CN220914180U - 一种多腔室传动机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多腔室传动机构，属于传动设备领域，包括主箱体结构，所述主箱体结构的内部设置有多级腔室结构，所述多级腔室结构分别为刻蚀腔室、过渡腔室和驱动腔室，所述刻蚀腔室、过渡腔室和驱动腔室之间设置有传动密封结构；所述刻蚀腔室内设置有刻蚀液体喷头，所述驱动腔室内设置有水喷淋管，所述驱动腔室外的上方设置有传动电机，所述传动电机的工作端位于所述驱动腔室内，所述传动密封结构由连轴机构、钢芯传动辊、第一密封件和第二密封件组成，在驱动腔室中，通过纯水喷淋进一步清洗及稀释渗液浓度。在通过驱动腔室上方的传动电机带动联轴机构传递动力。整体上从到通过多级腔室完成渗液的密封及引流。

Description

一种多腔室传动机构

技术领域

本实用新型涉及传动设备领域，尤其是涉及一种多腔室传动机构。

背景技术

目前用于FPD湿法制程刻蚀清洗设备中，为提高刻蚀一致性、稳定性及流片效率，多采用辊轮传送模式在各工艺段间进行基板的快速转运，由于刻蚀溶液的强腐蚀性和挥发性，使用单一腔室结构的辊轮传动方式一是易造成驱动侧及附属传动结构的快速腐蚀，增加维修更换成本；二是由于刻蚀溶液的循环过滤使用，由于传动结构的腐蚀极易造成刻蚀溶液的二次污染，对工艺标准的一致性及稳定型造成影响。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供了一种多级腔室传送机构，可在结构上提高刻蚀腔室与其他功能腔室的密封性。使刻蚀溶液在本体腔室内循环，降低溢出溶液和驱动侧结构接触的风险，同时刻蚀腔室和其他腔室段独立排液排气，减少刻蚀溶液的二次污染现象的发生，提高该工艺段的一致性和稳定性。

本实用新型提供一种多腔室传动机构，包括主箱体结构，所述主箱体结构的内部设置有多级腔室结构，所述多级腔室结构分别为刻蚀腔室、过渡腔室和驱动腔室，所述刻蚀腔室、过渡腔室和驱动腔室之间设置有传动密封结构；所述刻蚀腔室内设置有刻蚀液体喷头，所述驱动腔室内设置有水喷淋管，所述驱动腔室外的上方设置有传动电机，所述传动电机的工作端位于所述驱动腔室内，所述传动密封结构由连轴机构、钢芯传动辊、第一密封件和第二密封件组成，所述连轴机构位于驱动腔室内，所述传动电机的工作端与所述传动密封结构相配合进行驱动作业，所述钢芯传动辊转动设置在刻蚀腔室、过渡腔室和驱动腔室三者之间，所述第一密封件安装设置在钢芯传动辊上刻蚀腔室和过渡腔室的相连接位置处，所述第二密封件安装设置在钢芯传动辊上过渡腔室和驱动腔室的相连接位置处，所述第一密封件和第二密封件将钢芯传动辊与刻蚀腔室、过渡腔室和驱动腔室的连接处进行密封连接。

进一步地，所述第一密封件由传动辊组无油轴承一、传动辊组挡水FKM密封圈一、传动辊组挡水FKM密封圈二组成，所述第二密封件由传动辊组挡水FKM密封圈三、传动辊组挡水FKM密封圈四、传动辊组无油轴承二、传动轴承座FKM密封垫、传动辊组无油轴承三组成。

进一步地，所述刻蚀腔室、过渡腔室、驱动腔室的底部分别开设有刻蚀腔室排液口、过渡腔室排液口、驱动腔室排液口。

进一步地，所述刻蚀腔室和所述驱动腔室顶部的一侧分别开设有刻蚀腔室排气口和驱动腔室排气口，所述刻蚀腔室的上方依次盖设有刻蚀腔室内密封盖板和刻蚀腔室外密封盖板，所述过渡腔室2的一侧设置有过渡腔室盖板，所述驱动腔室上的顶部开设有驱动腔室密封盖板。

