CN220863024U - 多波长激光切换机构及多波长激光划线设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，公开了多波长激光切换机构及多波长激光划线设备，多波长激光切换机构包括安装座、激发光源、转盘及驱动机构。激发光源连接于安装座的一侧；转盘设于激发光源的出射光一侧，转盘转动连接于安装座，在转盘内设有至少两个不同波长的光路系统，光路系统围绕转盘的中心间隔设置，转盘适于通过自转以使不同波长的光路系统分别位于激发光源的出射路径；驱动机构和转盘连接。本实用新型提升了切换激光的便捷性，简化了激光刻蚀工作，通过转动转盘，将光路系统和激发光源对齐即可，无需再反复安装不同的光路系统，实现不同波长激光的灵活切换，大大降低了不同波长的激光在切换时的对位误差，有利于激光刻蚀的精度控制。

Description

多波长激光切换机构及多波长激光划线设备

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，具体涉及多波长激光切换机构及多波长激光划线设备。

背景技术

加快清洁能源开发利用是实现“双碳”目标有效途径。太阳能作为重要的清洁能源，其开发利用始终是学界和业界关注的热点。近年来，钙钛矿太阳能电池发展迅速，其认证的光电转换效率屡创新高，已然成为当前光伏研究领域的热点。凭借材料成本低、制备工艺简单、带隙可调、可与市场上的其他光伏技术进行叠层制备更高性能的光伏器件等优势，钙钛矿太阳能电池的研发与商业化进程受到了越来越多科研人员与厂商的关注。

钙钛矿太阳能电池主要由透明电极、电子传输层、钙钛矿吸光层、空穴传输层、背电极等五部分构成。不同于晶硅电池采用汇流条形成组件，钙钛矿太阳能电池组件主要采用激光划刻的方式来串联子电池。钙钛矿激光刻蚀常采用波长532nm、1064nm的激光，即常说的绿光激光和红外激光。针对钙钛矿组件，不同膜层的刻蚀需要涉及到不同种类的激光器。

为此，现有技术一般需要购置多台不同种类的激光器，在制备钙钛矿太阳能电池组件时交替使用，操作不便，同时不同波长激光器协作时的对位误差较大。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种多波长激光切换机构及多波长激光划线设备，以解决采用多台激光器交替使用导致操作不便、不同波长激光器协作时对位误差大的问题。

第一方面，本实用新型提供了一种多波长激光切换机构，包括安装座、激发光源、转盘及驱动机构。激发光源连接于安装座的一侧；转盘设于激发光源的出射光一侧，转盘转动连接于安装座，在转盘内设有至少两个不同波长的光路系统，光路系统围绕转盘的中心间隔设置，转盘适于通过转动，以使不同波长的光路系统分别位于激发光源的出射路径；驱动机构和转盘连接，适于驱动转盘转动。

有益效果：由于不同波长的光路系统均设置在转盘内，在切换不同波长的激光时，只需转动转盘即可，一方面大大提升了切换激光的便捷性，简化了激光刻蚀工作，另一方面，由于激光光源位置是确定的，而不同的光路系统均提前装配在转盘内，通过转动转盘，将转盘内的光路系统和激发光源对齐即可，无需再反复安装不同的光路系统，实现不同波长激光的灵活切换，大大降低了不同波长的激光在切换时的对位误差，有利于激光刻蚀的精度控制。

在一种可选的实施方式中，转盘设有至少两个安装孔，安装孔沿转盘的轴向贯穿转盘，不同波长的光路系统分别设于不同的安装孔内；激发光源的发射路径和转盘垂直。

有益效果：将不同波长的光路系统装配于不同的安装孔内，这样，在后续切换不同波长的激光时，无需再次向安装孔内安装光路系统，仅通过转动转盘即可实现不同波长的激光的切换，由于省略了在激光切换过程中对光路系统的安装，减少了光路系统的磨损，且能避免装配光路系统时的误操作，减少激光的衰减，保证了激光的使用寿命，减少光路系统的维护频次和维护成本；激发光源的发射路径和转盘垂直，可以简化光路系统的结构。

