CN220871690U - 一种膜片检测设备 - Google Patents

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林登江
尚允坤
刘欢
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Shenzhen Dacheng Precision Equipment Co ltd
Changzhou Dacheng Vacuum Technology Co ltd
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Shenzhen Dacheng Precision Equipment Co ltd
Changzhou Dacheng Vacuum Technology Co ltd
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Abstract

本实用新型涉及测量设备技术领域,具体涉及一种膜片检测设备。底座测量装置和面密度测量装置均固定在底座上并且沿膜片夹持机构运动轨迹布置,测量过程中测量装置不需要运动,稳定性更好,测量的精度更高。通过膜片夹持机构夹持待检测膜片,使待检测膜片通过厚度测量装置的厚度测量通道、面密度测量装置的面密度测量通道,面密度测量装置能够对待检测膜片的面密度进行测量,厚度测量装置能够对待检测膜片的厚度进行测量,面密度测量装置检测膜片的面密度变化情况,在待检测膜片上出现较小的划痕时,面密度测量装置无法检测出,而通过厚度测量装置能够检测到划痕。厚度测量装置和面密度测量装置配合,进一步提高了膜片质量的检测精度。

Description

一种膜片检测设备
技术领域
本实用新型涉及测量设备技术领域,具体涉及一种膜片检测设备。
背景技术
电池极片的涂布质量对电池影响较大,在电池生产中,同行需要对电池极片的涂布质量进行测量,以判断电池极片的质量变化。
极片涂布及辊压工序时,为保证涂布及辊压质量以及验证在线测量的可靠性,需要对初始涂布及辊压的极片取样,并进行更高精度的检测,而目前已有的极片测量设备尚无法达到需要的测量精度。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种膜片检测设备,用于解决目前对膜片质量检测精度低的技术问题。
第一方面,一种实施例中提供一种膜片检测设备,包括:
底座;
膜片夹持机构,所述膜片夹持机构用于夹持待检测膜片,所述膜片夹持机构活动配置在所述底座上,所述底座上设有导向结构,所述导向结构用于引导所述膜片夹持机构在所述底座上运动;
厚度测量装置,所述厚度测量装置包括第一激光测距模块和第二激光测距模块;所述第一激光测距模块与所述第二激光测距模块相对布置,且二者之间具有供所述膜片夹持机构通过的厚度测量通道;所述第一激光测距模块与所述第二激光测距模块配合用于检测所述待检测膜片的厚度;
面密度测量装置,所述面密度测量装置包括射线发射器和射线接收器,所述射线发射器与所述射线接收器相对布置,且二者之间具有供所述膜片夹持机构通过的面密度测量通道;
所述面密度测量装置和所述厚度测量装置均固定在底座上,并沿所述膜片夹持机构的运动轨迹延伸方向上布置,以使所述膜片夹持机构在运动行程中能够通过所述厚度测量通道检测所述待检测膜片的厚度,且能够通过所述面密度测量通道检测所述待检测膜片的面密度。
进一步的,一种实施例中,所述膜片夹持机构包括夹持基座和夹持件,所述夹持基座配置在所述底座上,所述夹持件用于夹持所述待检测膜片,所述夹持件可拆卸配置在所述夹持基座上。
更进一步的,一种实施例中,所述夹持件包括膜片托盘和与所述膜片托盘磁吸固定的磁吸夹紧件,所述托盘具有供射线和激光通过的托盘孔,所述磁吸夹紧件用于将所述待检测膜片夹紧在所述托盘上。
