CN220887772U - 一种直拉硅单晶炉热场提升装置 - Google Patents

一种直拉硅单晶炉热场提升装置 Download PDF

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张彬彬
王建利
郭嘉伟
董智慧
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Abstract

本实用新型公开了一种直拉硅单晶炉热场提升装置,具体涉及提升装置领域,包括保温桶,保温桶底端支撑有底板,保温桶两侧对称安装有螺杆,两个螺杆共同配合连接有提升机构,底板上对称开设有插孔,提升机构顶端分别插接在对应的插孔内,保温桶两侧对称开设有安装槽,各安装槽内均安装有螺杆,各插孔与安装槽配合连接,且插孔的内径尺寸大于安装槽内设置的螺杆直径尺寸。本实用新型具有能够直接从保温桶底部对保温桶进行提升,不仅能够对热场进行提升改变,起到屏蔽单晶炉主加热气热量起到降低晶体氧含量作用,而且在提升的过程中,不需对单晶炉进行打开,从而能够避免热量散失,从而能够进行保温的优点。

Description

一种直拉硅单晶炉热场提升装置
技术领域
本实用新型涉及提升装置技术领域,更具体地说,本实用新型涉及一种直拉硅单晶炉热场提升装置。
背景技术
硅单晶炉在拉制硅单晶的过程中,是在保护气体氩气保护中进行的,石墨加热器对石墨坩埚托内装满多晶硅原料的坩埚进行加热,使坩埚中的多晶硅原料熔化,并达到工艺拉晶要求。通常,单晶炉热场加热功率的50%左右用于维持其长晶条件,而其余的能量都消耗在环境中,因此,在单晶炉拉晶过程中,必须要使用保温材料将单晶炉炉体包裹,减少热量的散失,节约生产成本。随着单晶炉用保温材料的保温性能的增强和单晶炉热场尺寸的不断扩大,大热场大尺寸已经成为主流;随着热场的增大和保温效果的增强,带来的冷却时间也同步延长。
现有的单晶炉冷却方法是静态冷却,热对流效果不明显,且冷却时间较长,(32吋6H,33吋.36吋8H),严重降低了单晶硅的产量。若提前拆炉,由于温度太高会损坏单晶炉内的热场部件,增加生产成本。
如专利公布号CN212832368U公开的一种大尺寸热场埚底提升装置,该提升装置使用时借助外部悬臂提升机构将框体由吊钩处整体吊起,转动提升臂至下部卡块与卡入或脱离待提升的大尺寸热场埚底下方,同时通过提升臂至上端横杆进行定位固定,外部悬臂机构开启便可将埚底、埚帮及石英坩埚快捷、安全的提起并取出。该提升装置可进行安装作业真正解决目前大尺寸热场埚底、埚帮拆装的实际生产需求问题;
但是该结构在实际使用时,需要从顶端吊钩进行吊起,从而导致顶部需要始终呈现开口状态,从而造成热量散失,达不到保温功能,因此,现提出一种直拉硅单晶炉热场提升装置。
实用新型内容
本实用新型技术方案针对于现有技术解决过于单一的技术问题,提供了显著不同于现有技术的解决方案。为了克服现有技术的上述缺陷,本实用新型提供一种直拉硅单晶炉热场提升装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种直拉硅单晶炉热场提升装置,包括保温桶,保温桶底端支撑有底板,保温桶两侧对称安装有螺杆,两个螺杆共同配合连接有提升机构。
通过电机运行,使得转杆进行转动,从而使得主动带轮随着进行转动,在主动带轮转动的过程中,通过同步带与两个随动带轮连接,从而使得两个随动带轮同步进行转动,从而使得两个转筒同步同向转动,从而在螺杆的配合下,使得两个螺杆分别在对应的转筒顶端同步进行升降,从而能够对两个螺杆支撑的保温桶进行快速顶升,从而起到屏蔽单晶炉主加热气热量起到降低晶体氧含量作用,以实现降低单晶氧含量,提升单晶硅棒品质,停炉提升热场,减短停炉时间,增加热场的纵向梯度,并提高单晶炉提拉速度。
