CN220920333U - 一种石英舟自动清洗机 - Google Patents
一种石英舟自动清洗机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN220920333U CN220920333U CN202322665958.XU CN202322665958U CN220920333U CN 220920333 U CN220920333 U CN 220920333U CN 202322665958 U CN202322665958 U CN 202322665958U CN 220920333 U CN220920333 U CN 220920333U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- quartz boat
- fixedly connected
- water tank
- frame
- water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 67
- 239000010453 quartz Substances 0.000 title claims abstract description 65
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 37
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 101
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 16
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 7
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 6
- 230000007306 turnover Effects 0.000 abstract 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 241000220317 Rosa Species 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 230000008094 contradictory effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
本申请公开了一种石英舟自动清洗机，涉及石英舟清洗装置技术领域。本申请包括：水槽，其上端构造为开口；推移转动组件，包括贯穿安装在水槽一端的支撑座，所述支撑座位于水槽内的一端转动安装有转环，所述转环内水平滑动安装有用于插接石英舟的移动框，所述移动框一端与水槽内壁之间设置有转动承接件，所述支撑座上固定连接有与移动框另一端可拆卸连接的电动推杆。本申请通过推移转动组件可以将石英舟插设在移动框内，并随移动框被推入到水槽中进行翻转清洗，无需人为翻转推移，节省大量人力提高清洗效率，并且利用喷淋组件可以均匀的对移动框内的石英舟进行冲洗，再利用石英舟不断的翻转，减少清洗死角的产生，增加清洗效果。
Description
技术领域
本申请涉及石英舟清洗装置技术领域，具体涉及一种石英舟自动清洗机。
背景技术
石英舟，又称石英玻璃，石英舟主要用于电光源领域和半导体领域等。一般作为硅片的承接框使用，在对石英舟使用后需要对其进行清洗，保障其表面的洁净度，避免灰尘与杂物沾染到后续的硅片上，因石英舟体积较大，重量较重，现有的清洗多采用人工清洗的方式进行，但是人工清洗很难将石英舟在清洗过程中进行翻转，因此很容易出现没有清洗的死角，降低清洗效果，并且人为清洗不仅耗费大量人力，而且清洗效率较低，因此本实用新型提出一种石英舟自动清洗机。
实用新型内容
本申请的目的在于：为解决上述背景技术中的问题，本申请提供了一种石英舟自动清洗机。
本申请为了实现上述目的具体采用以下技术方案：
一种石英舟自动清洗机，包括：
水槽，其上端构造为开口；
推移转动组件，包括贯穿安装在水槽一端的支撑座，所述支撑座位于水槽内的一端转动安装有转环，所述转环内水平滑动安装有用于插接石英舟的移动框，所述移动框一端与水槽内壁之间设置有转动承接件，所述支撑座上固定连接有与移动框另一端可拆卸连接的电动推杆；
