CN220846249U - 一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘，涉及镀膜设备技术领域，为了解决待镀膜工件的尺寸不一，普通托板不易对不同尺寸的待镀膜工件进行固定的问题，其包括框型基座、固定组件和固定件，所述固定组件包括若干相互垂直设置的第一边框和第二边框，所述第一边框和第二边框均安装在基座上，所述固定组件还包括滑动设置于所述第一边框上的若干横向夹板，以及滑动设置于所述第二边框上的若干纵向夹板，所述固定组件呈网格状，形成多个用于夹持待镀膜工件的夹持空间；所述固定件用于将横向夹板固定在第一边框上或将纵向夹板固定在第二边框上。本申请具有便于托盘对不同尺寸的待镀膜工件进行固定的效果。

Description

一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘

技术领域

本申请涉及镀膜设备技术领域，尤其是涉及一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘。

背景技术

变频空调压缩机、工业节能电机和新能源汽车驱动电机用钕铁硼永磁材料必须具备高矫顽力、高磁能积、高耐腐蚀性等特性，这对传统钕铁硼永磁材料制造行业是个巨大的挑战，对钕铁硼永磁材料的耐腐蚀性能提出了更高的要求。

以钕铁硼永磁材料中常见的烧结钕铁硼永磁铁（NdFeB）为例，NdFeB的Nd是化学活性最高的元素之一，其各相间电化学位相差较大，易引起电化学腐蚀；且NdFeB烧结过程中表面容易出现微孔、缺陷、结构疏松等缺陷，常常应用在高温、高湿和电化学环境中，极容易发生腐蚀，导致矫顽力严重下降，造成设备故障，带来巨大财产损失。

目前钕铁硼永磁材料最常用的防腐措施是电镀膜或者化学镀膜，如电镀锌、电镀镍、电镀镍铜镍，均存在防腐性能不达标、环境污染大、膜厚均匀性不一致等诸多问题。当下最优选的防腐技术，是磁控溅射防腐镀膜，其膜基结合力好，防腐性能优异，绿色无污染，但磁控溅射防腐镀膜在产业上大批量使用时存在应用瓶颈，现有烧结钕铁硼磁控溅射镀镝镀铽用普通托盘无法直接用于防腐镀膜，原因在于，普通托盘上的待镀膜工件相互紧密排列，磁控溅射镀镝镀铽只需要在工件一个表面镀膜，而防腐镀膜需要在工件六个表面都需镀膜，且待镀膜工件的尺寸不一，普通托板不易对不同尺寸的待镀膜工件进行固定。

实用新型内容

为了便于托盘对不同尺寸的待镀膜工件进行固定，本申请提供一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘。

本申请提供的一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘,采用如下的技术方案：

一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘，包括：

框型基座；

固定组件，所述固定组件包括若干相互垂直设置的第一边框和第二边框，所述第一边框和第二边框均安装在基座上，所述固定组件还包括滑动设置于所述第一边框上的若干横向夹板，以及滑动设置于所述第二边框上的若干纵向夹板，所述固定组件呈网格状，形成多个用于夹持待镀膜工件的夹持空间；

固定件，所述固定件用于将横向夹板固定在第一边框上以及将纵向夹板固定在第二边框上。

通过采用上述技术方案，将工件放置在基座内，横向夹板在第一边框上移动，纵向夹板在第二边框上移动，使得横向夹板、纵向夹板、第一边框和第二边框形成用于夹持待镀膜工件的夹持空间，工件固定在网格状的夹持空间，不易出现相互触碰的情形。再采用固定件将横向夹板固定在第一边框上，将纵向夹板固定在第二边框上，调节横向夹板或者纵向夹板之间的间距，从而能对不同规格尺寸的待镀膜工件进行装夹。