优选地,底板上对称开设有插孔,提升机构顶端分别插接在对应的插孔内,以便于提升机构顶端与对应的螺杆的连接不受阻挡,从而提高整体结构的合理性。
优选地,保温桶两侧对称开设有安装槽,各安装槽内均安装有螺杆。
优选地,各插孔与安装槽配合连接,且插孔的内径尺寸大于安装槽内设置的螺杆直径尺寸,以避免螺杆外侧凸出于保温桶外侧。
优选地,提升机构包括电机,电机设置在底板底端中部。
转杆,转杆底端与电机传动端连接。
主动带轮,主动带轮安装在转杆顶端。
同步带,同步带套接在主动带轮上。
两个随动带轮,各随动带轮分别套接在同步带两端。
两个转筒,各转筒分别安装在对应的随动带轮顶端。
优选地,转筒顶端贯穿插过插孔插接在安装槽内,且转筒配合套接在对应的螺杆上。
优选地,转筒内开设有螺孔,且螺杆旋接在螺孔内。
通过电机运行,使得转杆进行转动,从而使得主动带轮随着进行转动,在主动带轮转动的过程中,通过同步带与两个随动带轮连接,从而使得两个随动带轮同步进行转动,从而使得两个转筒同步同向转动,从而在螺杆的配合下,使得两个螺杆分别在对应的转筒顶端同步进行升降,从而能够对两个螺杆支撑的保温桶进行快速顶升。
本实用新型的技术效果和优点:
1、通过螺杆、电机、转杆、主动带轮、同步带、随动带轮以及转筒的设置,与现有技术相比,通过电机的运行,使得螺杆同步对保温桶进行顶升,且保温桶两侧受力平衡,避免保温桶倾斜,不仅能够对热场进行提升改变,起到屏蔽单晶炉主加热气热量起到降低晶体氧含量作用,而且在提升的过程中,不需对单晶炉进行打开,从而能够避免热量散失,从而能够进行保温,以实现降低单晶氧含量,提升单晶硅棒品质,停炉提升热场,减短停炉时间,增加热场的纵向梯度,并提高单晶炉提拉速度;
2、通过底板上开设插孔的设置,与现有技术相比,以便于对保温桶底部进行隔离,且便于与转筒进行插接配合,使得转筒能够与螺杆进行连接配合,从而使得结构更加合理。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图。
图2为本实用新型的保温桶两侧结构示意图。
图3为本实用新型的提升机构的结构示意图。
图4为本实用新型的底板的结构示意图。
附图标记为:1、保温桶;2、底板;3、螺杆;4、提升机构;401、电机;402、转杆;403、主动带轮;404、同步带;405、随动带轮;406、转筒;5、插孔。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
如附图1-4所示的一种直拉硅单晶炉热场提升装置,包括保温桶1,保温桶1底端支撑有底板2,保温桶1两侧对称安装有螺杆3,两个螺杆3共同配合连接有提升机构4,通过电机401运行,使得转杆402进行转动,从而使得主动带轮403随着进行转动,在主动带轮403转动的过程中,通过同步带404与两个随动带轮405连接,从而使得两个随动带轮405同步进行转动,从而使得两个转筒406同步同向转动,从而在螺杆3的配合下,使得两个螺杆3分别在对应的转筒406顶端同步进行升降,从而能够对两个螺杆3支撑的保温桶1进行快速顶升,从而起到屏蔽单晶炉主加热气热量起到降低晶体氧含量作用,以实现降低单晶氧含量,提升单晶硅棒品质,停炉提升热场,减短停炉时间,增加热场的纵向梯度,并提高单晶炉提拉速度。
如附图4所示,底板2上对称开设有插孔5,提升机构4顶端分别插接在对应的插孔5内,以便于提升机构4顶端与对应的螺杆3的连接不受阻挡,从而提高整体结构的合理性。
如附图2所示,保温桶1两侧对称开设有安装槽,各安装槽内均安装有螺杆3,各插孔5与安装槽配合连接,且插孔5的内径尺寸大于安装槽内设置的螺杆3直径尺寸,以避免螺杆3外侧凸出于保温桶1外侧。
如附图3所示,提升机构4包括电机401,电机401设置在底板2底端中部。
