CN220903059U - 检测夹具 - Google Patents

Abstract

本公开涉及一种检测夹具，包括底座、夹持机构以及锁止机构，夹持机构具有第一位置和第二位置，在第一位置，夹持机构与底座围成容纳空间，使得待夹持的晶棒能够放入容纳空间或者使得位于容纳空间的晶棒能够转动；在第二位置，夹持机构和底座用于夹紧处于容纳空间的晶棒；锁止机构分别连接于底座和夹持机构，锁止机构被配置为切换夹持机构的第一位置和第二位置。该检测夹具可以对晶棒找到需要的晶向值时对晶棒进行固定，以提高测量晶向位置的准确性。

Description

检测夹具

技术领域

本公开涉及晶棒晶向检测技术领域，具体地，涉及一种检测夹具。

背景技术

各种人工晶体需要在一定的晶向角加工成薄片，而晶棒的硬度较高，造成加工费时费力，原材料的价格也相对较高，因此，需要在加工前测量晶棒的晶向偏差或测量待加工晶棒要加工晶面的晶向位置，并利用磨削设备将晶棒柱面加工出参考边或刻痕，然后按测定角度值将晶棒粘接在料板上，而上述操作过程中，晶棒角度的检测尤为重要，一旦发生偏差，不仅影响粘接精度，也严重影响后续单晶硅切片精度，导致晶体切片制品的不合格率较高。

而现有技术中，对晶棒进行晶向的寻找方式，通常为手动对晶棒进行旋转，在找到晶向位置后，需要人手对晶棒进行扶撑然后划出刻痕，而这种方式会导致晶向的测量位置不准确。

实用新型内容

本公开的目的是提供一种检测夹具，该检测夹具可以对晶棒找到需要的晶向值时对晶棒进行固定，以提高测量晶向位置的准确性，以至少部分地解决上述技术问题。

为了实现上述目的，本公开提供一种检测夹具，包括：底座；夹持机构，具有第一位置和第二位置，在所述第一位置，所述夹持机构与所述底座围成容纳空间，使得待夹持的晶棒能够放入所述容纳空间或者使得位于所述容纳空间的晶棒能够转动；在所述第二位置，所述夹持机构和所述底座用于夹紧处于所述容纳空间的晶棒；以及锁止机构，分别连接于所述底座和所述夹持机构，所述锁止机构被配置为切换所述夹持机构的所述第一位置和所述第二位置。

可选地，所述底座包括第一安装孔，所述夹持机构包括第二安装孔，所述锁止机构包括穿设于所述第一安装孔和所述第二安装孔的紧固件，以及连接在所述底座与所述夹持机构之间的的弹性件。

可选地，所述第一安装孔构造为第一螺纹孔，所述紧固件构造为穿过所述第二安装孔后螺接于所述第一螺纹孔的第一螺纹件，所述弹性件套接于所述第一螺纹件，且所述弹性件的两端分别抵接于所述底座和所述夹持机构。

可选地，所述弹性件构造为弹簧。

可选地，所述第一螺纹孔在所述底座上间隔地布置多个，所述第二安装孔在所述夹持机构上间隔地布置多个，所述第一螺纹孔、所述第二安装孔与所述锁止机构的数量一一对应。

可选地，所述底座相对的两侧设有朝向所述夹持机构方向翻折的凸起，所述夹持机构包括两个夹持块，两个所述夹持块分别通过所述锁止机构连接于两个所述凸起，两个所述凸起相对的两面、所述底座的表面以及两个所述夹持块的内表面共同围成所述容纳空间。

可选地，所述两个夹持块相互靠近的边缘共同形成开口。

可选地，所述两个夹持块在所述开口处设有圆弧过渡。

可选地，所述底座的表面设有垫块。

可选地，所述垫块可拆卸地连接于所述底座。

通过上述技术方案，即本公开所提供的检测夹具，在需要对晶棒进行夹持并进行晶向的寻找时，可以先将夹持机构调整至第一位置，将晶棒插入容纳空间后，可以对晶棒进行旋转，并通过检测仪器对插入容纳空间的晶棒进行晶向检测，待晶棒经过微调旋转并通过检测仪器寻找到需要的晶向值时，通过锁止机构将夹持机构从第一位置切换至第二位置，进而将晶棒被夹持机构和底座夹紧，以固定晶棒，进而便于后续对晶棒划出刻痕，提高了测量晶向位置的准确性。