在一种可选的实施方式中，光路系统设有多个，且围绕转盘的中心均匀间隔设置。

有益效果：这样设置，使得在切换不同波长的激光时，每次转盘转动的角度相同，这样便于对转盘转动角度进行控制。

在一种可选的实施方式中，驱动机构包括传动配合的主动齿轮和被动齿轮，被动齿轮和转盘连接，主动齿轮转动连接于安装座。

有益效果：采用主动齿轮和被动齿轮配合的驱动机构，结构简单，易于装配，传动精度高。

在一种可选的实施方式中，安装座固定连接有第一连接轴，转盘转动连接第一连接轴，沿激发光源的出射方向，在转盘的下游，第一连接轴远离所述安装座的一端设有相机。

有益效果：通过设置相机，能够用于对产品加工定位。

在一种可选的实施方式中，还包括控制系统，控制系统连接于安装座；驱动机构包括驱动转盘转动的电机，电机和控制系统电连接；和/或，相机和控制系统电连接；和/或，激发光源和控制系统电连接。

有益效果：这样设置，有利于提高不同波长的激光切换以及激光刻蚀的自动化程度。

在一种可选的实施方式中，光路系统包括倍频晶体。

有益效果：由激光光源发射激光，导入不同光路系统，经不同倍频晶体处理，输出其他波长激光，从而实现单激光输入多激光输出且可灵活切换的操作。

在一种可选的实施方式中，不同波长的光路系统至少包括第一光路系统、第二光路系统以及第三光路系统；第一光路系统、第二光路系统以及第三光路系统中分别设有不同数量的倍频晶体，第一光路系统中的倍频晶体的数量为零，第二光路系统中的倍频晶体的数量为二，第三光路系统中的倍频晶体的数量为一；激发光源包括红外光。

有益效果：包括以上三种光路系统，能够输出三种常用的激光，满足对钙钛矿太阳能组件不同膜层的刻蚀需求。

在一种可选的实施方式中，光路系统包括用于安装倍频晶体的调节装置，调节装置包括轴向贯通的筒体；筒体设于转盘的安装孔内，筒体的内壁连接有至少两个夹持块，夹持块均设有朝向内腔的夹持面，用于夹持倍频晶体，夹持面设有加热器，筒体与转盘进行位置可调地连接；筒体转动或沿筒体轴向平移时，筒体内部的倍频晶体进行同步运动；夹持块连接有伸缩机构，伸缩机构设于筒体的侧壁，伸缩机构适于带动夹持块沿筒体的径向移动，以调节夹持块和筒体的间距。

有益效果：通过设置调节装置，利用夹持块能够对倍频晶体进行夹持固定。由于夹持块连接有加热器，能够对倍频晶体进行加热，满足倍频晶体使用时对温度的调节需求。通过设置伸缩机构，伸缩机构能够带动夹持块沿筒体的径向移动，从而调节夹持块和筒体的间距，通过对多个夹持块的配合调节，能够精准地调节倍频晶体在筒体内的位置，满足倍频晶体使用时在垂直于筒体轴向的平面内的位置调节需求。通过设置筒体，可以实现倍频晶体在使用时对位置的转动调节需求和沿筒体轴向的平移调节需求。筒体、夹持块、伸缩机构等设计可以实现倍频晶体在使用时全方位的位置调节需求。

在一种可选的实施方式中，筒体外套设有固定环，固定环与转盘固定连接，固定环的侧壁贯穿开设有螺纹孔，螺纹孔内连接有紧固件，紧固件用于将筒体和固定环之间位置可调地连接。

有益效果：这样设置，将紧固件拧松，能够调节筒体和固定环的相对位置，包括筒体沿固定环的轴向的移动以及围绕筒体轴线的自转。结合上述夹持块的调节，能够实现倍频晶体的全方位调节。采用不同的部件来实现倍频晶体的调节，使得调节更加容易控制。

