CN220896475U - 一种磁栅尺驱动装置及包含其的硅片上下料装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种磁栅尺驱动装置及包含其的硅片上下料装置，涉及半导体设备领域，磁栅尺驱动装置，用于驱动装载箱上下移动，包括固定架，固定架上设置有有丝杆，丝杆的外表面设置有滑块，丝杆通过滑块驱动装载箱上下移动，所述丝杆的一侧设置有用于驱动丝杆转动的步进电机；所述滑块上设置有磁栅传感器，所述固定架上位于磁栅传感器的一侧设置有磁栅尺，所述磁栅传感器相对磁栅尺上下移动。本申请中控制器将装载箱实际移动的距离与步进马达计步的信号相比较，若两者的结果不匹配，则发送报警信号将停止机台运行机构。又由于磁栅尺刻度精度高，因此本申请的侦测精度高，使得误差侦测的精度从原来的0.225mm提升至0.005mm，从而提高装载箱的移动精度。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体设备领域，特别涉及一种磁栅尺驱动装置及包含其的硅片上下料装置。
背景技术
硅片在加工的过程中需要通过装载箱进行上下料，因此需要驱动部件驱动装载箱上下移动。
驱动部件包括步进马达，现有的驱动部件是采用光栅尺的方式侦测步进马达的运行误差，由于编码器只侦测步进电机传送的距离，并不知晓装载箱实际运动的距离，在皮带变松或是转动轴打滑的情况下，装载箱实际运动的距离与步进电机传送的距离之间有很大的偏差，同时由于光栅尺结构的极限限制，其误差精度只能控制在0.225mm以上,在某些误差精度要求高的使用环境下不能满足要求。
实用新型内容
为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种侦测精度更高，使得装载箱移动精度更高的磁栅尺驱动装置。
为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：磁栅尺驱动装置用于驱动装载箱上下移动，包括固定架，所述固定架上设置有有丝杆，所述丝杆的外表面设置有滑块，所述丝杆通过滑块驱动装载箱上下移动，所述丝杆的一侧设置有用于驱动丝杆转动的步进电机；
所述滑块上设置有磁栅传感器，所述固定架上位于磁栅传感器的一侧设置有磁栅尺，所述磁栅传感器相对磁栅尺上下移动。
步进电机转动驱动丝杆转动带动滑块和装载箱上下移动从而驱动硅片上下移动。
所述磁栅尺驱动装置还包括控制器，所述步进电机和磁栅传感器分别与控制器电性连接。
所述磁栅传感器用于侦测装载箱相对磁栅尺实际移动的距离，并将侦测到的数据信号传送给控制器，所述步进马达将计步信号发送给控制器，所述控制器将装载箱实际移动的距离与步进马达计步的信号相比较，若两者的结果不匹配，则发送报警信号将停止机台运行机构。又由于磁栅尺刻度精度高，因此本申请的侦测精度高，使得误差侦测的精度从原来的0.225mm提升至0.005mm，从而提高装载箱的移动精度，
进一步的是：所述步进电机的驱动轴通过同步轮和同步带与丝杆连接。
工作原理：
所述步进电机转动其驱动轴驱动同步轮转动，带动同步带传动从而驱动丝杆转动从而驱动滑块和装载箱上下移动。
进一步的是：所述滑块通过第一导杆与装载箱连接，所述第一导杆分别与滑块和装载箱固定连接。所述滑块上下移动带动第一导杆上下移动从而带动装载箱上下移动。
进一步的是：所述磁栅尺的一侧固定连接有磁栅固定板，所述磁栅固定板用于固定磁栅尺。
进一步的是：所述磁栅固定板的两端固定连接有抱箍支架，所述磁栅固定板与抱箍支架通过螺栓固定连接。所述抱箍支架通过第二导杆连接在固定架上。
一种硅片上下料装置，包括磁栅尺驱动装置和设置在磁栅尺驱动装置一侧的装载箱，所述磁栅尺驱动装置驱动装载箱上下移动，所述装载箱内设置有载台。硅片放置在装载箱内的载台上，所述磁栅尺驱动装置驱动装载箱上下移动从而驱动硅片上下移动实现上下料。
本实用新型的有益效果是，所述磁栅传感器用于侦测装载箱相对磁栅尺实际移动的距离，并将侦测到的数据信号传送给控制器，所述步进马达将计步信号发送给控制器，所述控制器将装载箱实际移动的距离与步进马达计步的信号相比较，若两者的结果不匹配，则发送报警信号将停止机台运行机构。又由于磁栅尺刻度精度高，因此本申请的侦测精度高，使得误差侦测的精度从原来的0.225mm提升至0.005mm，从而提高装载箱的移动精度。
附图说明
图1为磁栅尺驱动装置一实施例的主视图；
图2为磁栅尺驱动装置一实施例的后视图；