更进一步的,一种实施例中,所述磁吸夹紧件有至少两个,至少一个磁吸夹紧件为第一磁吸夹紧件,至少一个磁吸夹紧件为第二磁吸夹紧件,所述第一磁吸夹紧件用于固定所述待检测膜片的第一侧边,所述第二磁吸夹紧件用于固定所述待检测膜片上与所述第一侧边相对的第二侧边;所述第一磁吸夹紧件和第二磁吸夹紧件中至少一个能够相对所述膜片托盘滑动,以能够将所述待检测膜片拉平张紧。
进一步的,一种实施例中,所述夹持件包括膜片托盘和配置在所述膜片托盘上的夹紧件,所述夹紧件用于将所述待检测膜片夹紧在所述膜片托盘上,所述膜片托盘具有供射线和激光通过的托盘孔,所述夹持基座具有托盘槽,所述膜片托盘可拆卸安装在所述托盘槽中。
更进一步的,一种实施例中,所述膜片夹持机构包括安装在所述夹持基座上的顶紧件和对所述顶紧件施加顶紧作用力的弹性件,所述顶紧件用于顶紧所述膜片托盘,所述顶紧件对所述膜片托盘施加的顶紧作用力方向与所述膜片夹持机构的运动方向一致。
进一步的,一种实施例中,所述膜片检测设备包括驱动所述膜片夹持机构运动的膜片驱动机构。
更进一步的,一种实施例中,所述膜片驱动机构包括驱动带和与所述驱动带适配的带轮,所述膜片夹持机构与所述驱动带连接,以使所述驱动带带动所述膜片夹持机构往复运动。
进一步的,一种实施例中,所述导向结构为直线导向结构,所述直线导向结构用于引导所述膜片夹持机构在所述底座上往复直线运动。
进一步的,一种实施例中,膜片夹持机构具有用于夹持待检测膜片的膜片安装结构,膜片安装结构处具有供检测射线和激光通过的检测通道。
根据上述实施例的膜片检测设备,底座测量装置和面密度测量装置均固定在底座上并且沿膜片夹持机构运动轨迹布置,测量过程中测量装置不需要运动,稳定性更好,测量的精度更高。通过膜片夹持机构夹持待检测膜片,使待检测膜片通过厚度测量装置的厚度测量通道、面密度测量装置的面密度测量通道,面密度测量装置能够对待检测膜片的面密度进行测量,厚度测量装置能够对待检测膜片的厚度进行测量,面密度测量装置检测膜片的面密度变化情况,在待检测膜片上出现较小的划痕时,面密度测量装置无法检测出,而通过厚度测量装置能够检测到划痕。厚度测量装置和面密度测量装置配合,进一步提高了膜片质量的检测精度。
附图说明
图1是一种实施例中膜片检测设备的轴测图;
图2是一种实施例中膜片检测设备另一个视角的轴测图;
图3是图2中A部分的放大图;
图4是一种实施例中膜片检测设备的主视图;
图5是一种实施例中膜片检测设备的俯视图;
图6是一种实施例中膜片检测设备的局部结构示意图。
图中附图标记对应的特征名称列表:1、底座;2、膜片夹持机构;21、夹持基座;211、托盘槽;212、顶紧件安装槽;213、顶紧件挡止块;214、挡盖;22、夹持件;221、膜片托盘;2211、托盘孔;2212、膜片安装槽;2213、第一槽底部分;2214、第二槽底部分;222、夹紧件;2221、第一磁吸夹紧件;2222、第二磁吸夹紧件;23、顶紧件;24、弹性件;3、厚度测量装置;31、第一激光测距模块;32、第二激光测距模块;33、厚度测量通道;34、厚度测量安装架;4、面密度测量装置;41、射线发射器;42、射线接收器;43、面密度测量通道;44、面密度安装架;5、导向结构;61、驱动带;611、一级驱动带;612、二级驱动带;62、带轮;621、一级带轮;622、二级带轮;623、三级带轮;7、驱动电机。
关于附图中带括号的附图标记的说明:附图中带括号的附图标记中,该附图标记所指的特征既是括号内数字所代表的特征,也是括号外的数字所代表的特征。
具体实施方式
下面通过具体实施方式结合附图对本发明作进一步详细说明。其中不同实施方式中类似元件采用了相关联的类似的元件标号。在以下的实施方式中,很多细节描述是为了使得本申请能被更好的理解。然而,本领域技术人员可以毫不费力的认识到,其中部分特征在不同情况下是可以省略的,或者可以由其他元件、材料、方法所替代。在某些情况下,本申请相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述,这是为了避免本申请的核心部分被过多的描述所淹没,而对于本领域技术人员而言,详细描述这些相关操作并不是必要的,他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。