在一种可选的实施方式中，转盘的一个安装孔内设有两个调节装置，两个调节装置相对设置，其中一个调节装置的固定环连接于安装孔的第一端面，其中另一调节装置的固定环连接于安装孔的第二端面；夹持块设有温度传感器。

有益效果：这样设置，能够安装两个倍频晶体，方便对两个倍频晶体的位置和温度进行调节，以得到不同波长的激光。通过设置温度传感器，能够对倍频晶体的温度进行监控。

第二方面，本实用新型还提供了一种多波长激光划线设备，以上技术方案中任一项的多波长激光切换机构。

因为多波长激光划线设备包括多波长激光切换机构，具有与多波长激光切换机构相同的效果，在此不再赘述。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例的一种多波长激光切换机构的立体图；

图2为图1所示的多波长激光切换机构的主视图；

图3为图1所示的多波长激光切换机构的右视图；

图4为图1所示的多波长激光切换机构的仰视图(省略安装座)；

图5为图1所示的多波长激光切换机构的工作原理框图；

图6为本实施例提供的多波长激光切换机构中调节装置的结构示意图；

图7为图6中调节装置中筒体的仰视图；

图8为两个调节装置的装配方位示意图；

图9为本实用新型实施例的一种多波长激光划线设备的结构示意图；

图10为图9所示的多波长激光划线设备的侧视图。

附图标记说明：

1、安装座；2、激发光源；3、转盘；4、驱动机构；401、主动齿轮；402、被动齿轮；403、电机；5、光路系统；501、倍频晶体；502、第一光路系统；503、第二光路系统；504、第三光路系统；6、第一连接轴；7、第二连接轴；8、第三连接轴；9、相机；10、控制系统；20、多波长激光切换机构；30、多波长激光划线设备；3001、箱体；3002、隔音罩；3003、吸附系统；40、调节装置；41、筒体；42、夹持块；43、伸缩机构；44、固定环；45、紧固件。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

钙钛矿太阳能电池主要由透明电极、电子传输层、钙钛矿吸光层、空穴传输层、背电极等五部分构成。不同于晶硅电池采用汇流条形成组件，钙钛矿太阳能电池组件主要采用激光划刻的方式来串联子电池。激光划刻的具体步骤为：先在透明导电玻璃上用激光划刻P1，使透明导电层形成若干个子单元；然后在透明电极上依次制备第一电荷传输层、钙钛矿吸光层和第二电荷传输层，再使用激光在P1一侧划刻P2，使第一电荷传输层、钙钛矿吸光层和第二电荷传输层形成各个子单元；接着在第二电荷传输层上制备背电极层，最后用激光在P2一侧划刻P3，使背电极层形成各个子单元，并使各个子电池之间串联连接，从而形成钙钛矿太阳能电池组件。

针对钙钛矿组件，不同膜层的刻蚀需要涉及到不同种类的激光器，多种激光交替使用，操作不便，同时不同波长激光器协作时的对位误差较大。为了解决该技术问题，本实施例通过将多个光路系统5集成在一个转盘3内，通过转盘3的转动来切换不同的光路系统5，使光路系统5与激发光源2对准，以得到不同波长的激光。

下面结合图1至图10，描述本实用新型的实施例。

根据本实用新型的实施例，一方面，提供了一种多波长激光切换机构20，包括安装座1、激发光源2、转盘3及驱动机构4。激发光源2连接于安装座1的一侧；转盘3设于激发光源2的出射光一侧，转盘3转动连接于安装座1，在转盘3内设有至少两个不同波长的光路系统5，光路系统5围绕转盘3的中心间隔设置，转盘3适于通过转动以使不同波长的光路系统5分别位于激发光源2的出射路径；驱动机构4和转盘3连接，适于驱动转盘3转动。