抽水过滤组件，包括固定连接在水槽内底部的抽水框，所述水槽外侧设置有与抽水框相连通的过滤箱；
喷淋组件，固定连接在水槽顶部且与过滤箱相连通。
进一步地，所述支撑座的上表面沿其长度方向构造有用于石英舟滑动的导向槽。
进一步地，所述支撑座上表面的一端构造有弧形槽，所述弧形槽内固定连接有环板，所述转环包括转动安装在环板内的环块，所述环块外周侧固定套设有活动安装在弧形槽内的齿环，所述环块中部构造有用于插设石英舟的限位通孔。
进一步地，所述移动框包括滑动安装在支撑座上的n型挡板，所述n型挡板一侧固定连接有多个滑动贯穿环块的连杆，所述连杆的另一端固定连接有抵触板，所述抵触板上构造有用于与石英舟相插合的定位插块，所述n型挡板的另一侧转动安装有T型杆，所述电动推杆的输出端固定连接有可拆卸套设在T型杆上的卡板。
进一步地，所述转动承接件包括固定连接在定位插块端部的多边形柱块，所述水槽侧壁上转动安装有与多边形柱块相套接的转动套。
进一步地，所述抽水框包括固定连接在水槽内底部的圆框，所述圆框顶部构造有开口且其内部转动安装有涡轮，所述圆框底部一侧固定连接有与过滤箱相连通的通水管。
进一步地，还包括驱动件，所述驱动件包括固定连接在支撑座内的驱动电机，所述驱动电机的输出轴上固定连接有转轴，所述转轴上固定套设有与齿环相啮合的驱动齿轮，所述转轴端部转动贯穿圆框且与涡轮固定连接。
进一步地，所述喷淋组件包括固定连接在水槽顶部的框架，所述框架内顶部固定连接有两个垂直相通的出水管，所述出水管底部沿其长度方向阵列安装有多个高压喷头，所述出水管一端通过软管连通有高压水泵，所述高压水泵的另一端与过滤箱相连通。
本申请的有益效果如下：本申请通过在水槽一端设置推移转动组件，利用支撑座上的电动推杆可以将石英舟插设在移动框内，并随移动框被推入到水槽中进行翻转清洗，无需人为翻转推移，节省大量人力提高清洗效率，并且利用喷淋组件可以均匀的对移动框内的石英舟进行冲洗，再利用石英舟不断的翻转，减少清洗死角的产生，增加清洗效果。
附图说明
图1是本申请立体结构图；
图2是本申请立体结构半剖图；
图3是本申请局部立体结构图；
图4是本申请移动框立体结构图；
附图标记：1、水槽；2、推移转动组件；201、支撑座；2011、导向槽；2012、弧形槽；2013、环板；202、转环；2021、环块；2022、齿环；2023、限位通孔；203、移动框；2031、n型挡板；2032、连杆；2033、抵触板；2034、定位插块；2035、T型杆；204、转动承接件；2041、多边形柱块；2042、转动套；205、电动推杆；2051、卡板；3、抽水过滤组件；301、抽水框；3011、圆框；3012、涡轮；3013、通水管；302、过滤箱；4、喷淋组件；401、框架；402、出水管；403、高压喷头；404、软管；405、高压水泵；5、驱动件；501、驱动电机；502、转轴；503、驱动齿轮。
具体实施方式
为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
如图1-图3所示，本申请一个实施例提出的一种石英舟自动清洗机，包括：
水槽1，其上端构造为开口；
推移转动组件2，包括贯穿安装在水槽1一端的支撑座201，支撑座201位于水槽1内的一端转动安装有转环202，转环202内水平滑动安装有用于插接石英舟的移动框203，移动框203一端与水槽1内壁之间设置有转动承接件204，支撑座201上固定连接有与移动框203另一端可拆卸连接的电动推杆205，移动框203水平滑动贯穿转环202，可以随转环202同步进行转动，石英舟插设在移动框203内，因此石英舟可以随转环202的转动同步转动，电动推杆205主要用于推动移动框203进行移动；
抽水过滤组件3，包括固定连接在水槽1内底部的抽水框301，水槽1外侧设置有与抽水框301相连通的过滤箱302，抽水框301可以将水槽1内的水抽出并流入到过滤箱302内进行过滤，过滤箱302顶部为开口且内部滑动插设有多层过滤网，过滤网采用现有的过滤技术，如砂石过滤网，活性炭过滤网等，用于过滤水中的杂质以及灰尘等；
喷淋组件4，固定连接在水槽1顶部且与过滤箱302相连通，喷淋组件4用于将过滤箱302内过滤的清水重新利用，并对石英舟进行清洗，节约资源；