另外,说明书中所描述的特点、操作或者特征可以以任意适当的方式结合形成各种实施方式。同时,方法描述中的各步骤或者动作也可以按照本领域技术人员所能显而易见的方式进行顺序调换或调整。因此,说明书和附图中的各种顺序只是为了清楚描述某一个实施例,并不意味着是必须的顺序,除非另有说明其中某个顺序是必须遵循的。
本文中为部件所编序号本身,例如“第一”、“第二”等,仅用于区分所描述的对象,不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”,如无特别说明,均包括直接和间接连接(联接)。
端是指处于端部的区域,可以理解为处于端部具有一段长度的区域,而并不仅限于端面。
一种实施例中,请参考图1至图6,膜片检测设备包括底座1、膜片夹持机构2、厚度测量装置3和面密度测量装置4。
膜片夹持机构2用于夹持待检测膜片,膜片夹持机构2活动配置在底座1上,底座1上设有导向结构5,导向结构5用于引导膜片夹持机构2在底座1上运动。关于导向结构5,可以采用任意可行的方式,比如导向结构5可以是导轨、导槽或者导向轮,膜片夹持机构2具有与导向结构5适配的导向适配结构,比如导向结构5为导轨时,导向适配结构可以采用导向轮、导向槽等,再比如导向结构5使用导向槽时,导向适配结构可以采用导向轮、导轨等。
厚度测量装置3包括第一激光测距模块31和第二激光测距模块32。第一激光测距模块31与第二激光测距模块32相对布置,且第一激光测距模块31与第二激光测距模块32之间具有供膜片夹持机构2通过的厚度测量通道33。第一激光测距模块31与第二激光测距模块32配合用于检测待检测膜片的厚度。一种实施例中,第一激光测距模块31和第二激光测距模块32采用激光测距仪。
一种实施例中,第一激光测距模块31发射的激光所在直线与第二激光测距模块32发射的测量激光所在直线重合,这样能够使第一激光测距模块31与第二激光测距模块32对待检测膜片的同一个位置检测,从而更方便得出待检测膜片的厚度。一些其他的实施例中,第一激光测距模块31发射的激光所在直线与第二激光测距模块32发射的测量激光所在直线也可以平行,此时需要对测量的数据进行处理,第一激光测距模块31对待检测膜片上各点的测量数据与第二激光测距模块32对待检测膜片上各点的测量数据一一对应,同一个测量点处的数据进行处理后获得该测量点的膜片厚度。
面密度测量装置4包括射线发射器41和射线接收器42,射线发射器41与射线接收器42相对布置,且二者之间具有供膜片夹持机构2通过的面密度测量通道43。射线发射器41发出的射线穿过待检测膜片后被射线接收器42接收,根据射线的参数能够获得被检测点处的面密度。面密度即单位面积的重量。
面密度测量装置4和厚度测量装置3均固定在底座1上,并沿膜片夹持机构2的运动轨迹布置,以使膜片夹持机构2在运动行程中能够通过厚度测量通道33检测待检测膜片的厚度,且能够通过面密度测量通道43检测待检测膜片的面密度。
本申请的膜片检测设备对待检测膜片测量过程中,面密度测量装置4和厚度测量装置3不需要运动,稳定性更好,测量的精度更高。通过膜片夹持机构2夹持待检测膜片膜片,带动待检测膜片通过面密度测量通道43和厚度测量通道33,对待检测膜片的面密度和厚度进行测量,面密度测量装置能够检测膜片的面密度,在待检测膜片上出现较小的划痕时,面密度测量装置无法检测出,由于待检测膜片上划痕所在位置的厚度有变化,因此通过厚度测量装置能够检测出划痕。厚度测量装置和面密度测量装置配合,进一步提高了膜片质量的检测精度。
一种实施例中,请参考图1至图6,导向结构5为直线导向结构,直线导向结构用于引导膜片夹持机构2在底座1上往复直线运动。膜片夹持机构沿直线运动,运行更平稳。一些其他的实施例中,膜片夹持机构2也可以沿曲线往复运动,膜片夹持机构2也可以作旋转运动。
