CN220942278U - 一种还原炉钟罩清洗装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及生产设备技术领域，特别涉及一种还原炉钟罩清洗装置。一种还原炉钟罩清洗装置，包括：竖向伸缩杆、设置于所述竖向伸缩杆上的旋转组件，所述旋转组件包括旋转轴，清扫刷支撑臂的一端与所述旋转轴底端铰接，斜支撑杆的一端与所述旋转轴上端铰接，斜支撑杆的另一端与清扫刷支撑臂中部滑动连接；清扫刷上侧设置有碱液喷管，清扫刷清洗钟罩时喷涂碱溶液。所述旋转组件包括设置于伸缩杆上端的旋转电机和设置于所述旋转电机输出端的旋转轴。所述旋转轴下侧设置有承接盘，所述承接盘为圆锥桶状结构。所述承接盘底部设置有废物回收管，废物回收管另一端连接回收箱。本实用新型提供一种清洁效率高，清洁过程用水少的还原炉钟罩清洁装置。
Description
技术领域
本实用新型涉及生产设备技术领域，特别涉及一种还原炉钟罩清洗装置。
背景技术
多晶硅生产主要采用改良西门子法工艺，其原理就是在还原炉中采用高压击穿方式使硅芯成为导体，提升电流使硅芯温度快速上升，于1050℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三氯氢硅，生成多晶硅沉积在硅芯上，生成多晶硅棒。
还原炉是多晶硅生产的主要设备。其中，为保证多晶硅产品的品质，对还原炉钟罩内表面的洁净要求十分苛刻。还原炉钟罩污染物易造成内表面热量反向减少，使生产能耗增加，且用于电子行业的多晶硅对产品质量纯度的控制要求更高，因此，还原炉沉积环境的洁净度尤为重要。
目前，对于钟罩内表面的清洗，使用的大多为自动高压清洗装置，用高压水流和弱碱液对钟罩内表面进行冲洗，再用高纯水流冲洗一次，最后进行烘干。然而，现如今的高压清洗装置只能清洗钟罩内表面粘附的易冲洗的污垢，对于粘附较牢固的污垢则较难清除，还会损伤表面镀银的还原炉钟罩，且清洗过程中需要消耗大量的水进行冲洗，冲洗后产生的污水，排至污水处理站进行处理，整个过程消耗了较大的人力和物力，现场脏污很难清理。
实用新型内容
本实用新型提供一种清洁效率高，清洁过程用水少的还原炉钟罩清洁装置。为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种还原炉钟罩清洗装置，包括：竖向伸缩杆、设置于所述竖向伸缩杆上的旋转组件，所述旋转组件包括旋转轴，清扫刷支撑臂的一端与所述旋转轴底端铰接，斜支撑杆的一端与所述旋转轴上端铰接，斜支撑杆的另一端与清扫刷支撑臂中部滑动连接；清扫刷上侧设置有碱液喷管，清扫刷清洗钟罩时喷涂碱溶液。
进一步的，所述旋转组件包括设置于伸缩杆上端的旋转电机和设置于所述旋转电机输出端的旋转轴。
进一步的，所述旋转轴下侧设置有承接盘，所述承接盘为圆锥桶状结构。
进一步的，所述承接盘底部设置有废物回收管，废物回收管另一端连接回收箱。
进一步的，所述废物回收管沿竖向伸缩杆固定。
进一步的，所述清扫刷支撑臂与清扫刷可转动连接。
进一步的，所述清扫刷支撑臂、清扫刷及斜支撑杆均为两组，且关于旋转轴对称设置。
进一步的，所述竖向伸缩杆底端设置有升降装置。
进一步的，所述升降装置为气缸或者齿轮齿条传动装置。
在还原炉停炉后，拆除还原炉钟罩，首先用清洗装置对钟罩内部整体进行清扫吸尘，可清洁钟罩内大部分的粉尘、颗粒以及较顽固的附着颗粒等，然后继续用清洗装置对钟罩内部整体进行清扫，同时清洗装置喷出加热的碱液(5％-10％氢氧化钠溶液)，竖向伸缩杆带动清扫刷上下动作，清扫刷转动进行清洗，废液通过废物回收管流入回收箱；最后用高纯水(脱盐水)(漂、冲)洗，完成清洗过程，对废水和废液进行沉淀处理后，排入废水处理工序进行处理。
清洗工艺完成后，采用经过三级净化的纯净空气(万级)，加热后(80°C)烘干加热炉筒，再使用洁净常温气体进行降温至筒内常温，达到工艺要求的干燥度，最后进行还原钟罩安装。