需要说明的是本装置的支撑座201端部可以与外部的传送带进行对接，传送带用于将石英舟运输到支撑座201上，在初始状态下电动推杆205的输出端与移动框203的一端相连接，而移动框203此时位于支撑座201的正上方，可以通过传送带将石英舟朝向移动框203内部进行输送，直至完全进入到移动框203内，此时可以利用电动推杆205将移动框203朝向水槽1内部，当移动框203的另一端通过转动承接件204与水槽1的内壁进行连接后，此时石英舟完全处于水槽1内部，然后利用抽水框301、过滤箱302以及喷淋组件4的配合，将水槽1内的水抽出过滤并喷淋到石英舟上，以此来实现对石英舟的清洗操作，全程无需人为推移，节省大量人力，提高工作效率，并且在喷淋清洗时还可以利用转环202的转动带动石英舟同步转动，从而使石英舟能够更全面的进行清洗，减少清洗死角，提高清洗效果。
如图1所示，在一些实施例中，支撑座201的上表面沿其长度方向构造有用于石英舟滑动的导向槽2011，导向槽2011用于滑动承接石英舟，保障石英舟能够精准的进入到移动框203以及转环202当中。
如图1-图3所示，在一些实施例中，支撑座201上表面的一端构造有弧形槽2012，弧形槽2012内固定连接有环板2013，转环202包括转动安装在环板2013内的环块2021，环块2021外周侧固定套设有活动安装在弧形槽2012内的齿环2022，环块2021中部构造有用于插设石英舟的限位通孔2023，环板2013用于对环块2021进行包裹，避免其转动时发生晃动，保障装置的安全性，需要说明的是石英舟通常结构包括两个连接板，两个连接板的中部构造有穿槽，两个连接板之间连接有四个用于承接硅片的承接杆，环块2021内的限位通孔2023用于与石英舟端部的连接板相套接，可以对石英舟进行承接并带动其同步转动。
如图2-图4所示，在一些实施例中，移动框203包括滑动安装在支撑座201上的n型挡板2031，n型挡板2031一侧固定连接有多个滑动贯穿环块2021的连杆2032，连杆2032的另一端固定连接有抵触板2033，抵触板2033上构造有用于与石英舟相插合的定位插块2034，n型挡板2031的另一侧转动安装有T型杆2035，电动推杆205的输出端固定连接有可拆卸套设在T型杆2035上的卡板2051，在传送带将石英舟朝向支撑座201上进行输送时，石英舟一端的连接板会首先贯穿n型挡板2031，并逐步朝向抵触板2033进行移动，直至贯穿环块2021与抵触板2033上的定位插块2034进行插接，此时石英舟另一端的连接板会位于n型挡板2031的内侧，然后再利用T型杆2035与卡板2051进行套接卡合，卡板2051上构造有与T型板端部形状相同的通槽，在T型杆2035穿过通槽后进行转动即可与卡板2051进行限位配合，卡板2051上还滑动设置有伸缩块，利用伸缩块可以将卡板2051进行延伸，使其能够包裹在石英舟的端面上，此时通过电动推杆205可以带动n型挡板2031以及石英舟同步朝向环块2021方向进行移动，直至使石英舟完全进入到水槽1内，方便后续的清洗，全程无需人为推移，节省大量人力，提高装置的便捷性。
如图2所示，在一些实施例中，转动承接件204包括固定连接在定位插块2034端部的多边形柱块2041，水槽1侧壁上转动安装有与多边形柱块2041相套接的转动套2042，利用多边形柱块2041与转动套2042的插接配合，可以在移动框203移动到水槽1内时对移动框203端部进行转动承接，避免移动框203一端受力过大而产生弯折断裂，增加装置的安全性。
如图2-图3所示，在一些实施例中，抽水框301包括固定连接在水槽1内底部的圆框3011，圆框3011顶部构造有开口且其内部转动安装有涡轮3012，圆框3011底部一侧固定连接有与过滤箱302相连通的通水管3013，利用涡轮3012的转动可以带动圆框3011内的水逐步被压入到通水管3013内，以此来实现对水槽1内水的抽取操作。
如图2所示，在一些实施例中，还包括驱动件5，驱动件5包括固定连接在支撑座201内的驱动电机501，驱动电机501的输出轴上固定连接有转轴502，转轴502上固定套设有与齿环2022相啮合的驱动齿轮503，转轴502端部转动贯穿圆框3011且与涡轮3012固定连接，利用一个驱动电机501同时带动驱动齿轮503以及涡轮3012进行转动，驱动齿轮503在转动时可以与齿环2022啮合，从而带动环块2021与石英舟进行转动，以便于喷淋组件4更全面的对石英舟进行冲洗，增加清洗效果，同时带动涡轮3012进行转动，可以对圆框3011内的水进行压送，使其内部的水通过通水管3013进入到过滤箱302内，以便于水循环的进行，这样不仅节省了水资源，而且无需额外的设置额外的驱动源，可以降低设备成本。