进一步的,一种实施例中,厚度测量装置3的检测点和面密度测量装置4的检测点能够对应,厚度测量装置3的测量点与面密度测量装置4的测量点均处于膜片夹持机构2的运动轨迹上,并且能够对待检测膜片上同一个点位进行测量。这样对待检测膜片检测完成后,待检测膜片的一个测量点处既有厚度数据,也有面密度数据,通过两个数据能够精准判断出膜片的质量,提高检测的精准度。一些其他的实施例中,由于待检测膜片厚度较均匀,厚度测量装置3与面密度测量装置4也可以不对同一个测量点进行测量,只需要对两个测量装置各自的数据进行整理即可。
一种实施例中,膜片夹持机构2具有用于夹持待检测膜片的膜片安装结构,膜片安装结构处具有供检测射线穿过的检测通道。膜片夹持机构2可以采用任意可行的方式,比如,一种实施例中,膜片夹持机构2的膜片安装结构包括夹持基座21和夹持件22,夹持基座21配置在底座1上。夹持件22用于夹持待检测膜片,夹持件22可拆卸配置在夹持基座21上。再比如,一些其他的实施例中,夹持件22也可以与夹持基座21采用不可拆卸的结构,比如直接将待检测膜片夹持在夹持基座21上。
具体的,一种实施例中,检测通道包括处于夹持基座21上的基座通道和处于夹持件22上的夹持件通道,基座通道与夹持件通道贯通,供检测射线和激光通过对待检测膜片进行检测。一些其他的实施例中,膜片夹持机构2也可以通过两个夹持悬臂夹持,此时膜片夹持机构2无需设置检测通道,射线和激光从夹持机构的一侧通过。
为了方便待检测膜片的安装和拆卸,进一步的,一种实施例中,请参考图1至图3,夹持件22包括膜片托盘221和配置在膜片托盘221上的夹紧件222,夹紧件222用于将待检测膜片夹紧在膜片托盘221上,膜片托盘221具有供射线和激光通过的托盘孔2211,托盘孔2211形成夹持件22上的夹持件通道。
一种实施例中,请参考图1至图3,夹紧件222为与膜片托盘221磁吸固定的磁吸夹紧件。具体的,夹紧件222包括夹紧块和固定在夹紧块上的磁铁(图中未显示),磁铁嵌装在夹紧块中。本实施例中,膜片托盘221为能够与磁铁相吸的磁性金属制成。一些其他的实施例中,膜片托盘221中也设置磁铁,该磁铁与磁吸夹紧件222中的磁铁相吸。一些其他的实施例中,也可以在膜片托盘221中设置磁铁,而磁性夹紧件222由磁性金属制成。磁性金属即能够被磁铁吸附的金属。
更进一步的,一种实施例中,请参考图2至图5,磁吸夹紧件222有至少两个,至少一个磁吸夹紧件222为第一磁吸夹紧件2221,至少一个磁吸夹紧件222为第二磁吸夹紧件2222,第一磁吸夹紧件2221用于固定膜片的第一侧边,第二磁吸夹紧件2222用于固定膜片上与第一侧边相对的第二侧边;第一磁吸夹紧件2221和第二磁吸夹紧件中至少一个能够相对膜片托盘221滑动,以能够膜片拉平张紧。通过第一磁吸夹紧件2221和第二磁吸夹紧件2222能够将待检测膜片拉平,方便待检测膜片的安装。一些实施例中,磁吸夹紧件可以与膜片托盘活动连接,具体比如可以是铰接在膜片托盘上。
一种实施例中,磁吸夹紧件222与膜片托盘221可以分离并且依靠磁吸固定。
一些其他的实施例中,磁性夹紧件222的数量也可以是一个,此时磁芯夹紧件222呈框形。一些其他的实施例中,磁性夹紧件222的数量也可以是多个,此时通过多个磁性夹紧件222将待检测膜片夹紧固定在膜片托盘221上。
具体的,一种实施例中,请参考图2至图5,膜片托盘221具有膜片安装槽2212,第一磁吸夹紧件2221和第二磁吸夹紧件2222均吸附在膜片安装槽2212的槽底。托盘孔2211处于膜片安装槽2212的槽底,第一磁吸夹紧件2221处于托盘孔2211的一侧,第二磁吸夹紧件2222处于托盘孔2211的另一侧。
