CN220858478U - 一种放电均匀的等离子体清洗腔 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及一种放电均匀的等离子体清洗腔，包括腔体和门板，门板枢接于腔体上，门板与腔体闭合可形成封闭的内腔；内腔的两侧设有可导电且竖直设置的两个托板；还包括设于内腔中的分别电连接电压两极的第一电极板和第二电极板，第一电极板通过绝缘件水平设于两个托板上，第一电极板用于放置被清洗物；第二电极板水平设于两个托板上且位于第一电极板的上方，第一电极板与第二电极板相间隔以容纳被清洗物，第二电极板的下表面设有竖直向下朝向第一电极板的电极隔板，电极隔板用于伸入到两个被清洗物之间。
Description
技术领域
本申请属于等离子体清洗技术领域，涉及一种放电均匀的等离子体清洗腔。
背景技术
等离子体是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质，常被视为是除去固、液、气外，物质存在的第四态。
等离子体广泛应用于清洗，清洗过程是，在真空的腔体内压力到达一定范同时充入氧、氩、氢等工艺气体，利用高电压将工艺气体电离，生成等离子体，活性等离子体对被清洗物进行物理轰击与化学活化，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，从而达到清洗目的。
现有技术中用于等离子体清洗的腔体，为了在两件电极之间获得较大的空间来放置被清洗物，电极之间的间隔会相距较远，从而使电极对工艺气体的电离效果不理想，而为了增加电离效果增加电压又会提高等离子体发生器的要求，增加能源成本及减少设备的寿命。
实用新型内容
为克服相关技术中存在的问题，本申请旨在提供一种放电均匀的等离子体清洗腔，优化电极结构，能够提高电极的放电均匀性，提高对工艺气体的电离效果。
本申请是通过如下的技术方案来实现的。
本申请的技术方案是提供一种放电均匀的等离子体清洗腔，包括腔体和门板，门板枢接于腔体上，门板与腔体闭合可形成封闭的内腔；内腔的两侧设有可导电且竖直设置的两个托板；
还包括设于内腔中的分别电连接电压两极的第一电极板和第二电极板，第一电极板通过绝缘件水平设于两个托板上，第一电极板用于放置被清洗物；第二电极板水平设于两个托板上且位于第一电极板的上方，第一电极板与第二电极板相间隔以容纳被清洗物，第二电极板的下表面设有竖直向下朝向第一电极板的电极隔板，电极隔板用于伸入到两个被清洗物之间。
本技术方案的技术效果是，通过在第二电极板的下表面设置导电的电极隔板，电极隔板扩大了第二电极板的导电面积，使得第一电极板与第二电极板之间的放电更加均匀，由于两个两个被清洗物之间的空间较大，工艺气体的流量较大，增加电极隔板有利于充分放电使工艺气体被电离，增加电离效果。
作为上述技术方案的实施方式，两个托板的相对一侧均设有相互对应的水平方向的凹槽，绝缘件设置于凹槽内，第一电极板设于绝缘件上，第二电极板的两侧边缘可活动地设置于两件托板的凹槽内。
作为上述技术方案的实施方式，内腔的后侧还设有不导电的罩板，罩板上通过绝缘的支撑脚连接电极连接板，电极连接板与第一电极板电性连接，电极连接板还连接有电极接头。
作为上述技术方案的实施方式，第一电极板的上表面还设有用于定位被清洗物的定位板。
作为上述技术方案的实施方式，门板上设有进气孔，腔体相对于门板的后侧壁设有抽气孔，抽气孔用于连接抽气装置，内腔的工艺气体从进气孔进入后通过抽气孔排出。
应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本申请。
附图说明
通过结合附图对本申请示例性实施方式进行更详细的描述，本申请的上述以及其它目的、特征和优势将变得更加明显，其中，在本申请示例性实施方式中，相同的参考标号通常代表相同部件。
图1是本申请一实施例中示出的腔体结构的结构示意图。
图2是本申请一实施例中示出的腔体结构的部分爆炸结构示意图。
图3是本申请一实施例中示出的腔体的内部结构示意图。
图4是本申请一实施例中示出的腔体的正视结构示意图。
附图标记说明：
11-腔体；111-抽气孔；112-内腔；12-门板；121-进气孔；122-观察视窗；13-托板；131-凹槽；14-第一电极板；141-绝缘件；142-定位板；15-第二电极板；151-电极隔板；16-电极连接板；161-支撑脚；17-电极接头；18-罩板；20-料盒。
具体实施方式
下面将结合本申请一些实施例中的附图，对本申请一些实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
以下结合附图详细描述本申请实施例的技术方案。