由于转盘3内设置了至少两个不同波长的光路系统5，且驱动机构4可以带动转盘3转动。通过转动转盘3，可以将不同波长的光路系统5置于激发光源2的出射路径，将光路系统5和激发光源2对齐，激发光源2进入不同的光路系统5中，发出不同波长的激光，从而可以用于刻蚀。由于不同波长的光路系统5均设置在转盘3内，在切换不同波长的激光时，只需转动转盘3即可，一方面大大提升了切换激光的便捷性，简化了激光刻蚀工作，另一方面，由于激光光源位置是确定的，而不同的光路系统5均提前装配在转盘3内，通过转动转盘3，将转盘3内的光路系统5和激发光源2对齐即可，无需再反复安装不同的光路系统5，实现不同波长激光的灵活切换，大大降低了不同波长的激光在切换时的对位误差，有利于激光刻蚀的精度控制。

在一个实施例中，转盘3内设有至少两个安装孔，安装孔沿转盘3的轴向贯穿转盘3，不同波长的光路系统5分别设于不同的安装孔内。

目前相关技术中，一台激光刻蚀设备中仅安装一个光路系统5，当需要切换不同波长的激光进行刻蚀时，需要更换不同的光路系统5。而光路系统5在更换时需要重新定位，工序复杂，操作繁琐，且容易产生误操作，这些都会加快激光衰减，对单头激光的寿命是极大的考验，需要经常维护更换，无形中也增加了加工成本。

本实施例的转盘3内设置至少两个安装孔，将不同波长的光路系统5装配于不同的安装孔内，这样，在后续切换不同波长的激光时，无需再次向安装孔内安装光路系统5，仅通过转动转盘3即可实现不同波长的激光的切换，由于省略了在激光切换过程中对光路系统5的安装，减少了光路系统5的磨损，且能避免装配光路系统5时的误操作，减少激光的衰减，保证了激光的使用寿命，减少光路系统5的维护频次和维护成本。

具体的，可将常用的几种光路系统5预先装入转盘3的安装孔内，并可根据常用的激光波长的数量设置对应数量的安装孔。

目前相关技术中，通过使用多台不同种类激光器进行钙钛矿太阳能电池组件的激光刻蚀，满足了不同膜层的刻蚀要求。但多台激光器增加了设备成本及占地需求，同时交替使用，也使得工艺制备复杂化。利用本实施例提供的多波长激光切换机构20，仅在一台激光刻蚀设备上装配，大大减少了激光刻蚀设备的数量和占用空间，降低了成本。当采用多种波长的激光进行钙钛矿太阳能电池组件刻蚀时，只需要一台激光器即。避免了多台激光器的交替使用，使得工艺制备简单化。

在一个实施例中，转盘3内设有三个安装孔，光路系统5对应设有三个，分别设于三个安装孔内。

在一个实施例中，不同波长的光路系统5至少包括第一光路系统502、第二光路系统503以及第三光路系统504；第一光路系统502、第二光路系统503以及第三光路系统504中分别设有不同数量的倍频晶体501，第一光路系统502中的倍频晶体501的数量为零，第二光路系统503中的倍频晶体501的数量为二，第三光路系统504中的倍频晶体501的数量为一；激发光源2包括红外光。需要特别说明的是，所述倍频晶体可以是指能够用于和频效应或倍频效应的非线性光学晶体。所述倍频晶体的调节方式，本领域技术人员可以根据现有技术和实际使用需求进行调节，本申请对此不做限定。

多波长激光切换机构20包括以上三种光路系统5，能够输出三种常用的激光，满足对钙钛矿太阳能组件不同膜层的刻蚀需求。

进一步的，根据对钙钛矿太阳能组件刻蚀的需要，在一个实施例中，第一光路系统502中无倍频晶体，第二光路系统503设置两个倍频晶体，第三光路系统504设置一个倍频晶体。进一步的，包括可见光光路系统绿光光路系统。