图3为磁栅传感器和磁栅尺的配合示意图；
图4为硅片上下料装置的结构示意图；
图中：1、固定架；2、丝杆；3、滑块；4、步进电机；5、磁栅传感器；6、磁栅尺；7、第一导杆；8、磁栅固定板；9、抱箍支架；10、第二导杆；100、磁栅尺驱动装置；200、装载箱。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
参见附图1所示，本申请的实施例提供了一种磁栅尺驱动装置，该磁栅尺驱动装置用于驱动装载箱上下移动，包括固定架1，所述固定架1上设置有有丝杆2，所述丝杆2的外表面设置有滑块3，所述丝杆2通过滑块3驱动装载箱上下移动，所述丝杆2的一侧设置有用于驱动丝杆2转动的步进电机4；
所述滑块3上设置有磁栅传感器5，所述固定架1上位于磁栅传感器5的一侧设置有磁栅尺6，所述磁栅传感器5相对磁栅尺6上下移动。
步进电机4转动驱动丝杆2转动带动滑块3和装载箱上下移动从而驱动硅片上下移动。
所述磁栅尺驱动装置还包括控制器，所述步进电机4和磁栅传感器5分别与控制器电性连接。
所述磁栅传感器5用于侦测装载箱相对磁栅尺6实际移动的距离，并将侦测到的数据信号传送给控制器，所述步进马达将计步信号发送给控制器，所述控制器将装载箱实际移动的距离与步进马达计步的信号相比较，若两者的结果不匹配，则发送报警信号将停止机台运行机构。又由于磁栅尺6刻度精度高，因此本申请的侦测精度高，使得误差侦测的精度从原来的0.225mm提升至0.005mm，从而提高装载箱的移动精度。
在上述基础上，所述步进电机4的驱动轴通过同步轮和同步带与丝杆2连接。
工作原理：
所述步进电机4转动其驱动轴驱动同步轮转动，带动同步带传动从而驱动丝杆2转动从而驱动滑块3和装载箱上下移动。
在上述基础上，所述滑块3通过第一导杆7与装载箱连接，所述第一导杆7分别与滑块3和装载箱固定连接。所述滑块3上下移动带动第一导杆7上下移动从而带动装载箱上下移动。
在上述基础上，如图2所示，所述磁栅尺6的一侧固定连接有磁栅固定板8，所述磁栅固定板8用于固定磁栅尺6。
在上述基础上，如图3所示，所述磁栅固定板8的两端固定连接有抱箍支架9，所述磁栅固定板8与抱箍支架9通过螺栓固定连接。所述抱箍支架9通过第二导杆10连接在固定架1上。
如图4所示，一种硅片上下料装置，包括磁栅尺驱动装置和设置在磁栅尺驱动装置100一侧的装载箱200，所述磁栅尺驱动装置100驱动装载箱200上下移动，所述装载箱200内设置有载台。硅片放置在装载箱200内的载台上，所述磁栅尺驱动装置100驱动装载箱200上下移动从而驱动硅片上下移动实现上下料。
以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
Claims (6)
1.一种磁栅尺驱动装置，用于驱动装载箱上下移动，包括固定架(1)，其特征在于：所述固定架(1)上设置有有丝杆(2)，所述丝杆(2)的外表面设置有滑块(3)，所述丝杆(2)通过滑块(3)驱动装载箱上下移动，所述丝杆(2)的一侧设置有用于驱动丝杆(2)转动的步进电机(4)；
所述滑块(3)上设置有磁栅传感器(5)，所述固定架(1)上位于磁栅传感器(5)的一侧设置有磁栅尺(6)，所述磁栅传感器(5)相对磁栅尺(6)上下移动。
2.根据权利要求1所述的一种磁栅尺驱动装置，其特征在于：所述步进电机(4)的驱动轴通过同步轮和同步带与丝杆(2)连接。
3.根据权利要求1所述的一种磁栅尺驱动装置，其特征在于：所述滑块(3)通过第一导杆(7)与装载箱连接，所述第一导杆(7)分别与滑块(3)和装载箱固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种磁栅尺驱动装置，其特征在于：所述磁栅尺(6)的一侧固定连接有磁栅固定板(8)。
5.根据权利要求4所述的一种磁栅尺驱动装置，其特征在于：所述磁栅固定板(8)的两端固定连接有抱箍支架(9)，所述抱箍支架(9)通过第二导杆(10)连接在固定架(1)上。
6.一种硅片上下料装置，其特征在于：包括权利要求1-5任一项所述的磁栅尺驱动装置(100)，所述硅片上下料装置还包括设置在磁栅尺驱动装置(100)一侧的装载箱(200)，所述磁栅尺驱动装置(100)驱动装载箱(200)上下移动，所述装载箱(200)内设置有载台。
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