如图1至图4中所示，本实施例是一种放电均匀的等离子体清洗腔，用于等离子体清洗设备中，其包括腔体11和门板12，门板12枢接于腔体11上，门板12与腔体11闭合可形成封闭的内腔112；内腔112的两侧设有可导电且竖直设置的两个托板13；
腔体11结构还包括设于内腔112中的分别电连接电压两极的第一电极板14和第二电极板15，第一电极板14通过绝缘件141水平设于两个托板13上，第一电极板14用于放置被清洗物；第二电极板15水平设于两个托板13上且位于第一电极板14的上方，第一电极板14与第二电极板15相间隔以容纳被清洗物，第二电极板15的下表面设有竖直向下朝向第一电极板14的电极隔板151，电极隔板151用于伸入到两个被清洗物之间。
如此，通过在第二电极板15的下表面设置导电的电极隔板151，电极隔板151扩大了第二电极板15的导电面积，使得第一电极板14与第二电极板15之间的放电更加均匀，由于两个两个被清洗物之间的空间较大，工艺气体的流量较大，增加电极隔板151有利于充分放电使工艺气体被电离，增加电离效果。
本实施例中，两个托板13的相对一侧均设有相互对应的水平方向的凹槽131，绝缘件141设置于凹槽131内，第一电极板14设于绝缘件141上，第二电极板15的两侧边缘可活动地设置于两件托板13的凹槽131内。
如此，由于第二电极板15的可活动性，可以调整第二电极板15的在托板13上的高度，从而达到调整第一电极板14和第二电极板15之间间距的目的。
本实施例，内腔112的后侧还设有不导电的罩板18，罩板18竖直连接于腔体11上，罩板18上设有若干的气孔以供工艺气体穿过，罩板18上通过绝缘陶瓷的支撑脚161连接电极连接板16，电极连接板16与第一电极板14电性连接，电极连接板16还连接有电极接头17。示例性地，第一电极板14通过电极连接板16、电极接头17及电源线与等离子体发生器的正极电性连接，而第二极板通过托板13及电源线与等离子体发生器的负极电性连接。
本实施例中，第一电极板14的上表面还设有用于定位被清洗物的定位板142。如图中给出的示例性实施方式，被清洗物被放置在一个料盒20内，图中未示出被清洗物，料盒20放置在定位板142上，料盒20的底面与定位板142相配合。
本实施例，门板12上设有进气孔121，腔体11相对于门板12的后侧壁设有抽气孔111，抽气孔111用于连接抽气装置，内腔112的工艺气体从进气孔121进入后通过抽气孔111排出。
本实施例中，门板12枢接于腔体11上能够可以打开或关闭，门板12的中间设有透明的观察视窗122，通过观察视窗122可观察内腔112的情况。
以上已经描述了本申请的各实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的各实施例。在不偏离所说明的各实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。本文中所用术语的选择，旨在最好地解释各实施例的原理、实际应用或对市场中的技术的改进，或者使本技术领域的其它普通技术人员能理解本文披露的各实施例。
Claims (5)
1.一种放电均匀的等离子体清洗腔，其特征在于，包括腔体和门板，门板枢接于腔体上，门板与腔体闭合可形成封闭的内腔；内腔的两侧设有可导电且竖直设置的两个托板；
还包括设于内腔中的分别电连接电压两极的第一电极板和第二电极板，第一电极板通过绝缘件水平设于两个托板上，第一电极板用于放置被清洗物；第二电极板水平设于两个托板上且位于第一电极板的上方，第一电极板与第二电极板相间隔以容纳被清洗物，第二电极板的下表面设有竖直向下朝向第一电极板的电极隔板，电极隔板用于伸入到两个被清洗物之间。
2.根据权利要求1所述的放电均匀的等离子体清洗腔，其特征在于，两个托板的相对一侧均设有相互对应的水平方向的凹槽，绝缘件设置于凹槽内，第一电极板设于绝缘件上，第二电极板的两侧边缘可活动地设置于两件托板的凹槽内。
3.根据权利要求2所述的放电均匀的等离子体清洗腔，其特征在于，内腔的后侧还设有不导电的罩板，罩板上通过绝缘的支撑脚连接电极连接板，电极连接板与第一电极板电性连接，电极连接板还连接有电极接头。
4.根据权利要求1所述的放电均匀的等离子体清洗腔，其特征在于，第一电极板的上表面还设有用于定位被清洗物的定位板。
5.根据权利要求1所述的放电均匀的等离子体清洗腔，其特征在于，门板上设有进气孔，腔体相对于门板的后侧壁设有抽气孔，抽气孔用于连接抽气装置，内腔的工艺气体从进气孔进入后通过抽气孔排出。
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