本实用新型采用的技术方案具有如下有益效果：
装置结构设计高效合理，缩短了还原炉钟罩清洗时间，同时节省了脱盐水、弱碱液以及高纯水的使用量。清洁效率高，清洗用溶液使用量少，清洗用脱盐水、弱碱液以及高纯水在使用过程中需要进行加热，由于使用量减少，则所需能耗也相应降低，同时相应废水废液处理量也减少。清洗过程中，对周围环境的污染少，使得生产现场更干净，给作业人员提供一个更好的工作环境。
附图说明
图1为本实用新型的一种具体实施例结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图，对本实用新型的技术方案做进一步解释说明。
一种还原炉钟罩清洗装置，包括：竖向伸缩杆11、设置于所述竖向伸缩杆11上的旋转组件，所述旋转组件包括旋转轴9，清扫刷支撑臂5的一端与所述旋转轴9底端铰接，斜支撑杆6的一端与所述旋转轴9上端铰接，斜支撑杆6的另一端与清扫刷支撑臂5中部滑动连接；清扫刷4上侧设置有碱液喷管8，清扫刷4清洗钟罩1时喷涂碱溶液。
所述旋转组件包括设置于竖向伸缩杆11上端的旋转电机和设置于所述旋转电机输出端的旋转轴9。
所述旋转轴9下侧设置有承接盘3，所述承接盘3为圆锥桶状结构。
所述承接盘3底部设置有废物回收管10，废物回收管10另一端连接回收箱13。
所述废物回收管10沿竖向伸缩杆11固定。所述竖向伸缩杆11为中空结构，其内部可以作为废液回收管道。
所述清扫刷支撑臂5与清扫刷4可转动连接。
所述清扫刷支撑臂5、清扫刷4及斜支撑杆6均为两组，且关于旋转轴9对称设置。
所述竖向伸缩杆11底端设置有齿轮齿条传动升降装置12。
本实用新型采用的技术方案对还原炉钟罩清洗时按照如下步骤清洗。首先对钟罩内的粉尘以及附着的牢固污垢通过清扫刷在机械清扫的作用下和钟罩脱离，然后对钟罩内少量粉尘及污垢再次进行清洗和冲洗。再用弱碱液(5％-10％氢氧化钠)加热60℃以上清洗。然后通过设置于承接盘底部的废物回收管10排出废液。再通入用脱盐、高纯(热)水漂洗。此处最大工作压力：20MPa；最大流量大于：106L/min。然后用热风洁净空气热风烘干。此步骤空气净化万级；流量＞5000Nm3/h；蒸汽工作压力：0.2±0.02MPa；加热空气温度控制，常温至约80℃。最后用热风洁净空气常温烘干，空气净化万级；流量＞5000Nm3/h。
Claims (9)
1.一种还原炉钟罩清洗装置，其特征在于：包括：竖向伸缩杆、设置于所述竖向伸缩杆上的旋转组件，所述旋转组件包括旋转轴，清扫刷支撑臂的一端与所述旋转轴底端铰接，斜支撑杆的一端与所述旋转轴上端铰接，斜支撑杆的另一端与清扫刷支撑臂中部滑动连接；清扫刷上侧设置有碱液喷管，清扫刷清洗钟罩时喷涂碱溶液。
2.如权利要求1所述的一种还原炉钟罩清洗装置，其特征在于：所述旋转组件包括设置于伸缩杆上端的旋转电机和设置于所述旋转电机输出端的旋转轴。
3.如权利要求1所述的一种还原炉钟罩清洗装置，其特征在于：所述旋转轴下侧设置有承接盘，所述承接盘为圆锥桶状结构。
4.如权利要求3所述的一种还原炉钟罩清洗装置，其特征在于：所述承接盘底部设置有废物回收管，废物回收管另一端连接回收箱。
5.如权利要求4所述的一种还原炉钟罩清洗装置，其特征在于：所述废物回收管沿竖向伸缩杆固定。
6.如权利要求1所述的一种还原炉钟罩清洗装置，其特征在于：所述清扫刷支撑臂与清扫刷可转动连接。
7.如权利要求1所述的一种还原炉钟罩清洗装置，其特征在于：所述清扫刷支撑臂、清扫刷及斜支撑杆均为两组，且关于旋转轴对称设置。
8.如权利要求1所述的一种还原炉钟罩清洗装置，其特征在于：所述竖向伸缩杆底端设置有升降装置。
9.如权利要求8所述的一种还原炉钟罩清洗装置，其特征在于：所述升降装置为气缸或者齿轮齿条传动装置。
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