在一个实施例中，激发光源2包括红外光源。当然，也可以根据需要选择其他光源作为激发光源2，同时，需要对应调整光路系统5，以输出所需波长的激光。

具体的，由激光光源发射激光，导入不同光路系统5，经不同倍频晶体501处理，输出其他波长激光，从而实现单激光输入多激光输出且可灵活切换的操作。

在一个实施例中，以红外光源作为激发光源2，第一光路系统502中无倍频晶体501，激发光源2直接输出红外激光；第二光路系统503中设置两个倍频晶体501，用于输出紫外光；第三光路系统504中设置一个倍频晶体501，用于输出可见光绿光。

当然，根据实际需要，可通过改变倍频晶体501的倍率、数量以及激发光源的波长，以输出不同波长的激光。比如，激发光源2设为紫外光，而紫外光透过第一光路系统502时，输出仍为紫外激光。

在一个实施例中，光路系统5设有多个，且围绕转盘3的中心均匀间隔设置。

这样设置，使得在切换不同波长的激光时，每次转盘3转动的角度相同，这样便于对转盘3转动角度进行控制。

在一个实施例中，驱动机构4包括传动配合的主动齿轮401和被动齿轮402，被动齿轮402和转盘3连接，主动齿轮401转动连接于安装座1。具体的，安装座1设有第三连接轴8，第三连接轴8的一端和安装座1固定连接，另一端和主动齿轮401转动连接。当然，也可以是第三连接轴8的一端和安装座1转动连接，第三连接轴8的另一端和主动齿轮401固定连接。

这样设置，通过驱动主动齿轮401转动，可以带动被动齿轮402转动，由于被动齿轮402和转盘3固定连接，因此，被动齿轮402能够带动转盘3转动，从而可以切换不同的光路系统5和激光光源对齐，以输出不同波长的激光，满足对钙钛矿太阳能组件不同膜层的刻蚀需求。采用主动齿轮401和被动齿轮402配合的驱动机构4，结构简单，易于装配，传动精度高。

当然，被动齿轮402可以是齿圈结构，齿圈的内圈固定套装在转盘3的外周壁。

在一个实施例中，转盘3和主动齿轮401一体成型。

在一个实施例中，主动齿轮401采用蜗杆代替。

当然，驱动机构4还可以采用其他能够带动转盘3转动的结构，比如，在一个实施例中，驱动机构4包括曲柄连杆机构。

在一个实施例中，激发光源2的发射路径和转盘3垂直。

这样设置，而所需输出的激光为垂直射出，因此可以简化光路系统5的结构。

在一个实施例中，安装座1固定连接有第一连接轴6，转盘3转动设于第一连接轴6，沿激发光源2的出射方向，在转盘3的下游，第一连接轴6远离安装座1的一端设有相机9。

具体的，第一连接轴6的第一端和安装座1固定连接，第一连接轴6的第二端和转盘3转动连接。因此，当转盘3转动时，第一连接轴6固定不转动，固定在第一连接轴6的相机9不转动。通过设置相机9，能够抓取Mark点，以进行激光划刻操作。

在一个实施例中，还包括控制系统10，控制系统10连接于安装座1；驱动机构4包括驱动转盘3转动的电机403，电机403和控制系统10电连接；和/或，相机9和控制系统10电连接；和/或，激发光源2和控制系统10电连接。

这样设置，电机403和控制系统10电连接，由控制系统10控制电机403的启停及启动时长，以控制转盘3带动光路系统5所需的角度，实现转盘3转动的自动化。相机9和控制系统10电连接，控制系统10可以控制相机9工作的启停，通过相机9抓取Mark点发送至控制系统10。激发光源2和控制系统10电连接，可以控制激发光源2的开闭，从而提高不同波长的激光切换以及激光刻蚀的自动化程度。