作为优选，所述横向夹板内开设有沿横向夹板长度方向设置的贯穿槽，所述纵向夹板滑动设置在贯穿槽内。

通过采用上述技术方案，纵向夹板滑动设置在横向夹板上的贯穿槽中，一方面是为了便于横向夹板与纵向夹板在移动时，不易出现交叉碰撞的情形，另一方面，能使得能纵向夹板能夹持在待镀膜工件侧壁的中部位置，降低待镀膜工件在纵向夹板上脱落的可能，同时，横向夹板在待镀膜工件的一侧壁上有两个夹持点，从而使得横向夹板更紧密的将待镀膜工件夹持住。

作为优选，所述第一边框、第二边框沿着各自的长度方向均开设有定位槽，所述定位槽贯穿第一边框、第二边框的顶面与底面，所述定位槽中穿设有用于将第一边框、第二边框固定在基座上的锁定件。

通过采用上述技术方案，根据所述待镀膜工件的规格尺寸，适应性的对横向夹板和纵向夹板的数量进行增减，能增大托盘的利用率。将锁定件从第一边框和第二边框上取下，当工件的尺寸过大时，减少横向夹板或者纵向夹板的数量，从而能降低多余的横向夹板或者纵向夹板对框架基座内空间的占用率，当工件的尺寸过大时，适应性的增加横向夹板或者纵向夹板的数量，从而使得托盘能容纳更多的工件。

作为优选，所述第一边框和第二边框沿着各自的长度方向均开设有与定位槽相连通的滑动槽，所述滑动槽贯穿第一边框、第二边框的内侧壁，所述横向夹板与纵向夹板的端部均滑动设置在对应的滑动槽内，所述固定件穿过定位槽并将横向夹板、纵向夹板的端部固定在基座上。

通过采用上述技术方案，滑动槽分别对横向夹板与纵向夹板起到导向和限位作用，从而使得横向夹板在移动过程中始终与第一边框垂直、纵向夹板与第二边框垂直，降低了横向夹板和纵向夹板在移动过程中脱离滑动槽的情况出现，固定件将横向夹板或者纵向固定在基座上。

作为优选，所述基座上间隔开设有若干的定位孔，所述固定件包括蝶形螺钉，所述固定件穿过横向夹板或纵向夹板的端部螺纹连接在定位孔内。

通过采用上述技术方案，由于很多待镀膜工件的尺寸是固定的，根据不同工件的尺寸，在基座上设置相应的定位孔，当对不同的工件进行夹持时，将横向夹板和纵向夹板移动至相应的定位孔上，并将蝶形螺钉穿过横向夹板或者纵向夹板钻入对应的定位孔中，基座与固定件螺纹连接便于对横向夹板或纵向夹板进行拆卸和安装。

作为优选，所述所述基座上开设有与滑动槽相互贯通的移动槽，所述固定件包括蝶形螺钉以及螺纹连接在蝶形螺钉上的螺母，所述蝶形螺钉同时穿过滑动槽和移动槽的端部与螺母螺纹连接。

通过采用上述技术方案，对于尺寸偏差较大的工件，将横向夹板和纵向夹板移动至将工件夹持之后，将蝶形螺钉同时穿过滑动槽和移动槽的端部，并将螺母旋拧在定型螺钉上并与基座抵接，从而将横向夹板或者纵向夹板固定，该种方式能对任意尺寸的工件进行夹持固定，不易出现夹持不稳的情况出现。

作为优选，所述基座上可拆卸连接有用于覆盖基座表面的衬板。

通过采用上述技术方案，在待镀膜工件进行镀膜时，衬板能起到防护作用，降低膜料溅射至其余地方造成污染，同时衬板可拆卸连接在基座上便于衬板的清洗和更换，降低了更换整个托盘的费用，操作便捷。