如图2-图3所示，在一些实施例中，喷淋组件4包括固定连接在水槽1顶部的框架401，框架401内顶部固定连接有两个垂直相通的出水管402，出水管402底部沿其长度方向阵列安装有多个高压喷头403，出水管402一端通过软管404连通有高压水泵405，高压水泵405的另一端与过滤箱302相连通，利用高压水泵405将过滤箱302内的清水压入到出水管402内，并利用高压喷头403持续喷向石英舟，高压水流能够更好的提高清洗效果，减少清洗死角的产生。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本申请。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本申请的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本申请将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
Claims (8)
1.一种石英舟自动清洗机，其特征在于，包括：
水槽(1)，其上端构造为开口；
推移转动组件(2)，包括贯穿安装在水槽(1)一端的支撑座(201)，所述支撑座(201)位于水槽(1)内的一端转动安装有转环(202)，所述转环(202)内水平滑动安装有用于插接石英舟的移动框(203)，所述移动框(203)一端与水槽(1)内壁之间设置有转动承接件(204)，所述支撑座(201)上固定连接有与移动框(203)另一端可拆卸连接的电动推杆(205)；
抽水过滤组件(3)，包括固定连接在水槽(1)内底部的抽水框(301)，所述水槽(1)外侧设置有与抽水框(301)相连通的过滤箱(302)；
喷淋组件(4)，固定连接在水槽(1)顶部且与过滤箱(302)相连通。
2.根据权利要求1所述的一种石英舟自动清洗机，其特征在于，所述支撑座(201)的上表面沿其长度方向构造有用于石英舟滑动的导向槽(2011)。
3.根据权利要求1所述的一种石英舟自动清洗机，其特征在于，所述支撑座(201)上表面的一端构造有弧形槽(2012)，所述弧形槽(2012)内固定连接有环板(2013)，所述转环(202)包括转动安装在环板(2013)内的环块(2021)，所述环块(2021)外周侧固定套设有活动安装在弧形槽(2012)内的齿环(2022)，所述环块(2021)中部构造有用于插设石英舟的限位通孔(2023)。
4.根据权利要求3所述的一种石英舟自动清洗机，其特征在于，所述移动框(203)包括滑动安装在支撑座(201)上的n型挡板(2031)，所述n型挡板(2031)一侧固定连接有多个滑动贯穿环块(2021)的连杆(2032)，所述连杆(2032)的另一端固定连接有抵触板(2033)，所述抵触板(2033)上构造有用于与石英舟相插合的定位插块(2034)，所述n型挡板(2031)的另一侧转动安装有T型杆(2035)，所述电动推杆(205)的输出端固定连接有可拆卸套设在T型杆(2035)上的卡板(2051)。
5.根据权利要求4所述的一种石英舟自动清洗机，其特征在于，所述转动承接件(204)包括固定连接在定位插块(2034)端部的多边形柱块(2041)，所述水槽(1)侧壁上转动安装有与多边形柱块(2041)相套接的转动套(2042)。
6.根据权利要求5所述的一种石英舟自动清洗机，其特征在于，所述抽水框(301)包括固定连接在水槽(1)内底部的圆框(3011)，所述圆框(3011)顶部构造有开口且其内部转动安装有涡轮(3012)，所述圆框(3011)底部一侧固定连接有与过滤箱(302)相连通的通水管(3013)。
7.根据权利要求6所述的一种石英舟自动清洗机，其特征在于，还包括驱动件(5)，所述驱动件(5)包括固定连接在支撑座(201)内的驱动电机(501)，所述驱动电机(501)的输出轴上固定连接有转轴(502)，所述转轴(502)上固定套设有与齿环(2022)相啮合的驱动齿轮(503)，所述转轴(502)端部转动贯穿圆框(3011)且与涡轮(3012)固定连接。