控制系统10内带有软件系统，可用于选择激光的波长。

工作时，通过控制系统10自带的软件系统选择所使用的激光波长，通过控制系统10控制电机403启动，带动转盘3转动，切换对应的光路系统5，使之与激发光源2对齐，然后使用相机9抓取Mark点进行激光划刻操作。

在一个实施例中，安装座1连接有第二连接轴7，激发光源2连接于第二连接轴7。

将激发光源2设置在第二连接轴7上，便于固定激发光源2。

在一个实施例中，第二连接轴7和第一连接轴6平行布置。这样，能够实现激发光源2的发射路径和转盘3垂直，由于所需输出的激光为垂直射出，这样可以简化光路系统5的结构。

在一个实施例中，光路系统5包括用于安装倍频晶体501的调节装置40，调节装置40包括轴向贯通的筒体41；筒体41设于转盘3的安装孔内，筒体41的内壁设有至少两个夹持块42，夹持块42均设有朝向内腔的夹持面，用于夹持倍频晶体501，夹持面设有加热器，筒体41与转盘3进行位置可调地连接；筒体41转动或沿筒体轴向平移时，筒体41内部的倍频晶体501进行同步运动；夹持块42连接有伸缩机构43，伸缩机构43设于筒体41的侧壁，伸缩机构43适于带动夹持块42移动，以调节夹持块42和筒体41的间距。实际使用时，还可以在夹持前，将倍频晶体501平行于光路的外表面包裹导热材料，以实现更好的加热效果。

通过设置调节装置40，利用夹持块42能够对倍频晶体501进行夹持固定。由于夹持块42连接有加热器，能够对倍频晶体501进行加热以及温度控制，满足倍频晶体501使用时对温度的调节需求。通过设置伸缩机构43，伸缩机构43能够带动夹持块42沿筒体41的径向移动，从而调节夹持块42和筒体41的间距，通过对多个夹持块42的配合调节，能够精准地调节倍频晶体501在筒体内的位置，满足倍频晶体501使用时在垂直于筒体41轴向的平面内的位置调节需求。

具体的，筒体41可以和内部固定的倍频晶体501形成一个整体，使倍频晶体501随筒体41一起改变位置。当筒体41转动时，筒体41内部的倍频晶体501同步进行转动。当筒体41沿筒体轴向平移时，筒体41内部的倍频晶体501同步进行沿筒体41轴向的平移。

通过设置筒体41，可以实现倍频晶体501在使用时对位置的转动调节需求和沿筒体41轴向的平移调节需求。筒体41、夹持块42、伸缩机构43等设计可以实现倍频晶体501在使用时全方位的位置调节需求。

在一个实施例中，伸缩机构43包括电缸。电缸的一端固定在筒体41的内壁，电缸的另一端连接夹持块42。

在一个实施例中，夹持块42为长条状结构，夹持块42的长度和倍频晶体501的长度相等。这样，夹持面积更大，加热效果更好。在进行加热时，采用导热膜包裹倍频晶体501。

在一个实施例中，筒体41外套设有固定环44，固定环44与转盘3固定连接，固定环44的侧壁贯穿开设有螺纹孔，螺纹孔内连接有紧固件45，紧固件45用于将筒体41和固定环44之间位置可调地连接。

这样设置，将紧固件45拧松，能够调节筒体41和固定环44的相对位置，包括筒体41沿固定环44的轴向的移动以及围绕筒体41轴线的自转。结合上述夹持块42的调节，能够实现倍频晶体501的全方位调节。采用不同的部件来实现倍频晶体501的调节，使得调节更加容易控制。

具体的，固定环44与转盘3固定连接，不限定具体的固定连接方式，例如可以通过卡扣、螺栓、胶水等实现固定连接。固定环44可以是指用于实现筒体41与转盘3直接或间接固定连接的结构。

