CN220867501U - 一种用于晶圆镀膜的载具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆镀膜加工技术领域，公开了一种用于晶圆镀膜的载具，包括箱体，所述箱体上设置有热蒸机构和冷却机构；所述热蒸机构包括转动组件和若干个夹持组件，所述转动组件包括固定安装在箱体上的若干个支撑腿，所述箱体的顶部固定安装有铰接杆，所述铰接杆上铰接安装有箱门，所述箱体的两侧内壁上分别固定安装有加热器，所述箱体的底部内壁上转动安装有转轴一。本实用新型可以通过设置夹持组件，使得能够将晶圆放置到放置槽内，再通过螺纹杆的转动带动夹持块对晶圆进行稳固夹持，增强晶圆稳定性，通过设置风机组件，使得能够通过风机对热蒸好的晶圆进行吹风冷却，再配合电机对晶圆进行均匀冷却的一种用于晶圆镀膜的载具。

Description

一种用于晶圆镀膜的载具

技术领域

本实用新型涉及晶圆镀膜加工技术领域，尤其涉及一种用于晶圆镀膜的载具。

背景技术

蒸镀作为使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，是将材料在真空环境中加热，使之气化并沉积到基片而获得薄膜材料的方法，又称为真空蒸镀或真空镀膜。晶圆作为制造半导体芯片的基本材料，其加工过程中，需要在其表面蒸镀上具有特定功能的膜层，该过程一般在真空蒸镀机中完成，在真空蒸镀机中，晶圆通常被置于镀膜载具上，由镀膜载具上的托爪支撑住晶圆的边缘，为了保证镀膜质量，在蒸镀时晶圆远离镀膜面的一侧会设置一个冷却板，晶圆置于镀膜载具中的托爪上后，冷却板则紧贴晶圆的外侧表面，以降低晶圆的温度。

相关技术中，公开了公开号为CN115662938A的一种晶圆镀膜载具，涉及晶圆镀膜加工领域，该镀膜载具包括：支承件，其具有至少一个上下贯通的容置区；以及托爪，多个托爪分布于容置区的边缘，且托爪的前端伸入到容置区的区域内；以及间隔物，其具有多个，多个间隔物设置于支承件上，且分布在容置区的外围；间隔物凸出于支承件上的支承面，且超出支承面的部分的高度不超过1mm。

该装置在完成晶圆镀膜后不能够对晶圆进行均匀的冷却，不能均匀冷却会导致对晶圆的质量产生影响，局部易碎等风险。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种用于晶圆镀膜的载具，包括箱体，所述箱体上设置有热蒸机构和冷却机构；

所述热蒸机构包括转动组件和若干个夹持组件，所述转动组件包括固定安装在箱体上的若干个支撑腿，所述箱体的顶部固定安装有铰接杆，所述铰接杆上铰接安装有箱门，所述箱体的两侧内壁上分别固定安装有加热器，所述箱体的底部内壁上转动安装有转轴一，所述箱体的底部固定安装有电机，所述转轴一的底端延伸至箱体外并与电机的输出轴固定连接，所述箱体的底部转动安装有转轴二，所述转轴二的顶端固定安装有圆盘，所述转轴一和转轴二上分别固定套设有皮带轮，两个所述皮带轮上缠绕有同步皮带。

进一步地，所述箱体的底部内壁上开设有环形滑槽，所述圆盘的底部固定安装有若干个滑杆一，若干个所述滑杆一均延伸至环形滑槽内并均与环形滑槽滑动连接。

进一步地，所述圆盘顶部开设有圆形槽，所述圆形槽的顶部固定安装有圆杆，所述圆杆的顶部固定安装有圆形安装块，所述圆形槽的内壁上固定安装有环形安装块。

进一步地，所述夹持组件包括分别转动安装在圆形安装块和环形安装块顶部的螺纹杆，所述螺纹杆上螺纹套设有夹持块，所述环形安装块和圆形安装块的顶部分别固定安装有滑杆二，所述滑杆二贯穿夹持块并与夹持块滑动连接，所述螺纹杆的顶部固定安装有拧块，所述环形安装块和圆形安装块的顶部分别开设有放置槽。

进一步地，所述冷却机构包括两个通风组件和风机组件，所述通风组件包括开设在箱体一侧外壁上的矩形槽，所述矩形槽的两侧内壁上分别开设有若干个通气孔，所述矩形槽内滑动安装有矩形挡块，所述矩形挡块的一端延伸至矩形槽外。

进一步地，所述风机组件包括固定安装在箱体一侧外壁上的风机，所述风机的底部固定安装有风管一，所述风机的顶部固定转轴二安装有风管二，所述风管二的一端固定安装有风罩，所述风罩与箱体的一侧固定连接。