本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：

图1是本公开示例性实施方式中提供的检测夹具的结构示意图；

图2是本公开示例性实施方式中提供的检测夹具夹持晶棒的结构示意图；

图3是本公开示例性实施方式中提供的底座的结构示意图；

图4是本公开示例性实施方式中提供的锁止机构的结构示意图。

附图标记说明

1-底座；101-第一安装孔；110-凸起；2-夹持机构；201-容纳空间；202-第二安装孔；203-开口；204-圆弧过渡；210-夹持块；3-锁止机构；310-紧固件；320-弹性件；4-晶棒；5-垫块。

具体实施方式

以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。

在本公开中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“内、外”通常是指相对于部件或结构本身轮廓的内、外，“第一、第二”等是为了区别一个要素和另一个要素，不具有顺序性和重要性，此外，不同参考附图中的同一附图标记表示相同的要素。

现有技术中，各种人工晶体需要在一定的晶向角的方向上加工成薄片，原材料通常采用晶棒，而晶棒自身的硬度较高，加工时较为费时费力，其自身的价格也相对较高，因此，需要在加工前测量晶棒的晶向偏差或测量待加工晶棒要加工晶面的晶向位置，并利用磨削设备将晶棒的柱面加工出参考边或刻痕，然后按测定的角度值将晶棒粘接在料板上进行后续的切片加工，而在上述操作过程中，晶棒的角度检测尤为重要，一旦发生偏差，不仅影响与料板的粘接精度，也严重影响后续的切片精度，容易导致切片制品的不合格率较高，而目前对于晶棒的晶向的寻找方式，通常为手动对晶棒进行旋转，在找到晶向位置后，需要人手对晶棒进行扶持并划出刻痕，而这种方式会导致晶向的测量位置不准确。

基于上述技术问题，本公开提供一种检测夹具，参考图1至图4所示，该检测夹具包括底座1、夹持机构2以及锁止机构3，夹持机构2具有第一位置和第二位置，在第一位置，夹持机构2与底座1围成容纳空间201，使得待夹持的晶棒4能够放入容纳空间201或者使得位于容纳空间201的晶棒4能够转动；在第二位置，夹持机构2和底座1用于夹紧处于容纳空间的晶棒4；锁止机构3分别连接于底座1和夹持机构2，锁止机构3被配置为切换夹持机构2的第一位置和第二位置。

通过上述方式，即本公开所提供的检测夹具，在需要对晶棒4进行夹持并进行晶向的寻找时，可以先将夹持机构2调整至第一位置，将晶棒4插入容纳空间201后，可以对晶棒4进行旋转，并通过检测仪器对插入容纳空间201的晶棒4进行晶向检测，待晶棒4经过微调旋转并通过检测仪器寻找到需要的晶向值时，通过锁止机构3将夹持机构2从第一位置切换至第二位置，进而将晶棒4被夹持机构2和底座1夹紧，以固定晶棒4，进而便于后续对晶棒4划出刻痕，提高了测量晶向位置的准确性。

在一些实施方式中，参考图1至图4所示，底座1包括第一安装孔101，夹持机构2包括第二安装孔202，锁止机构3包括穿设于第一安装孔101和第二安装孔202的紧固件310，以及连接在底座1与夹持机构2之间的弹性件320。通过这种方式，底座1和夹持机构2可以通过紧固件310和弹性件320的配合来调整二者的相对距离，进而可以在第一位置和第二位置之间相互切换，以夹紧或松开于晶棒4。

在一些实施方式中，参考图1至图4所示，第一安装孔101构造为第一螺纹孔，紧固件310构造为穿过第二安装孔202后螺接于第一螺纹孔的第一螺纹件，弹性件320套接于第一螺纹件，且弹性件320的两端分别抵接于底座1和夹持机构2。通过这种方式，可以通过第一螺纹件螺纹连接与第一螺纹孔的深度不同，进而在第一位置和第二位置之间进行切换，而弹性件320可以在夹持机构2处于第二位置时，为夹持机构2提供弹性支撑，这样，可以避免夹持机构2与晶棒4产生接触，在旋转晶棒4时也可以防止晶棒4与夹持机构2之间产生刮蹭，进而减少晶棒4出现刮痕的弊端。