进一步地，所述刻蚀腔室、过渡腔室、驱动腔室内的各个零部件材料均为耐腐蚀材料制作而成。

与现有技术相比较，本实用新型的有益效果在于：

本申请通过设置多级腔室结构使各功能区相对独立；增加各腔室间传动密封结构；在刻蚀腔室和驱动腔室间增设溢出过渡腔室区域；驱动腔室纯水喷淋清洗，各腔室排液排气独立设计，可在结构上提高刻蚀腔室与其他功能腔室的密封性。使刻蚀溶液在本体腔室内循环，降低溢出溶液和驱动侧结构接触的风险，同时刻蚀腔室和其他腔室段独立排液排气，这种FPD湿法刻蚀多腔室传动机构从结构分区、渗液隔离引流、独立排液、腔室密封及主动排气以及材料选型方面一定程度上降低溢出溶液和驱动侧结构接触的风险，减少刻蚀溶液的二次污染现象的发生。从而提高该工艺段的一致性和稳定性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为图1中沿A-A线的立体结构剖视图一；

图3为图1中沿A-A线的立体结构剖视图二；

图4为图2中B处放大图；

图5为图2中C处放大图。

附图标记:主箱体结构0，刻蚀腔室1，过渡腔室2，驱动腔室3，传动密封结构4，水喷淋管5，传动电机6，连轴机构7，钢芯传动辊8，传动辊组无油轴承一9，传动辊组挡水FKM密封圈一10，传动辊组挡水FKM密封圈二11，传动辊组挡水FKM密封圈三12，传动辊组挡水FKM密封圈四13，传动辊组无油轴承二14，传动轴承座FKM密封垫15，传动辊组无油轴承三16，刻蚀腔室排液口17，过渡腔室排液口18，驱动腔室排液口19，刻蚀腔室排气口20，驱动腔室排气口21，刻蚀腔室内密封盖板22，刻蚀腔室外密封盖板23，过渡腔室盖板24，驱动腔室密封盖板25。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

通常在此处附图中描述和显示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。

基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合图1至图5所示，本实用新型实施例提供了一种多腔室传动机构，包括主箱体结构0，所述主箱体结构0的内部设置有多级腔室结构，所述多级腔室结构分别为刻蚀腔室1、过渡腔室2和驱动腔室3，所述刻蚀腔室1、过渡腔室2和驱动腔室3之间设置有传动密封结构4；所述刻蚀腔室1内设置有刻蚀液体喷头，所述驱动腔室3内设置有水喷淋管5，所述驱动腔室3外的上方设置有传动电机6，所述传动电机6的工作端位于所述驱动腔室3内，所述传动密封结构4由连轴机构7、钢芯传动辊8、第一密封件和第二密封件组成，所述连轴机构7位于驱动腔室3内，所述传动电机6的工作端与所述传动密封结构4相配合进行驱动作业，所述钢芯传动辊8转动设置在刻蚀腔室1、过渡腔室2和驱动腔室3三者之间，所述第一密封件安装设置在钢芯传动辊8上刻蚀腔室1和过渡腔室2的相连接位置处，所述第二密封件安装设置在钢芯传动辊8上过渡腔室2和驱动腔室3的相连接位置处，所述第一密封件和第二密封件将钢芯传动辊8与刻蚀腔室1、过渡腔室2和驱动腔室3的连接处进行密封连接，刻蚀液体通过刻蚀液体喷头在刻蚀腔室1内喷淋、排液、循环。少量蚀刻溶液通过传动密封结构4渗入过渡腔室2，再通过传动密封结构4渗入驱动腔室3。在驱动腔室3中，通过纯水喷淋进一步清洗及稀释渗液浓度。在通过驱动腔室3上方的传动电机6带动联轴机构传递动力。整体上从到通过多级腔室完成渗液的密封及引流。

具体的，所述第一密封件由传动辊组无油轴承一9、传动辊组挡水FKM密封圈一10、传动辊组挡水FKM密封圈二11组成，所述第二密封件由传动辊组挡水FKM密封圈三12、传动辊组挡水FKM密封圈四13、传动辊组无油轴承二14、传动轴承座FKM密封垫15、传动辊组无油轴承三16组成。

具体的，所述刻蚀腔室1、过渡腔室2、驱动腔室3的底部分别开设有刻蚀腔室排液口17、过渡腔室排液口18、驱动腔室排液口19。刻蚀腔室1排液一定流片次数内循环过滤使用，过渡腔室排液口18、驱动腔室排液口19和刻蚀腔室排液口17独立配管且直接排废。三级腔室通过独立排废管路降低刻蚀溶液二次污染的风险。