相比现有技术，本实用新型的有益效果在于：

通过设置环形滑槽和滑杆一，使得能够在圆盘转动的过程中更加稳定，滑杆一可以起到支撑作用，避免重心不稳出现倾斜的现象；通过设置环形安装块和圆形安装块，使得能够减小圆盘的晃动以及增加热蒸和冷却的速率，避免在工作的过程中出现晃动影响到晶圆；通过设置夹持组件，使得能够将晶圆放置到放置槽内，再通过螺纹杆的转动带动夹持块对晶圆进行稳固夹持，增强晶圆的稳定性；通过设置通风组件，使得能够在热蒸的时候将通气孔闭合，保持箱体内的真空状态，也可以在冷却时打开通气孔，对晶圆进行冷却吹风；通过设置风机组件，使得能够通过风机对热蒸好的晶圆进行吹风冷却，再配合电机对晶圆进行均匀的冷却。

附图说明

图1为本实用新型一种用于晶圆镀膜的载具的整体结构示意图；

图2为本实用新型一种用于晶圆镀膜的载具的侧面剖视结构示意图；

图3为本实用新型中固定机构的结构示意图；

图4为本实用新型中冷却机构的结构示意图。

主要符号说明：

1、箱体；2、支撑腿；3、铰接杆；4、箱门；5、加热器；6、转轴一；7、电机；8、转轴二；9、圆盘；10、皮带轮；11、同步皮带；12、环形滑槽；13、滑杆一；14、圆形槽；15、圆杆；16、圆形安装块；17、环形安装块；18、螺纹杆；19、夹持块；20、滑杆二；21、拧块；22、放置槽；23、矩形槽；24、通气孔；25、矩形挡块；26、风机；27、风管一；28、风管二；29、风罩。

具体实施方式

下面，结合附图以及具体实施方式，对本实用新型做进一步描述，需要说明的是，在不相冲突的前提下，以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例。

请结合图1至图4，本实施例的一种用于晶圆镀膜的载具，包括箱体1，箱体1上设置有热蒸机构和冷却机构；

热蒸机构包括转动组件和若干个夹持组件，转动组件包括固定安装在箱体1上的若干个支撑腿2，箱体1的顶部固定安装有铰接杆3，铰接杆3上铰接安装有箱门4，箱体1的两侧内壁上分别固定安装有加热器5，箱体1的底部内壁上转动安装有转轴一6，箱体1的底部固定安装有电机7，转轴一6的底端延伸至箱体1外并与电机7的输出轴固定连接，箱体1的底部转动安装有转轴二8，转轴二8的顶端固定安装有圆盘9，转轴一6和转轴二8上分别固定套设有皮带轮10，两个皮带轮10上缠绕有同步皮带11。

如图2所示，箱体1的底部内壁上开设有环形滑槽12，圆盘9的底部固定安装有若干个滑杆一13，若干个滑杆一13均延伸至环形滑槽12内并均与环形滑槽12滑动连接。

通过设置环形滑槽12和滑杆一13，使得能够在圆盘9转动的过程中更加稳定，滑杆一13可以起到支撑作用，避免重心不稳出现倾斜的现象。

如图2所示，圆盘9顶部开设有圆形槽14，圆形槽14的顶部固定安装有圆杆15，圆杆15的顶部固定安装有圆形安装块16，圆形槽14的内壁上固定安装有环形安装块17。

通过设置环形安装块17和圆形安装块16，使得能够减小圆盘9的晃动以及增加热蒸和冷却的速率，避免在工作的过程中出现晃动影响到晶圆。

如图3和图4所示，夹持组件包括分别转动安装在圆形安装块16和环形安装块17顶部的螺纹杆18，螺纹杆18上螺纹套设有夹持块19，环形安装块17和圆形安装块16的顶部分别固定安装有滑杆二20，滑杆二20贯穿夹持块19并与夹持块19滑动连接，螺纹杆18的顶部固定安装有拧块21，环形安装块17和圆形安装块16的顶部分别开设有放置槽22。

通过设置夹持组件，使得能够将晶圆放置到放置槽22内，再通过螺纹杆18的转动带动夹持块19对晶圆进行稳固夹持，增强晶圆的稳定性。

如图4所示，冷却机构包括两个通风组件和风机组件，通风组件包括开设在箱体1一侧外壁上的矩形槽23，矩形槽23的两侧内壁上分别开设有若干个通气孔24，矩形槽23内滑动安装有矩形挡块25，矩形挡块25的一端延伸至矩形槽23外。