具体的，筒体41和固定环44之间位置可调地连接，是指，筒体41和固定环44之间的相对位置可以调节，包括筒体41沿固定环44的轴向的平移，以改变倍频晶体501在转盘3的安装孔内的沿轴向的深度；还包括筒体41围绕固定环44的内壁进行周向的转动。通过筒体41、固定环44、夹持块42以及伸缩机构43实现倍频晶体501在转盘3的安装孔内的位置的全方位调节，使得调节更加容易控制。

在一个实施例中，转盘3的一个安装孔内设有两个调节装置40，两个调节装置40相对设置，其中一个调节装置40的固定环44连接于安装孔的第一端面，其中另一调节装置40的固定环44连接于安装孔的第二端面；夹持块42设有温度传感器。

这样设置，能够安装两个倍频晶体501，方便对两个倍频晶体的位置和温度进行调节，以得到不同波长的激光。夹持块42设有温度传感器，能够对倍频晶体501进行温度控制。

在一个实施例中，筒体41和安装孔过盈配合；或，筒体41和安装孔螺纹配合；或，固定环44的外径大于安装孔的内径，固定环44和转盘3均设有沿轴向的连接孔，固定环44和转盘3之间通过紧固件连接。

相比于现存的技术，本实用新型还具有以下优点：

本实用新型提供的激光设备可以避免不同波长激光器协作时因激光器切换引起的光路对位误差。本实用新型提供的激光设备主要通过激光转换盘实现光路转换，只需要一台激发光源，设备成本低。本实用新型提供的激光设备能够灵活切换不同种类激光，以满足不同种类膜层的刻蚀需求，既可以实现不同膜层不同激光刻蚀，也可实现单一膜层多激光加工，拓宽了加工窗口。操作简单，工作效率高，便于商业化推广。

根据本实用新型的实施例，另一方面，还提供了一种多波长激光划线设备30，以上技术方案中任一项的多波长激光切换机构20。

因为多波长激光划线设备30包括多波长激光切换机构20，具有与多波长激光切换机构20相同的效果，在此不再赘述。

在一个实施例中，多波长激光划线设备30还包括箱体3001和吸附系统3003。多波长激光切换机构20设于箱体3001内。

为了减少噪音，在箱体3001的前侧设有隔音罩3002。

在一个实施例中，将激发光源2的波长参数设置为1064nm，工作时，启动驱动机构4，带动转盘3转动，使激发光源2对准第一光路系统502，即转盘3内的第一光路系统502位于激发光源2的出射路径，激发光源2经过第一光路系统502处理后得到1064nm的工作激光。

启动驱动机构4，带动转盘3转动，使激发光源2对准第三光路系统504，即转盘3内的第三光路系统504位于激发光源2的出射路径，由于第三光路系统504中设置一个倍频晶体501，激发光源2经过一个倍频晶体501的处理后得到532nm的工作激光。启动驱动机构4，带动转盘3转动，使激发光源2对准第二光路系统503，即转盘3内的第二光路系统503位于激发光源2的出射路径，由于第二光路系统503中设置两个倍频晶体501，激发光源2首先透过二倍频晶体501，输出部分红外光及部分绿光，然后二者经和频，通过三倍频晶体处理后得到355nm的工作激光。

虽然结合附图描述了本实用新型的实施例，但是本领域技术人员可以在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下做出各种修改和变型，这样的修改和变型均落入由所附权利要求所限定的范围之内。

Claims (10)

1.一种多波长激光切换机构，其特征在于，包括：

安装座(1)；

激发光源(2)，连接于所述安装座(1)的一侧；

转盘(3)，设于所述激发光源(2)的出射光一侧，所述转盘(3)转动连接于所述安装座(1)，在所述转盘(3)内设有至少两个不同波长的光路系统(5)，所述光路系统(5)围绕所述转盘(3)的中心间隔设置，所述转盘(3)适于通过转动以使不同波长的光路系统(5)分别位于所述激发光源(2)的出射路径；