作为优选，所述衬板设置有两块且分别设置在基座的两面。

通过采用上述技术方案，由于防腐镀膜需要在工件的六个表面进行镀膜，当对基座内工件的一面镀膜时，将靠近镀膜一面的衬板拆卸，另一面的衬板起到防护作用；当需要对工件的另一面镀膜时，将基座进行翻转换面，再将衬板安装至基座的底面，并将基座上表面的衬板拆除，从而有利于工件的快速镀膜，而不用将工件在托盘上进行逐个换面，从而节省了施工时间。

作为优选，所述衬板为方形且开设有与滑动槽相对应的锁定槽，所述固定件能穿过锁定槽将衬板固定在基座上。

通过采用上述技术方案，通过固定件将衬板固定在基座上，从而便于衬板的拆装，也便于衬板在喷涂膜料时起到防护作用。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.将工件放置在基座内，横向夹板在第一边框上移动，纵向夹板在第二边框上移动，使得横向夹板和纵向夹板将工件夹持并采用固定件将横向夹板固定在第一边框上，将纵向夹板固定在第二边框上，调节横向夹板或者纵向夹板之间的间距，从而能对不同规格尺寸的待镀膜工件进行装夹；

2.纵向夹板滑动设置在横向夹板上的贯穿槽中，一方面是为了便于横向夹板与纵向夹板在移动时，不易出现交叉碰撞的情形，另一方面，能使得能纵向夹板能夹持在待镀膜工件侧壁的中部位置，降低待镀膜工件在纵向夹板上脱落的可能，同时，横向夹板在待镀膜工件的一侧壁上有两个夹持点，从而使得横向夹板更紧密的将待镀膜工件夹持住；

3.当对基座内工件的一面镀膜时，将靠近镀膜一面的衬板拆卸，另一面的衬板起到防护作用；当需要对工件的另一面镀膜时，将基座进行翻转换面，再将衬板安装至基座的底面，并将基座上表面的衬板拆除，从而有利于工件的快速镀膜，而不用将工件在托盘上进行逐个换面，从而节省了施工时间。

附图说明

图1是本申请实施例1的整体结构示意图；

图2是本申请实施例2显示衬板的结构示意图；

图3是本申请实施例2的整体结构示意图。

附图标记说明：1、基座；11、定位孔；12、移动槽；2、固定组件；21、第一边框；22、第二边框；23、定位槽；24、锁定件；25、滑动槽；26、横向夹板；261、贯穿槽；27、纵向夹板；3、固定件；4、锁定槽；5、衬板；6、工件。

具体实施方式

以下结合附图1-3对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘。

实施例1

一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘，参照图1，包括框型的基座1，基座1内设置有固定组件2，固定组件2包括可拆卸连接在基座1上的第一边框21和第二边框22，第一边框21和第二边框22分别设置有两个且第一边框21与第二边框22垂直设置。第一边框21和第二边框22沿着各自的长度方向开设有定位槽23，且第一边框21与第二边框22交接处的定位槽23重合，定位槽23中穿设有锁定件24，在本实施例中，锁定件24为蝶形螺钉，锁定件24的端部穿过定位槽23并与基座1螺纹连接，从而将第一边框21和第二边框22固定在基座1上。

参照图1，第一边框21和第二边框22上均开设有与定位槽23相连通的滑动槽25，滑动槽25的开设方向与定位槽23相同，两个第一边框21内的滑动槽25中滑动设置有横向夹板26，两个第二边框22内的滑动槽25中滑动设置有纵向夹板27，横向夹板26与纵向夹板27的端部均设置有用于将横向夹板26或者纵向夹板27固定在滑动槽25中的固定件3。

将工件6放置在基座1内，使横向夹板26在第一边框21上移动，纵向夹板27在第二边框22上移动，使得横向夹板26和纵向夹板27将工件6夹持后，采用固定件3将横向夹板26固定在第一边框21上、将纵向夹板27固定在第二边框22上，调节横向夹板26或者纵向夹板27之间的间距，从而能对不同规格尺寸的待镀膜工件6进行装夹。

对于不同规格的工件6，将锁定件24从定位槽23中拔出，并适当调节横向夹板26以及纵向夹板27在固定组件2中的数量。当工件6的尺寸过大时，减少横向夹板26或者纵向夹板27的数量，从而能降低多余的横向夹板26或者纵向夹板27对框架基座1内空间的占用率，当工件6的尺寸过大时，适应性的增加横向夹板26或者纵向夹板27的数量，从而使得托盘能容纳更多的工件6，由于第一边框21与第二边框22均是可拆卸连接在基座1上，从而更便于横向夹板26或者纵向夹板27进行增减。

参照图1，为了保证横向夹板26与纵向夹板27对工件6的夹持力，横向夹板26内开设有沿横向夹板26长度方向设置的贯穿槽261，纵向夹板27滑动设置在贯穿槽261内，纵向夹板27对工件6进行夹持时与工件6侧壁的中部抵接，横向夹板26对工件6进行夹持时有两个夹持点，两个夹持点以工件6侧壁的中部对称设置，从而使得横向夹板26与纵向夹板27对工件6的夹持力更强，降低工件6从横向夹板26和纵向夹板27之间脱落的可能。

参照图1，基座1的四条边上间隔开设有若干定位孔11，在本实施例中，固定件3为蝶形螺钉，固定件3的一端穿过横向夹板26或者纵向夹板27的一端螺纹连接在定位孔11内。

由于大部分的待镀膜工件6的尺寸是固定的，根据不同工件6的尺寸，在基座1上设置相应的定位孔11，当对不同的工件6进行夹持时，将横向夹板26和纵向夹板27移动至相应的定位孔11上，并将蝶形螺钉穿过横向夹板26或者纵向夹板27钻入对应的定位孔11中螺纹固定，基座1与固定件3螺纹连接便于对横向夹板26或纵向夹板27进行拆卸和安装。

本申请实施例一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘的实施原理为：将工件6放置在基座1内，在第一边框21上滑动横向夹板26，在第二边框22上滑动纵向夹板27，并使得横向夹板26与纵向夹板27对齐相应的定位孔11，再将固定件3分别穿过横向夹板26与纵向夹板27并螺纹连接在对应的定位孔11中，从而将工件6夹持在基座1内。通过移动并固定横向夹板26与纵向夹板27，能对不同规格尺寸的工件6进行夹持固定，从而使得托盘的适应性更强，同时根据不同的工件6适时增减横向夹板26以及纵向夹板27的数量，能最大化的利用托盘的空间，容纳最多的工件6。

实施例2

本实施例与实施例1的不同之处在于，参照图2和图3，基座1上开设有与定位槽23长度及位置相对应的移动槽12，移动槽12沿着基座1的长度方向开设，固定件3包括蝶形螺钉，蝶形螺钉穿过定位槽23以及移动槽12的一端螺纹连接有螺母。基座1上可拆卸连接有用于覆盖基座1表面的衬板5，衬板5设置有两块且分别设置在基座1的两面。

对于尺寸偏差较大的工件6，将横向夹板26和纵向夹板27移动至将工件6夹持之后，将蝶形螺钉同时穿过定位槽23和移动槽12的端部，并将螺母旋拧在定型螺钉上并与基座1抵接，从而将横向夹板26或者纵向夹板27固定，该种方式能对任意尺寸的工件6进行夹持固定，不易出现夹持不稳的情况出现。

参照图2和图3，在进行镀膜时，基座1上只设置一块衬板5，衬板5为方形且开设有与滑动槽25相对应的锁定槽4，将衬板5盖设在基座1底面或者基座1的上表面，蝶形螺钉同时贯穿锁定槽4、定位槽23和移动槽12的端部与螺母螺纹连接，螺母抵紧在基座1的底面，蝶形螺钉远离螺母的端头与衬板5抵紧；将衬板5穿设在螺母与基座1之间，从而将衬板5固定在基座1上，当需要对工件6进行镀膜时，将靠近待镀膜工件6一侧的衬板5拆除，衬板5能起到防护作用，降低膜料溅射至其余地方造成污染，同时衬板5可拆卸连接在基座1上便于衬板5的清洗和更换，降低了更换整个托盘的费用，操作便捷。

由于防腐镀膜需要在工件6的六个表面进行镀膜，传统托盘需要将工件的六个面先后翻转进行镀膜工作，但在本申请中，只需要将工件翻转3个面进行夹持后，再将托盘进行正、反翻转即可，从而降低了拆卸、安装工件的次数，提高了镀膜效率。当对基座1内工件6的上表面镀膜时，将基座上表面的衬板5拆卸，工件6下表面的衬板5起到防护作用；当需要对工件6的下表面镀膜时，将基座1进行翻转换面，再将衬板5安装至基座1的上表面，并将基座1下表面的衬板5拆除，从而起到防护作用，降低了膜料溅射至其余地方造成污染的可能。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘，其特征在于，包括：

框型基座（1）；

固定组件（2），所述固定组件（2）包括若干相互垂直设置的第一边框（21）和第二边框（22），所述第一边框（21）和第二边框（22）均安装在基座（1）上，所述固定组件（2）还包括滑动设置于所述第一边框（21）上的若干横向夹板（26），以及滑动设置于所述第二边框（22）上的若干纵向夹板（27）,所述固定组件（2）呈网格状，形成多个用于夹持待镀膜工件（6）的夹持空间；

固定件（3），所述固定件（3）用于将横向夹板（26）固定在第一边框（21）上以及将纵向夹板（27）固定在第二边框（22）上。

2.根据权利要求1所述的一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘，其特征在于，所述横向夹板（26）内开设有沿横向夹板（26）长度方向设置的贯穿槽（261），所述纵向夹板（27）滑动设置在贯穿槽（261）内。

3.根据权利要求1所述的一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘，其特征在于，所述第一边框（21）、第二边框（22）沿着各自的长度方向均开设有定位槽（23），所述定位槽（23）贯穿第一边框（21）、第二边框（22）的顶面与底面，所述定位槽（23）中穿设有用于将第一边框（21）、第二边框（22）固定在基座（1）上的锁定件（24）。

4.根据权利要求3所述的一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘，其特征在于，所述第一边框（21）和第二边框（22）沿着各自的长度方向均开设有与定位槽（23）相连通的滑动槽（25），所述滑动槽（25）贯穿第一边框（21）、第二边框（22）的内侧壁，所述横向夹板（26）与纵向夹板（27）的端部均滑动设置在对应的滑动槽（25）内，所述固定件（3）穿过定位槽（23）并将横向夹板（26）、纵向夹板（27）的端部固定在基座（1）上。

5.根据权利要求4所述的一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘，其特征在于，所述基座（1）上间隔开设有若干的定位孔（11），所述固定件（3）包括蝶形螺钉，所述固定件（3）穿过横向夹板（26）或纵向夹板（27）的端部螺纹连接在定位孔（11）内。

6.根据权利要求4所述的一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘，其特征在于，所述基座（1）上开设有与滑动槽（25）相互贯通的移动槽（12），所述固定件（3）包括蝶形螺钉以及螺纹连接在蝶形螺钉上的螺母，所述蝶形螺钉同时穿过滑动槽（25）和移动槽（12）的端部与螺母螺纹连接。

7.根据权利要求6所述的一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘，其特征在于，所述基座（1）上可拆卸连接有用于覆盖基座（1）表面的衬板（5）。

8.根据权利要求7所述的一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘，其特征在于，所述衬板（5）设置有两块且分别设置在基座（1）的两面。

9.根据权利要求8所述的一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘，其特征在于，所述衬板（5）为方形且开设有与滑动槽（25）相对应的锁定槽（4）。