通过设置通风组件，使得能够在热蒸的时候将通气孔24闭合，保持箱体1内的真空状态，也可以在冷却时打开通气孔24，对晶圆进行冷却吹风。

如图1和图4所示，风机组件包括固定安装在箱体1一侧外壁上的风机26，风机26的底部固定安装有风管一27，风机26的顶部固定转轴二8安装有风管二28，风管二28的一端固定安装有风罩29，风罩29与箱体1的一侧固定连接。

通过设置风机组件，使得能够通过风机26对热蒸好的晶圆进行吹风冷却，再配合电机7对晶圆进行均匀的冷却。

本申请实施例中一种用于晶圆镀膜的载具的实施原理为：

第一步骤：将晶圆放置到放置槽22内，拧动拧块21,拧块21带动螺纹杆18转动，螺纹杆18带动夹持块19下降对晶圆进行稳固夹持；

第二步骤：关闭箱门4，启动风机26将箱体1内的空气抽干，将矩形挡块25推入矩形槽23内，使箱体1内为真空状态，再进行加热，启动电机7,电机7带动转轴一6转动，转轴一6在皮带轮10和同步皮带11的作用下带动圆盘9转动，对晶圆进行均匀加热；

第三步骤：加热完毕后，拉出矩形挡块25，启动风机26向箱体1内吹风，在电机7的作用下，风机26对箱体1内的晶圆进行均匀冷却。

上述实施方式仅为本实用新型的优选实施方式，不能以此来限定本实用新型保护的范围，本领域的技术人员在本实用新型的基础上所做的任何非实质性的变化及替换均属于本实用新型所要求保护的范围。

Claims (6)

1.一种用于晶圆镀膜的载具，其特征在于，包括箱体(1)，所述箱体(1)上设置有热蒸机构和冷却机构；

所述热蒸机构包括转动组件和若干个夹持组件，所述转动组件包括固定安装在箱体(1)上的若干个支撑腿(2)，所述箱体(1)的顶部固定安装有铰接杆(3)，所述铰接杆(3)上铰接安装有箱门(4)，所述箱体(1)的两侧内壁上分别固定安装有加热器(5)，所述箱体(1)的底部内壁上转动安装有转轴一(6)，所述箱体(1)的底部固定安装有电机(7)，所述转轴一(6)的底端延伸至箱体(1)外并与电机(7)的输出轴固定连接，所述箱体(1)的底部转动安装有转轴二(8)，所述转轴二(8)的顶端固定安装有圆盘(9)，所述转轴一(6)和转轴二(8)上分别固定套设有皮带轮(10)，两个所述皮带轮(10)上缠绕有同步皮带(11)。

2.如权利要求1所述的一种用于晶圆镀膜的载具，其特征在于，所述箱体(1)的底部内壁上开设有环形滑槽(12)，所述圆盘(9)的底部固定安装有若干个滑杆一(13)，若干个所述滑杆一(13)均延伸至环形滑槽(12)内并均与环形滑槽(12)滑动连接。

3.如权利要求2所述的一种用于晶圆镀膜的载具，其特征在于，所述圆盘(9)顶部开设有圆形槽(14)，所述圆形槽(14)的顶部固定安装有圆杆(15)，所述圆杆(15)的顶部固定安装有圆形安装块(16)，所述圆形槽(14)的内壁上固定安装有环形安装块(17)。

4.如权利要求3所述的一种用于晶圆镀膜的载具，其特征在于，所述夹持组件包括分别转动安装在圆形安装块(16)和环形安装块(17)顶部的螺纹杆(18)，所述螺纹杆(18)上螺纹套设有夹持块(19)，所述环形安装块(17)和圆形安装块(16)的顶部分别固定安装有滑杆二(20)，所述滑杆二(20)贯穿夹持块(19)并与夹持块(19)滑动连接，所述螺纹杆(18)的顶部固定安装有拧块(21)，所述环形安装块(17)和圆形安装块(16)的顶部分别开设有放置槽(22)。

5.如权利要求1所述的一种用于晶圆镀膜的载具，其特征在于，所述冷却机构包括两个通风组件和风机组件，所述通风组件包括开设在箱体(1)一侧外壁上的矩形槽(23)，所述矩形槽(23)的两侧内壁上分别开设有若干个通气孔(24)，所述矩形槽(23)内滑动安装有矩形挡块(25)，所述矩形挡块(25)的一端延伸至矩形槽(23)外。

6.如权利要求5所述的一种用于晶圆镀膜的载具，其特征在于，所述风机组件包括固定安装在箱体(1)一侧外壁上的风机(26)，所述风机(26)的底部固定安装有风管一(27)，所述风机(26)的顶部固定转轴二(8)安装有风管二(28)，所述风管二(28)的一端固定安装有风罩(29)，所述风罩(29)与箱体(1)的一侧固定连接。