一致，影响产品检测结果。
本实用新型的技术方案为：
形貌检测仪用衬底片定位装置，包括定位块，定位块置于形貌检测仪滑轨平台上的上下料凹槽中；定位块上设置有辅助固定机构，定位块置于上下料凹槽中后，辅助固定机构将定位块固定住；定位块靠近被检测衬底片的一端为一平面且该端一侧设置有弧形挡条，被检测衬底片置于滑轨平台上的检测载台后，衬底片的直边和弧形边分别贴合定位块的平面端及弧形挡条。
优选地，所述辅助固定机构包括设置在定位块与上下料凹槽接触的侧面上的磁铁。
优选地，所述定位块背离上下料凹槽的一侧面上设置有螺纹孔。
优选地，所述定位块与上下料凹槽接触的一侧设置有定位槽，该定位槽使定位块与上下料凹槽上的台阶状凸起相适配。
优选地，所述定位块和弧形挡条采用PE材质制成。
本实用新型与现有技术相比，具有以下有益效果：
使用本实用新型的定位装置后，可以保证不同工作人员检测同一产品时，产品检测位置的一致性，防止同一产品由于检测位置的不同而导致检测结果不一致，影响产品检测结果。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是形貌检测仪的结构示意图。
图2是形貌检测仪的俯视图。
图3是本实用新型的定位装置的结构示意图。
图4是本实用新型的定位装置的主视图。
图5是本实用新型的定位装置的侧视图。
图中，1、定位块；101、磁铁；102、螺纹孔；103、定位槽；2、弧形挡条；3、衬底片；401、机箱；402、大理石平台；403、检测底座；404、滑轨平台；4041、检测载台；4042、上下料凹槽；405、门式力臂；406、上传感器安装架。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型中的技术方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。
实施例1
如图1所示，现有的形貌检测仪(上海谦视智能科技有限公司SP200/TWS206)的滑轨平台404上设置有衬底片检测载台4041，衬底片3置于检测载台4041后，利用其上方和下方的传感器对衬底片3的形貌(总厚度变化、翘曲度、弯曲度、厚度和局部厚度变化)进行检测。如图1所示，在检测载台4041一侧，滑轨平台404上自带一个台阶状的上下料凹槽4042，便于衬底片3的上料和下料。因此本实施例在对被检测的衬底片3进行定位时，利用形貌检测仪自带的上下料凹槽4042结构，设计了一种形貌检测仪用衬底片定位装置，具体如图3-5所示，包括PE材质的定位块1，定位块1与上下料凹槽4042接触的一侧设置有定位槽103，该定位槽103使定位块1与上下料凹槽4042上的台阶状凸起相适配，从而将定位块1快速精准地放置在上下料凹槽4042中，以便于对衬底片3进行精准定位，提高定位效率。
为了防止定位块1放置在上下料凹槽4042中后会发生位置的移动，可在定位块1上设置辅助固定机构，如图3-5所示，该辅助固定机构可采用设置在定位块1与上下料凹槽4042接触的侧面上的汝铁硼磁铁101。当定位块1置于上下料凹槽4042中后，磁铁101吸附在上下料凹槽4042上，从而将定位块1吸附固定住，保证定位衬底片3时定位块1不会发生位置的移动，提高定位操作的稳定性。同时，如图2-5所示，定位块1靠近被检测衬底片3的一端为一平面且该端一侧还设置有PE材质的弧形挡条2，被检测衬底片3置于滑轨平台404上的检测载台4041后，定位块1的平面端与衬底片3的直边贴合，而弧形挡条2则与衬底片3的弧形边贴合，从而将衬底片3定位在滑轨平台404上的固定位置，保证多次形貌检测时检测位置的一致性。
使用时，先将定位块1放在上下料凹槽4042中，并通过磁铁101吸附固定住，实现装置的定位；随后再将衬底片3放在滑轨平台404上的检测载台4041上，使衬底片3的直边和弧形边分别贴合定位块1上的平面端及弧形挡条2，从而实现衬底片3的定位。使用此装置后，可以保证不同工作人员检测同一产品时，产品检测位置的一致性，防止同一产品由于检测位置的不同而导致检测结果不一致，影响产品检测结果。
实施例2
使用实施例1的装置将衬底片3定位在检测载台4041的固定位置后，当需要移走定位块1时，若工作人员直接用手将其移走，很可能与上传感器安装架406干涉，或直接用手触碰弧形挡条2，导致其变形。因此本实施例在实施例1的基础上，如图3-5所示，在定位块1背离上下料凹槽4042的一侧面上设置螺纹孔102，当需要移走装置时，只需将螺栓拧入螺纹孔102中，使螺栓固定在装置上，随后手持螺栓将装置竖直方向移动取下，能够减少与上传感器安装架406的干涉以及造成弧形挡条2变形的风险。
尽管通过参考附图并结合优选实施例的方式对本实用新型进行了详细描述，但本实用新型并不限于此。在不脱离本实用新型的精神和实质的前提下，本领域普通技术人员可以对本实用新型的实施例进行各种等效的修改或替换，而这些修改或替换都应在本实用新型的涵盖范围内/任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。
Claims (5)
1.形貌检测仪用衬底片定位装置，其特征在于，包括定位块(1)，定位块(1)置于形貌检测仪滑轨平台(404)上的上下料凹槽(4042)中；定位块(1)上设置有辅助固定机构，定位块(1)置于上下料凹槽(4042)中后，辅助固定机构将定位块(1)固定住；定位块(1)靠近被检测衬底片(3)的一端为一平面且该端一侧设置有弧形挡条(2)，被检测衬底片(3)置于滑轨平台(404)上的检测载台(4041)后，衬底片(3)的直边和弧形边分别贴合定位块(1)的平面端及弧形挡条(2)。
2.如权利要求1所述的形貌检测仪用衬底片定位装置，其特征在于，所述辅助固定机构包括设置在定位块(1)与上下料凹槽(4042)接触的侧面上的磁铁(101)。
3.如权利要求1所述的形貌检测仪用衬底片定位装置，其特征在于，所述定位块(1)背离上下料凹槽(4042)的一侧面上设置有螺纹孔(102)。
4.如权利要求1所述的形貌检测仪用衬底片定位装置，其特征在于，所述定位块(1)与上下料凹槽(4042)接触的一侧设置有定位槽(103)，该定位槽(103)使定位块(1)与上下料凹槽(4042)上的台阶状凸起相适配。
5.如权利要求1所述的形貌检测仪用衬底片定位装置，其特征在于，所述定位块(1)和弧形挡条(2)采用PE材质制成。
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