8.根据权利要求1所述的一种石英舟自动清洗机，其特征在于，所述喷淋组件(4)包括固定连接在水槽(1)顶部的框架(401)，所述框架(401)内顶部固定连接有两个垂直相通的出水管(402)，所述出水管(402)底部沿其长度方向阵列安装有多个高压喷头(403)，所述出水管(402)一端通过软管(404)连通有高压水泵(405)，所述高压水泵(405)的另一端与过滤箱(302)相连通。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322665958.XU CN220920333U (zh) | 2023-09-28 | 2023-09-28 | 一种石英舟自动清洗机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322665958.XU CN220920333U (zh) | 2023-09-28 | 2023-09-28 | 一种石英舟自动清洗机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN220920333U true CN220920333U (zh) | 2024-05-10 |
Family
ID=90965691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202322665958.XU Active CN220920333U (zh) | 2023-09-28 | 2023-09-28 | 一种石英舟自动清洗机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN220920333U (zh) |
-
2023
- 2023-09-28 CN CN202322665958.XU patent/CN220920333U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN112547603B (zh) | 一种半导体晶圆表面清洗装置 | |
| CN211161072U (zh) | 一种着色剂加工用盛装桶的清洗装置 | |
| CN113399360A (zh) | 一种液晶面板清洗装置 | |
| CN109092823B (zh) | 一种稳定高效的机械容器内壁清洗装置的工作方法 | |
| CN115534517A (zh) | 一种印刷辊表面油污处理设备及其处理方法 | |
| KR20070114442A (ko) | 노즐 회전 및 승강 분사식 용기 세척장치 | |
| CN220920333U (zh) | 一种石英舟自动清洗机 | |
| CN114477561A (zh) | 一种石油化工污水处理曝气机 | |
| CN214133211U (zh) | 一种制造用清洁装置 | |
| CN113208492A (zh) | 一种除尘式窗户滑轮 | |
| CN217912032U (zh) | 自动洗瓶烘干线 | |
| CN218079269U (zh) | 一种油缸缸筒的自动清洗设备 | |
| CN216175113U (zh) | 白酒尝评用器具清洗仪 | |
| CN111006406B (zh) | 一种太阳能真空管的清洁设备 | |
| CN213436101U (zh) | 一种建筑管材加工用清洗装置 | |
| CN204746957U (zh) | 一种花生循环清洗装置 | |
| CN113086198A (zh) | 一种高层建筑外墙玻璃清洗用便携式无人机 | |
| CN220970088U (zh) | 一种空气滤清器外壳表面处理装置 | |
| CN207386017U (zh) | 一种钉子生产用清洗装置 | |
| CN221063834U (zh) | 一种全自动清洗玻璃瓶装置 | |
| CN221387784U (zh) | 一种机械零件清洗用定位装置 | |
| CN215278828U (zh) | 一种塑料制品加工用清洗装置 | |
| CN205110296U (zh) | 一种自动洗框装置 | |
| CN221515398U (zh) | 一种铍铜弹片加工用清洗装置 | |
| CN214514427U (zh) | 基于震动防堵的管式聚四氟乙烯液体分布器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |