CN220856503U - 加热盘 - Google Patents

Abstract

本实用新型具体公开了一种加热盘，包括盘组件、顶针、弹性件和顶升组件，盘组件具有通孔和设于通孔孔壁的限位槽，通孔和限位槽均沿上下方向延伸；顶针沿上下方向滑动配合于通孔，顶针的侧壁设有第一限位块，第一限位块限位配合于限位槽，以限制顶针沿顶针的周向转动，顶针远离盘组件的一端设有第二限位块；弹性件设于盘组件和第二限位块之间；顶升组件包括顶升杆，顶升杆能够沿上下方向移动，并能够抵接于第二限位块，以驱动顶针向上移动，根据本实用新型实施例的加热盘，使顶针在上下移动时不易发生周向上的转动，且下降顺畅。

Description

加热盘

技术领域

本实用新型涉及镀膜或刻蚀等设备技术领域，特别涉及一种加热盘。

背景技术

用于加工晶圆等基材的腔体的内部一般具有加热盘，该加热盘上设置有顶针，用于取出或放置基材基片。在顶针通过上下移动将基材基片取出或放置的过程中，顶针可能会发生周向上的转动，从而使基材基片发生偏移，进而导致机械手取片不顺利，或者导致基材基片放置时偏离基材槽，产生搭片的情况，使基材基片不能正常加热。顶针在下降时还可能会出现不顺畅的情况，甚至直接出现卡滞现象，从而造成机械手碰碎基材基片、将顶针扫断的情况，直接影响生产。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种加热盘，使顶针在上下移动时不易发生周向上的转动，且下降顺畅。

根据本实用新型的实施例的加热盘，包括盘组件、顶针、弹性件和顶升组件，所述盘组件具有通孔和设于所述通孔孔壁的限位槽，所述通孔和所述限位槽均沿上下方向延伸；所述顶针沿上下方向滑动配合于所述通孔，所述顶针的侧壁设有第一限位块，所述第一限位块限位配合于所述限位槽，以限制所述顶针沿所述顶针的周向转动，所述顶针远离所述盘组件的一端设有第二限位块；所述弹性件设于所述盘组件和所述第二限位块之间；所述顶升组件包括顶升杆，所述顶升杆能够沿上下方向移动，并能够抵接于所述第二限位块，以驱动所述顶针向上移动。

根据本实用新型实施例的加热盘，至少具有如下有益效果：顶升组件能够驱动顶针向上移动，顶针在向上移动的过程中，第二限位块和盘组件之间的距离缩小，弹性件被压缩，顶升组件不再驱动顶针向上移动时，被压缩的弹性件通过自身的弹力带动顶针向下复位，第二限位块也通过自身的重力带动顶针向下复位，即通过弹性件和第二限位块的配合，会使顶针向下运行顺畅，无卡滞。同时，由于限位槽沿上下方向延伸，第一限位块设于顶针的侧壁，第一限位块限位配合于限位槽，以限制顶针沿顶针的周向转动。故在顶针上下移动时，通过第一限位块和限位槽的限位配合，顶针不易发生周向上的转动。

根据本实用新型的一种实施例，所述限位槽设有两个，两个所述限位槽沿所述通孔的径向相对设置，所述第一限位块设有两个，两个所述第一限位块沿所述顶针的径向相背设置，两个所述第一限位块与两个所述限位槽一一对应限位配合。

根据本实用新型的一种实施例，所述盘组件包括盘体和导向限位件，所述盘体设有安装孔，所述导向限位件可拆卸安装于所述安装孔内，所述通孔和所述限位槽设于所述导向限位件。

根据本实用新型的一种实施例，所述第二限位块设有第一连接孔，所述顶针远离所述盘组件的一端与所述第一连接孔可拆卸连接。

根据本实用新型的一种实施例，所述顶针的侧壁设有第二连接孔，所述第二连接孔沿水平方向设置，并位于所述第一连接孔内，所述第二限位块还设有第三连接孔，所述第三连接孔沿水平方向设置，并与所述第一连接孔连通，所述加热盘还包括紧固件，所述紧固件连接于所述第三连接孔和所述第二连接孔。

根据本实用新型的一种实施例，所述紧固件为销钉，所述销钉与所述第三连接孔间隙配合，并插设于所述第二连接孔。

根据本实用新型的一种实施例，所述紧固件为螺钉，所述第三连接孔内设有第一螺纹结构，所述螺钉与所述第一螺纹结构螺纹连接，并插设于所述第二连接孔内。

根据本实用新型的一种实施例，所述第一连接孔内设有第二螺纹结构，所述顶针远离所述盘组件的一端设有第三螺纹结构，所述第二螺纹结构与所述第三螺纹结构螺纹连接。

根据本实用新型的一种实施例，所述通孔的上端设有第一导向锥面，所述顶针的上端设有第二导向锥面，所述第一导向锥面能够与所述第二导向锥面导向配合。

根据本实用新型的一种实施例，所述第二限位块的下端设有第三导向锥面，所述顶升杆的上端设有第四导向锥面，所述第四导向锥面能够与所述第三导向锥面导向配合。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明，其中：

图1为本实用新型一种实施例的加热盘的部分结构示意图；

图2为本实用新型一种实施例的加热盘的部分结构剖视图；

图3为本实用新型一种实施例的加热盘的部分结构俯视图；

图4为本实用新型一种实施例的加热盘的部分结构剖视图；

图5为本实用新型另一种实施例的加热盘的部分结构剖视图；

图6为本实用新型另一种实施例的加热盘的部分结构剖视图；

图7为本实用新型另一种实施例的加热盘的部分结构剖视图；

图8为本实用新型另一种实施例的加热盘的部分结构剖视图。

附图标记：

导向限位件120；通孔121；第一导向锥面1211；限位槽122；

顶针200；第一限位块210；第二限位块220；第一连接孔221；第三连接孔222；第三导向锥面223；安装槽224；第二连接孔230；第二导向锥面240；

弹性件300；

紧固件400；螺钉410；销钉420。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、内、外等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。

用于加工晶圆等基材的腔体的内部一般具有加热盘，该加热盘上设置有顶针，用于取出或放置基材基片。在顶针通过上下移动将基材基片取出或放置的过程中，顶针可能会发生周向上的转动，从而使基材基片发生偏移，进而导致机械手取片不顺利，或者导致基材基片放置时偏离基材槽，产生搭片的情况，使基材基片不能正常加热。顶针在下降时还可能会出现不顺畅的情况，甚至直接出现卡滞现象，从而造成机械手碰碎基材基片、将顶针扫断的情况，直接影响生产。

为此，本实用新型的一种实施例提出一种加热盘，具体参照说明书附图的图1至图8所示。

参照图1和图2所示，本实用新型一种实施例的加热盘，加热盘包括盘组件、顶针200、弹性件300和顶升组件。其中，盘组件具有通孔121和限位槽122。需要说明的是，限位槽122设于通孔121的孔壁，也就是说限位槽122与通孔121连通。通孔121沿上下方向延伸，限位槽122沿上下方向延伸。需要说明的是，在此不对通孔121的形状和大小作具体限定；在此不对限位槽122的形状和大小作具体限定。在一种实施例中，通孔121为圆形孔；在一种实施例中，限位槽122为方形槽。另外，顶针200沿上下方向滑动配合于通孔121。可以理解的是，通孔121实际对顶针200起到导向作用，顶针200能够沿通孔121的延伸方向滑动，也就是说顶针200能够沿上下方向滑动。需要说明的是，顶针200的侧壁设有第一限位块210。在一种实施例中，第一限位块210与顶针200为一体构件。在另一种实施例中，第一限位块210与顶针200为分体构件，第一限位块210与顶针200之间通过焊接等方式连接。参照图2和图3所示，需要说明的是，第一限位块210限位配合于限位槽122，以限制顶针200沿顶针200的周向转动。可以理解的是，顶针200在通孔121内上下滑动时，第一限位块210在限位槽122内上下滑动，即限位槽122除了对第一限位块210起到限位作用外，还起到导向作用。另外，顶针200还设有第二限位块220，第二限位块220位于顶针200远离盘组件的一端。

参照图1和图2所示，在一种实施例中，限位槽122设有两个，两个限位槽122沿通孔121的径向相对设置。第一限位块210设有两个，两个第一限位块210沿顶针200的径向相背设置。需要说明的是，两个第一限位块210和两个限位槽122一一对应限位配合。也就是说，其中一个第一限位块210与其中一个限位槽122限位配合，另一个第一限位块210和另一个限位槽122限位配合。可以理解的是，采用上述方案，能够进一步限制顶针200沿顶针200的周向转动。在另一种实施例中，限位槽122设有三个，第一限位块210设有三个，三个第一限位块210与三个限位槽122一一对应限位配合。在另一种实施例中，限位槽122设有四个，第一限位块210设有四个，四个第一限位块210与四个限位槽122一一对应限位配合。

参照图1和图2所示，弹性件300设于盘组件和第二限位块220之间。需要说明的是，弹性件300为弹簧，弹簧套设于顶针200外。参照图4所示，在一种实施例中，第二限位块220设有安装槽224，安装槽224位于第二限位块220朝向盘组件的一侧。需要说明的是，弹簧的一端安装于安装槽224内。可以理解的是，通过上述设置，使弹簧工作时更加稳定。另外，顶升组件包括顶升杆。需要说明的是，顶升杆能够沿上下方向移动，并能够抵接于第二限位块220，以驱动顶针200向上移动。需要说明的是，顶升组件还包括驱动件，驱动件驱动顶升杆上下移动。在一种实施例中，驱动件为升降电机，升降电机的控制精度高。在另一种实施例中，驱动件为气缸。

参照图1和图2所示，可以理解的是，在工作时，顶升杆驱动顶针200向上移动，顶针200在向上移动的过程中，第二限位块220和盘组件之间的距离缩小，弹性件300被压缩。之后，顶升杆向下移动，不再向顶针200提供驱动力，此时被压缩的弹性件300通过自身的弹力带动顶针200向下复位，第二限位块220也通过自身的重力带动顶针200向下复位。即通过弹性件300和第二限位块220的配合，会使顶针200向下运行顺畅，无卡滞。同时，在顶针200上下移动时，通过第一限位块210和限位槽122的限位配合，顶针200不易发生周向上的转动。故基材基片在取出或放置的过程中不易发生偏移，也就不易出现机械手取片不顺利、基材基片放置时偏离基材槽而不能正常加热等情况。需要说明的是，基材基片可以为晶圆基片等。

参照图1和图2所示，本实用新型一种实施例的加热盘，盘组件包括盘体和导向限位件120。其中，盘体设有安装孔，导向限位件120可拆卸安装于安装孔内，且通孔121和限位槽122均设于导向限位件120。需要说明的是，盘体起到加热作用，用于加热基材基片。实际上，导向限位件120与安装孔间隙配合，当盘体工作时，盘体的温度上升，盘体的体积膨胀，使导向限位件120紧固地安装于安装孔内。而当盘体不工作时，盘体处于常温状态，导向限位件120可以从安装孔中取出。可以理解的是，盘体在长期的工作中，可能会发生故障而无法继续使用，此时用户可以取下导向限位件120，并安装到新的盘体上，实现导向限位件120的重复利用。在一种实施例中，盘体由金属制成，例如盘体由铝制成；导向限位件120和顶针200由陶瓷制成。可以理解的是，由陶瓷制成的导向限位件120和顶针200强度较高，工作性能优异。同时，由于导向限位件120和顶针200的材质相同，故在工作时，导向限位件120和顶针200之间不易发生磨损，也不会产生渗透现象。

参照图4所示，本实用新型一种实施例的加热盘，第二限位块220设有第一连接孔221，顶针200远离盘组件的一端与第一连接孔221可拆卸连接，即顶针200远离导向限位件120的一端与第一连接孔221可拆卸连接。可以理解的是，第二限位块220不仅起到对弹性件300的限位作用，还起到对顶针200的配重作用。采用上述方案，用户可以根据需要更换不同重量的第二限位块220，以起到不同的配重效果。

参照图4和图5所示，在一种实施例中，顶针200的侧壁设有第二连接孔230，第二连接孔230沿水平方向设置，并位于第一连接孔221内。另外，第二限位块220还设有第三连接孔222，第三连接孔222沿水平方向设置，并与第一连接孔221连通。另外，加热盘还包括紧固件400，紧固件400连接于第三连接孔222和第二连接孔230。需要说明的是，在将顶针200远离导向限位件120的一端安装于第一连接孔221内时，需要进行调整，使得第三连接孔222与第二连接孔230连通，且第三连接孔222的延伸方向与第二连接孔230的延伸方向相同。参照图4所示，在一种实施例中，紧固件400为螺钉410，第三连接孔222内设有第二螺纹结构。需要说明的是，螺钉410与第一螺纹结构螺纹连接，并插设于第二连接孔230内。参照图5所示，在另一种实施例中，紧固件400为销钉420，销钉420与第三连接孔222间隙配合，并插设于第二连接孔230。在一种实施例中，销钉420也与第二连接孔230间隙配合。参照图6所示，在另一种实施例中，第一连接孔221内设有第二螺纹结构，顶针200远离盘组件的一端设有第三螺纹结构。需要说明的是，第二螺纹结构与第三螺纹结构螺纹连接。在另一种实施例中，顶针200分为上下两段，一段滑动配合于通孔121，另一段一体设有第二限位块220，顶针200的上下两段通过螺纹连接的方式连接。

参照图7所示，本实用新型一种实施例的加热盘，通孔121的上端设有第一导向锥面1211，顶针200的上端设有第二导向锥面240，第一导向锥面1211能够与第二导向锥面240导向配合。可以理解的是，通过上述设置，顶针200上下移动使更加稳定。参照图8所示，第二限位块220的下端设有第三导向锥面223，顶升杆的上端设有第四导向锥面，第四导向锥面能够与第三导向锥面223导向配合。可以理解的是，通过上述设置，顶升杆能够准确稳定地向顶针200提供向上的驱动力。

上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型的各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.加热盘，其特征在于，包括：

盘组件，具有通孔和设于所述通孔孔壁的限位槽，所述通孔和所述限位槽均沿上下方向延伸；

顶针，沿上下方向滑动配合于所述通孔，所述顶针的侧壁设有第一限位块，所述第一限位块限位配合于所述限位槽，以限制所述顶针沿所述顶针的周向转动，所述顶针远离所述盘组件的一端设有第二限位块；

弹性件，设于所述盘组件和所述第二限位块之间；

顶升组件，包括顶升杆，所述顶升杆能够沿上下方向移动，并能够抵接于所述第二限位块，以驱动所述顶针向上移动。

2.根据权利要求1所述的加热盘，其特征在于，所述限位槽设有两个，两个所述限位槽沿所述通孔的径向相对设置，所述第一限位块设有两个，两个所述第一限位块沿所述顶针的径向相背设置，两个所述第一限位块与两个所述限位槽一一对应限位配合。

3.根据权利要求1所述的加热盘，其特征在于，所述盘组件包括盘体和导向限位件，所述盘体设有安装孔，所述导向限位件可拆卸安装于所述安装孔内，所述通孔和所述限位槽设于所述导向限位件。

4.根据权利要求1所述的加热盘，其特征在于，所述第二限位块设有第一连接孔，所述顶针远离所述盘组件的一端与所述第一连接孔可拆卸连接。

5.根据权利要求4所述的加热盘，其特征在于，所述顶针的侧壁设有第二连接孔，所述第二连接孔沿水平方向设置，并位于所述第一连接孔内，所述第二限位块还设有第三连接孔，所述第三连接孔沿水平方向设置，并与所述第一连接孔连通，所述加热盘还包括紧固件，所述紧固件连接于所述第三连接孔和所述第二连接孔。

6.根据权利要求5所述的加热盘，其特征在于，所述紧固件为销钉，所述销钉与所述第三连接孔间隙配合，并插设于所述第二连接孔。

7.根据权利要求5所述的加热盘，其特征在于，所述紧固件为螺钉，所述第三连接孔内设有第一螺纹结构，所述螺钉与所述第一螺纹结构螺纹连接，并插设于所述第二连接孔内。

8.根据权利要求4所述的加热盘，其特征在于，所述第一连接孔内设有第二螺纹结构，所述顶针远离所述盘组件的一端设有第三螺纹结构，所述第二螺纹结构与所述第三螺纹结构螺纹连接。

9.根据权利要求1所述的加热盘，其特征在于，所述通孔的上端设有第一导向锥面，所述顶针的上端设有第二导向锥面，所述第一导向锥面能够与所述第二导向锥面导向配合。

10.根据权利要求1所述的加热盘，其特征在于，所述第二限位块的下端设有第三导向锥面，所述顶升杆的上端设有第四导向锥面，所述第四导向锥面能够与所述第三导向锥面导向配合。