驱动机构(4)，和所述转盘(3)连接，适于驱动所述转盘(3)转动。

2.根据权利要求1所述的多波长激光切换机构，其特征在于，所述转盘(3)设有至少两个安装孔，所述安装孔沿所述转盘(3)的轴向贯穿所述转盘(3)，不同波长的所述光路系统(5)分别设于不同的所述安装孔内；所述激发光源(2)的发射路径和所述转盘(3)垂直。

3.根据权利要求1或2所述的多波长激光切换机构，其特征在于，所述驱动机构(4)包括传动配合的主动齿轮(401)和被动齿轮(402)，所述被动齿轮(402)和所述转盘(3)连接，所述主动齿轮(401)转动连接于所述安装座(1)。

4.根据权利要求1或2所述的多波长激光切换机构，其特征在于，所述安装座(1)固定连接有第一连接轴(6)，所述转盘(3)转动连接所述第一连接轴(6)，沿所述激发光源(2)的出射方向，在所述转盘(3)的下游，所述第一连接轴(6)远离所述安装座(1)的一端设有相机(9)。

5.根据权利要求4所述的多波长激光切换机构，其特征在于，还包括控制系统(10)，所述控制系统(10)连接于所述安装座(1)；所述驱动机构(4)包括驱动所述转盘(3)转动的电机(403)，所述电机(403)和所述控制系统(10)电连接；和/或，所述相机(9)和所述控制系统(10)电连接；和/或，所述激发光源(2)和所述控制系统(10)电连接。

6.根据权利要求1或2所述的多波长激光切换机构，其特征在于，所述不同波长的光路系统(5)至少包括第一光路系统(502)、第二光路系统(503)以及第三光路系统(504)；所述第一光路系统(502)、所述第二光路系统(503)以及所述第三光路系统(504)中分别设有不同数量的倍频晶体(501)，所述第一光路系统(502)中的所述倍频晶体(501)的数量为零，所述第二光路系统(503)中的所述倍频晶体(501)的数量为二，所述第三光路系统(504)中的所述倍频晶体(501)的数量为一；所述激发光源(2)包括红外光。

7.根据权利要求6所述的多波长激光切换机构，其特征在于，所述光路系统(5)包括用于安装所述倍频晶体(501)的调节装置(40)，所述调节装置(40)包括轴向贯通的筒体(41)；所述筒体(41)设于所述转盘(3)的安装孔内，所述筒体(41)的内壁连接有至少两个夹持块(42)，所述夹持块(42)均设有朝向内腔的夹持面，用于夹持所述倍频晶体(501)，所述夹持面设有加热器；所述筒体(41)与所述转盘(3)进行位置可调地连接；所述筒体(41)转动或沿筒体轴向平移时，所述筒体(41)内部的倍频晶体(501)进行同步运动；

所述夹持块(42)连接有伸缩机构(43)，所述伸缩机构(43)设于所述筒体(41)的侧壁，所述伸缩机构(43)适于带动所述夹持块(42)沿所述筒体(41)的径向移动，以调节所述夹持块(42)和所述筒体(41)的间距。

8.根据权利要求7所述的多波长激光切换机构，其特征在于，所述筒体(41)外套设有固定环(44)，所述固定环(44)与所述转盘(3)固定连接，所述固定环(44)的侧壁贯穿开设有螺纹孔，所述螺纹孔内连接有紧固件(45)，所述紧固件(45)用于将所述筒体(41)和所述固定环(44)之间位置可调地连接。

9.根据权利要求8所述的多波长激光切换机构，其特征在于，所述转盘(3)的一个安装孔内设有两个所述调节装置(40)，两个所述调节装置(40)相对设置，其中一个所述调节装置(40)的所述固定环(44)连接于所述安装孔的第一端面，其中另一所述调节装置(40)的所述固定环(44)连接于所述安装孔的第二端面；所述夹持块(42)设有温度传感器。

10.一种多波长激光划线设备，其特征在于，权利要求1至9中任一项所述的多波长激光切换机构。