此外，为了进一步提高第一螺纹件能够带动夹持机构2的效果，第一螺纹件可以构造为带有螺帽的螺钉，第一螺纹孔可以构造为沉头孔，这样，在拧动螺钉时，螺钉的螺帽可以抵接于第一螺纹孔的沉头孔，可以进一步提高第一螺纹件带动夹持机构2的效果。

在一些实施方式中，参考图4所示，弹性件320构造为弹簧。通过这种方式，弹簧可以为夹持机构2在第二位置时，为底座1和夹持机构2之间提供弹力。

在一些实施方式中，参考图1至图4所示，第一螺纹孔在底座1上间隔地布置多个，第二安装孔202在夹持机构2上间隔地布置多个，第一螺纹孔、第二安装孔202与锁止机构3的数量一一对应。通过这种方式，将多个锁止机构3分别穿过第一螺纹孔和第二安装孔202，进而可以提高锁止机构3对底座1和夹持机构2的锁止效果，进而可以更稳定地在第二位置夹持住晶棒4。

在一些实施方式中，参考图1和图2所示，底座1相对的两侧设有朝向夹持机构2方向翻折的凸起110，夹持机构2包括两个夹持块210，两个夹持块210分别通过锁止机构3连接于两个凸起110，两个凸起110相对的两面，底座1的表面以及两个夹持块210的内表面共同围成容纳空间201，通过这种方式，两个夹持块210可以与底座1进行相互配合，共同对晶棒4进行夹持，且参考图2所示，两个夹持块210可以设计为带有斜面的异形块，在对晶棒4进行夹持时，两个斜面可以对晶棒4进行进一步的限位，这样，也可以防止晶棒4在被夹持块210夹持时从图1或图2的上方滑出，提高了对晶棒4的夹持效果。

在一些实施方式中，参考图1和图2所示，两个夹持块210相互靠近的边缘共同形成开口203。通过这种方式，开口203可以便于工作人员在找到晶棒4的晶向后，对晶棒4进行划痕刻线，参考图2所示，当夹持机构2处于第一位置时，两个夹持块210此时不夹持于晶棒4，此时可以对晶棒4进行旋转微调，待通过检测仪器找到所需要的晶向时，可以将两个夹持块210夹持住晶棒4，进而完成夹持机构2从第一位置向第二位置的切换，此时工作人员可以在开口203处对晶棒4进行划痕刻线，以便于后续对晶棒进行切片加工的操作。

在一些实施方式中，参考图1和图2所示，两个夹持块210在开口203处设有圆弧过渡204。通过这种方式，在晶棒4位于容纳空间201内时，对晶棒4进行旋转时，晶棒4有概率会与开口203的边缘处产生刮蹭，进而会导致晶棒4被刮花的可能，参考图1所示，在开口203的边缘锋利处设计有圆弧过渡204后，在旋转晶棒4时，可以减少晶棒4被开口203的边缘划伤的情况。

在一些实施方式中，参考图1至图3所示，底座1的表面设有垫块5。通过这种方式，当晶棒4放入容纳空间201内时，垫块5可以支撑起晶棒4，或者，垫块5可以构造为材质较软的橡胶或海绵等，这样，垫块5不仅可以起到支撑晶棒4的作用，还可以为晶棒4提供弹性缓冲，这样，在检测夹具受到冲击而产生震动时，垫块5可以吸收部分震动，进而减少晶棒4与底座1或夹持机构2的硬接触而产生磕碰的情况，同时，材质较软的垫块5还可以防止晶棒4在旋转找晶向的过程中与底座1产生刮蹭磨损。

在一些实施方式中，参考图1至图3所示，垫块5可拆卸地连接于底座1。通过这种方式，提高了垫块5与底座1之间的可操作性，例如，当晶棒4自身的直径尺寸大小不同时，可以通过更换不同厚度的垫块5，以更好地将不同大小的晶棒4进行夹持，提高了对晶棒4的夹持效果。