在第一磁吸夹紧件2221与第二磁吸夹紧件2222布置方向上,膜片安装槽2212的槽底处于托盘孔2211一侧的部分为第一槽底部分2213,处于托盘孔2211另一侧的部分为第二槽底部分2214,第一槽底部分2213与第一磁吸夹紧件2221相吸,第二槽底部分2214与第二磁吸夹紧件2222相吸。为了便于磁吸夹紧件222在宽度方向上将待检测膜片拉平,第一槽底部分2213的宽度大于第一磁吸夹紧件2221的宽度,第二槽底部分2214的宽度大于第二磁吸夹紧件2222的宽度。
进一步的,一种实施例中,请参考图3至图6,夹持基座21具有托盘槽211,膜片托盘221可拆卸安装在托盘槽211中。这样膜片夹持机构2的整体厚度较小,便于通过测量通道,另外也方便膜片托盘221的拆卸,能够将膜片托盘221拆下后在工作台装上待检测膜片,提高待检测膜片的安装效率。
为了进一步方便膜片托盘221的拆卸,更进一步的,一种实施例中,请参考图5和图6,膜片夹持机构2包括安装在夹持基座21上的顶紧件23和对顶紧件23施加顶紧作用力的弹性件24,顶紧件23用于顶紧膜片托盘221,顶紧件23对膜片托盘221施加的顶紧作用力方向与膜片夹持机构2的运动方向一致。这样在膜片夹持机构2往复运动的过程中,膜片托盘221不容易晃动。
进一步的,一种实施例中,请参考图5和图6,弹性件24为螺旋弹簧,螺旋弹簧安装在夹持基座21与顶紧件23之间。为了防止顶紧件23脱离夹持基座21,夹持基座21具有顶紧件安装槽212,顶紧件23装在顶紧件安装槽212中,顶紧件安装槽212中有限制顶紧件23被顶出的顶紧件挡止块213,顶紧件安装槽212的槽口处有限制顶紧件23脱出的挡盖214。
一种实施例中,膜片检测设备包括驱动膜片夹持机构2运动的膜片驱动机构。其中膜片驱动机构可以采用任意可行的方式,比如丝杠螺母机构、齿轮齿条机构,除此之外,一种实施例中,请参考图1、图2、图4和图5,膜片驱动机构包括驱动带61和与驱动带61适配的带轮62,驱动带61与膜片夹持机构2连接,以带动膜片夹持机构2往复运动。一些其他的实施例中,膜片夹持机构2也可以由人工推动往复运动。
具体的,一种实施例中,请参考图1、图2、图4和图5,带轮62为同步带轮,驱动带61为同步带。通过带轮62和驱动带61传动,能够减小振动的传递。
一种实施例中,请参考图5,带轮62包括一级带轮621、二级带轮622和三级带轮623,驱动带61包括一级驱动带611和二级驱动带612,一级驱动带611连接一级带轮621和二级带轮622,二级驱动带612由三级带轮623驱动。二级带轮622和三级带轮623同轴固定。二级驱动带612与膜片夹持机构的膜片基座连接,一级带轮621与驱动电机7连接,二级带轮622由一级带轮621带动旋转,并且一级带轮621的直径小于二级带轮622的直径,二级带轮622的直径大于三级带轮623的直径,实现减速传动。
一些其他的实施例中,膜片驱动机构还可以是移动小车,移动小车自带驱动电机和驱动轮,基座上设有与驱动轮适配的导轨,通过控制驱动电机,使移动小车按照要求行走,膜片夹持机构2安装在移动小车的车架上。
一种实施例中,请参考图1和图2,厚度测量装置3包括厚度测量安装架34,第一激光测距模块31和第二激光测距模块32均安装在厚度测量安装架34上,厚度测量安装架34固定在底座1上。面密度测量装置4包括面密度安装架44,射线发射器41和射线接收器42均安装在面密度安装架44上,面密度安装架44固定在底座1上。由于底座1测量装置和面密度测量装置4均固定在底座1上,测量过程中不需要运动,测量的精度更高。
一种实施例中,请参考图1和图2,膜片夹持机构2运动行程中具有初始位置,厚度测量装置3的位置处于膜片夹持机构2的初始位置与面密度测量装置4的位置之间。当然,一些其他的实施例中,也可以使面密度测量装置4的位置处于膜片夹持机构2的初始位置与厚度测量装置3的位置之间。
一种实施例中,请参考图1至图6,膜片检测设备的检测过程如下:
利用夹紧件222将待检测膜片固定在膜片托盘221上,将第一磁吸夹紧件2221固定膜片的第一侧边,然后将第二磁吸夹紧件2222压在待测膜片上,向远离第一磁吸夹紧件2221的方向运动,将待测膜片拉平。通过顶紧件23将膜片托盘221固定在托盘槽211中,完成待测膜片的安装。启动膜片驱动机构,带动膜片夹持机构2向厚度测量装置3和面密度测量装置4运动,使膜片夹持机构2顺次通过厚度测量通道33和面密度测量通道43,完成对待检测膜片的检测。获取到待检测膜片的厚度数据和面密度数据,根据获取到的数据判断待测膜片的质量。
以上应用了具体个例对本发明进行阐述,只是用于帮助理解本发明,并不用以限制本发明。对于本发明所属技术领域的技术人员,依据本发明的思想,还可以做出若干简单推演、变形或替换。

Claims (10)

1.一种膜片检测设备,其特征在于,包括:
底座;
膜片夹持机构,所述膜片夹持机构用于夹持待检测膜片,所述膜片夹持机构活动配置在所述底座上,所述底座上设有导向结构,所述导向结构用于引导所述膜片夹持机构在所述底座上运动;
厚度测量装置,所述厚度测量装置包括第一激光测距模块和第二激光测距模块;所述第一激光测距模块与所述第二激光测距模块相对布置,且二者之间具有供所述膜片夹持机构通过的厚度测量通道;所述第一激光测距模块与所述第二激光测距模块配合用于检测所述待检测膜片的厚度;
面密度测量装置,所述面密度测量装置包括射线发射器和射线接收器,所述射线发射器与所述射线接收器相对布置,且二者之间具有供所述膜片夹持机构通过的面密度测量通道;
所述面密度测量装置和所述厚度测量装置均固定在所述底座上,并沿所述膜片夹持机构的运动轨迹布置,以使所述膜片夹持机构在运动行程中能够通过所述厚度测量通道检测所述待检测膜片的厚度,且能够通过所述面密度测量通道检测所述待检测膜片的面密度。
2.如权利要求1所述的膜片检测设备,其特征在于,所述膜片夹持机构包括夹持基座和夹持件,所述夹持基座配置在所述底座上,所述夹持件用于夹持所述待检测膜片,所述夹持件可拆卸配置在所述夹持基座上。
3.如权利要求2所述的膜片检测设备,其特征在于,所述夹持件包括膜片托盘和与所述膜片托盘磁吸固定的磁吸夹紧件,所述托盘具有供射线和激光通过的托盘孔,所述磁吸夹紧件用于将所述待检测膜片夹紧在所述托盘上。
4.如权利要求3所述的膜片检测设备,其特征在于,所述磁吸夹紧件有至少两个,至少一个磁吸夹紧件为第一磁吸夹紧件,至少一个磁吸夹紧件为第二磁吸夹紧件,所述第一磁吸夹紧件用于固定所述待检测膜片的第一侧边,所述第二磁吸夹紧件用于固定所述待检测膜片上与所述第一侧边相对的第二侧边;所述第一磁吸夹紧件和第二磁吸夹紧件中至少一个能够相对所述膜片托盘滑动,以能够将所述待检测膜片拉平张紧。
5.如权利要求2所述的膜片检测设备,其特征在于,所述夹持件包括膜片托盘和配置在所述膜片托盘上的夹紧件,所述夹紧件用于将所述待检测膜片夹紧在所述膜片托盘上,所述膜片托盘具有供射线和激光通过的托盘孔,所述夹持基座具有托盘槽,所述膜片托盘可拆卸安装在所述托盘槽中。
6.如权利要求5所述的膜片检测设备,其特征在于,所述膜片夹持机构包括安装在所述夹持基座上的顶紧件和对所述顶紧件施加顶紧作用力的弹性件,所述顶紧件用于顶紧所述膜片托盘,所述顶紧件对所述膜片托盘施加的顶紧作用力方向与所述膜片夹持机构的运动方向一致。
7.如权利要求1-6任意一项所述的膜片检测设备,其特征在于,所述膜片检测设备包括驱动所述膜片夹持机构运动的膜片驱动机构。
8.如权利要求7所述的膜片检测设备,其特征在于,所述膜片驱动机构包括驱动带和与所述驱动带适配的带轮,所述膜片夹持机构与所述驱动带连接,以使所述驱动带带动所述膜片夹持机构往复运动。
9.如权利要求1-6任意一项所述的膜片检测设备,其特征在于,所述导向结构为直线导向结构,所述直线导向结构用于引导所述膜片夹持机构在所述底座上往复直线运动。
10.如权利要求1-6任意一项所述的膜片检测设备,其特征在于,膜片夹持机构具有用于夹持待检测膜片的膜片安装结构,膜片安装结构处具有供检测射线和激光通过的检测通道。
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