具体的，所述刻蚀腔室1和所述驱动腔室3顶部的一侧分别开设有刻蚀腔室排气口20和驱动腔室排气口21，所述刻蚀腔室1的上方依次盖设有刻蚀腔室内密封盖板22和刻蚀腔室外密封盖板23，所述过渡腔室2的一侧设置有过渡腔室盖板24，所述驱动腔室3上的顶部开设有驱动腔室密封盖板25，通过主动负压排气、风量调整功能以及腔室的逐级密封，实现各级腔室挥发性溶液气体及水雾的排出。

具体的，所述刻蚀腔室1、过渡腔室2、驱动腔室3内的各个零部件材料均为耐腐蚀材料制作而成。

本申请通过设置多级腔室结构使各功能区相对独立；增加各腔室间传动密封结构4；在刻蚀腔室1和驱动腔室3间增设溢出过渡腔室2区域；驱动腔室3纯水喷淋清洗，各腔室排液排气独立设计，可在结构上提高刻蚀腔室1与其他功能腔室的密封性。使刻蚀溶液在本体腔室内循环，降低溢出溶液和驱动侧结构接触的风险，同时刻蚀腔室1和其他腔室段独立排液排气，这种FPD湿法刻蚀多腔室传动机构从结构分区、渗液隔离引流、独立排液、腔室密封及主动排气以及材料选型方面一定程度上降低溢出溶液和驱动侧结构接触的风险，减少刻蚀溶液的二次污染现象的发生。从而提高该工艺段的一致性和稳定性。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (5)

1.一种多腔室传动机构，其特征在于：包括主箱体结构(0)，所述主箱体结构(0)的内部设置有多级腔室结构，所述多级腔室结构分别为刻蚀腔室(1)、过渡腔室(2)和驱动腔室(3)，所述刻蚀腔室(1)、过渡腔室(2)和驱动腔室(3)之间设置有传动密封结构(4)；所述刻蚀腔室(1)内设置有刻蚀液体喷头，所述驱动腔室(3)内设置有水喷淋管(5)，所述驱动腔室(3)外的上方设置有传动电机(6)，所述传动电机(6)的工作端位于所述驱动腔室(3)内，所述传动密封结构(4)由连轴机构(7)、钢芯传动辊(8)、第一密封件和第二密封件组成，所述连轴机构(7)位于驱动腔室(3)内，所述传动电机(6)的工作端与所述传动密封结构(4)相配合进行驱动作业，所述钢芯传动辊(8)转动设置在刻蚀腔室(1)、过渡腔室(2)和驱动腔室(3)三者之间，所述第一密封件安装设置在钢芯传动辊(8)上刻蚀腔室(1)和过渡腔室(2)的相连接位置处，所述第二密封件安装设置在钢芯传动辊(8)上过渡腔室(2)和驱动腔室(3)的相连接位置处，所述第一密封件和第二密封件将钢芯传动辊(8)与刻蚀腔室(1)、过渡腔室(2)和驱动腔室(3)的连接处进行密封连接。

2.根据权利要求1所述的一种多腔室传动机构，其特征在于：所述第一密封件由传动辊组无油轴承一(9)、传动辊组挡水FKM密封圈一(10)、传动辊组挡水FKM密封圈二(11)组成，所述第二密封件由传动辊组挡水FKM密封圈三(12)、传动辊组挡水FKM密封圈四(13)、传动辊组无油轴承二(14)、传动轴承座FKM密封垫(15)、传动辊组无油轴承三(16)组成。

3.根据权利要求2所述的一种多腔室传动机构，其特征在于：所述刻蚀腔室(1)、过渡腔室(2)、驱动腔室(3)的底部分别开设有刻蚀腔室排液口(17)、过渡腔室排液口(18)、驱动腔室排液口(19)。

4.根据权利要求3所述的一种多腔室传动机构，其特征在于：所述刻蚀腔室(1)和所述驱动腔室(3)顶部的一侧分别开设有刻蚀腔室排气口(20)和驱动腔室排气口(21)，所述刻蚀腔室(1)的上方依次盖设有刻蚀腔室内密封盖板(22)和刻蚀腔室外密封盖板(23)，所述过渡腔室(2)的一侧设置有过渡腔室盖板(24)，所述驱动腔室(3)上的顶部开设有驱动腔室密封盖板(25)。

5.根据权利要求1所述的一种多腔室传动机构，其特征在于：所述刻蚀腔室(1)、过渡腔室(2)、驱动腔室(3)内的各个零部件材料均为耐腐蚀材料制作而成。