此外，垫块5可以以任意合适的可拆卸的连接方式连接于底座1，例如，参考图1和图3所示，垫块5的表面设有贯穿的安装孔，在底座1的对应位置也设有安装孔，此时可以通过定位销、或螺钉紧固件同时穿过垫块5和底座1上的安装孔，进而可以将底座1和垫块5进行连接，也同样可以达到可拆卸的效果。

本公开示例性地描述检测夹具的工作过程，例如可以包括以下步骤：

先将第一螺纹件旋松，将夹持块210向上进行移动，将晶棒4放入容纳空间201内后，对晶棒4进行旋转，在旋转的同时，使用检测仪器，例如晶向测量仪对晶棒4的晶向进行寻找，待找到所需要的晶向后，检测仪器会发出确认信号，工作人员可以依据检测仪器发出的确认信号后，确定晶棒4的当前角度，此时可以反向旋动第一螺纹件，将第一螺纹件旋紧，此时夹持块210会与底座1共同夹持住晶棒4，夹持机构2处于第二位置，工作人员通过开口203可以对夹持住的晶棒4进行划线刻痕，此时完成找晶向的过程，可以带着该检测夹具对夹持住的晶棒4移动到后续的工位，以进行切片加工处理。

以上结合附图详细描述了本公开的优选实施方式，但是，本公开并不限于上述实施方式中的具体细节，在本公开的技术构思范围内，可以对本公开的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本公开的保护范围。

另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本公开对各种可能的组合方式不再另行说明。

此外，本公开的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本公开的思想，其同样应当视为本公开所公开的内容。

Claims (10)

1.一种检测夹具，其特征在于，包括：

底座；

夹持机构，具有第一位置和第二位置，在所述第一位置，所述夹持机构与所述底座围成容纳空间，使得待夹持的晶棒能够放入所述容纳空间或者使得位于所述容纳空间的晶棒能够转动；在所述第二位置，所述夹持机构和所述底座用于夹紧处于所述容纳空间的晶棒；以及

锁止机构，分别连接于所述底座和所述夹持机构，所述锁止机构被配置为切换所述夹持机构的所述第一位置和所述第二位置。

2.根据权利要求1所述的检测夹具，其特征在于，所述底座包括第一安装孔，所述夹持机构包括第二安装孔，所述锁止机构包括穿设于所述第一安装孔和所述第二安装孔的紧固件，以及连接在所述底座与所述夹持机构之间的弹性件。

3.根据权利要求2所述的检测夹具，其特征在于，所述第一安装孔构造为第一螺纹孔，所述紧固件构造为穿过所述第二安装孔后螺接于所述第一螺纹孔的第一螺纹件，所述弹性件套接于所述第一螺纹件，且所述弹性件的两端分别抵接于所述底座和所述夹持机构。

4.根据权利要求3所述的检测夹具，其特征在于，所述弹性件构造为弹簧。

5.根据权利要求4所述的检测夹具，其特征在于，所述第一螺纹孔在所述底座上间隔地布置多个，所述第二安装孔在所述夹持机构上间隔地布置多个，所述第一螺纹孔、所述第二安装孔与所述锁止机构的数量一一对应。

6.根据权利要求1所述的检测夹具，其特征在于，所述底座相对的两侧设有朝向所述夹持机构方向翻折的凸起，所述夹持机构包括两个夹持块，两个所述夹持块分别通过所述锁止机构连接于两个所述凸起，两个所述凸起相对的两面、所述底座的表面以及两个所述夹持块的内表面共同围成所述容纳空间。

7.根据权利要求6所述的检测夹具，其特征在于，所述两个夹持块相互靠近的边缘共同形成开口。

8.根据权利要求7所述的检测夹具，其特征在于，所述两个夹持块在所述开口处设有圆弧过渡。

9.根据权利要求1所述的检测夹具，其特征在于，所述底座的表面设有垫块。

10.根据权利要求9所述的检测夹具，其特征在于，所述垫块可拆卸地连接于所述底座。