转杆402,转杆402底端与电机401传动端连接。
主动带轮403,主动带轮403安装在转杆402顶端。
同步带404,同步带404套接在主动带轮403上。
两个随动带轮405,各随动带轮405分别套接在同步带404两端。
两个转筒406,各转筒406分别安装在对应的随动带轮405顶端。
转筒406顶端贯穿插过插孔5插接在安装槽内,且转筒406配合套接在对应的螺杆3上。
转筒406内开设有螺孔,且螺杆3旋接在螺孔内。
通过电机401运行,使得转杆402进行转动,从而使得主动带轮403随着进行转动,在主动带轮403转动的过程中,通过同步带404与两个随动带轮405连接,从而使得两个随动带轮405同步进行转动,从而使得两个转筒406同步同向转动,从而在螺杆3的配合下,使得两个螺杆3分别在对应的转筒406顶端同步进行升降,从而能够对两个螺杆3支撑的保温桶1进行快速顶升。
本实用新型工作原理:在利用本直拉硅单晶炉热场提升装置对单晶炉内的保温桶1进行顶升时,通过电机401运行,使得转杆402进行转动,从而使得主动带轮403随着进行转动,在主动带轮403转动的过程中,通过同步带404与两个随动带轮405连接,从而使得两个随动带轮405同步进行转动,从而使得两个转筒406同步同向转动,从而在螺杆3的配合下,使得两个螺杆3分别在对应的转筒406顶端同步进行升降,从而能够对两个螺杆3支撑的保温桶1进行快速顶升,从而起到屏蔽单晶炉主加热气热量起到降低晶体氧含量作用,以实现降低单晶氧含量,提升单晶硅棒品质,停炉提升热场,减短停炉时间,增加热场的纵向梯度,并提高单晶炉提拉速度。
本实用新型具有能够直接从保温桶1底部对保温桶1进行提升,不仅能够对热场进行提升改变,起到屏蔽单晶炉主加热气热量起到降低晶体氧含量作用,而且在提升的过程中,不需对单晶炉进行打开,从而能够避免热量散失,从而能够进行保温的优点。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种直拉硅单晶炉热场提升装置,包括保温桶(1),其特征在于:所述保温桶(1)底端支撑有底板(2),所述保温桶(1)两侧对称安装有螺杆(3),两个所述螺杆(3)共同配合连接有提升机构(4);
所述提升机构(4)包括电机(401),所述电机(401)设置在底板(2)底端中部;
转杆(402),所述转杆(402)底端与电机(401)传动端连接;
主动带轮(403),所述主动带轮(403)安装在转杆(402)顶端;
同步带(404),所述同步带(404)套接在主动带轮(403)上;
两个随动带轮(405),各所述随动带轮(405)分别套接在同步带(404)两端;
两个转筒(406),各所述转筒(406)分别安装在对应的随动带轮(405)顶端。
2.根据权利要求1所述的一种直拉硅单晶炉热场提升装置,其特征在于:所述底板(2)上对称开设有插孔(5),所述提升机构(4)顶端分别插接在对应的插孔(5)内。
3.根据权利要求1所述的一种直拉硅单晶炉热场提升装置,其特征在于:所述保温桶(1)两侧对称开设有安装槽,各所述安装槽内均安装有螺杆(3)。
4.根据权利要求2所述的一种直拉硅单晶炉热场提升装置,其特征在于:各所述插孔(5)与安装槽配合连接,且插孔(5)的内径尺寸大于安装槽内设置的螺杆(3)直径尺寸。
5.根据权利要求1所述的一种直拉硅单晶炉热场提升装置,其特征在于:所述转筒(406)顶端贯穿插过插孔(5)插接在安装槽内,且转筒(406)配合套接在对应的螺杆(3)上。
6.根据权利要求1所述的一种直拉硅单晶炉热场提升装置,其特征在于:所述转筒(406)内开设有螺孔,且螺杆(3)旋接在螺孔内。
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