CN220827500U - 一种硅棒腐蚀支撑装置 - Google Patents

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刘赵博
曹得财
徐雯
陈文凯
尚二磊
刘少豪
杨凡
刘禹邵
何鹏
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Abstract

本实用新型公开了一种硅棒腐蚀支撑装置,包括接触面、底座和尖角;其中,在底座上设置有接触面,接触面呈圆弧型且为整体向下削的刀口设计;以及在接触面表面上均匀安装有至少两个尖角。该实施方式能够有效提高矫正工作效率,降低生产成本。

Description

一种硅棒腐蚀支撑装置
技术领域
本实用新型涉及机械领域,尤其涉及一种硅棒腐蚀支撑装置。
背景技术
在实现本实用新型过程中,发现现有硅棒腐蚀技术中对于支架与硅棒接触面无法达到完全腐蚀,影响腐蚀效果,以及目前没有对接触面不能完全腐蚀进行改进的很好措施。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型实施例提供了一种设计合理、结构简单、制造成本低廉、方便操作的硅棒腐蚀支撑装置,能够提高硅棒腐蚀的成品率,降低生产成本,以及能够避免重复腐蚀造成的原料、工时的浪费,缩短了腐蚀工作的周期。
为实现上述目的,根据本实用新型实施例提供了一种硅棒腐蚀支撑装置,包括接触面、底座和尖角;其中,在底座上设置有接触面,接触面呈圆弧型且为整体向下削的刀口设计;以及在接触面表面上均匀安装有至少两个尖角。
可选地,包括:在呈圆弧型接触面的中心位置上安装有一尖角,且在呈圆弧型接触面中心位置的左右圆弧两边表面上对称安装有尖角。
可选地,包括:在呈圆弧型接触面中心位置的左右圆弧两边表面上分别安装有一尖角。
可选地,包括:接触面整体向下削4mm-6mm。
可选地,包括:尖角的顶部尺寸为长2mm-4mm和宽1mm-3mm。
可选地,包括:底座下表面呈水平,且底座两侧面与下表面垂直。
可选地,包括:在腐蚀花篮的左右两边的卡槽中分别放置两个硅棒腐蚀支撑装置,且每边的两个硅棒腐蚀支撑装置之间间隔两个卡槽。
上述实用新型中的一个实施例具有如下优点或有益效果:本实用新型提供了一种硅棒腐蚀支撑装置,用于腐蚀工序中的硅棒支撑,通过对支撑装置形态的改变,减小支撑装置与硅棒的接触面积,提高硅棒的腐蚀效果,消除接触面腐蚀过后残留的支架痕迹,以及降低了重复腐蚀的次数,极大的提高了腐蚀成品率,节约成本。
上述的非惯用的可选方式所具有的进一步效果将在下文中结合具体实施方式加以说明。
附图说明
附图用于更好地理解本实用新型,不构成对本实用新型的不当限定。其中:
图1是根据本实用新型实施例的硅棒腐蚀支撑装置的结构示意图;
图2是根据本实用新型实施例的硅棒与硅棒腐蚀支撑装置的接触示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的示范性实施例做出说明,其中包括本实用新型实施例的各种细节以助于理解,应当将它们认为仅仅是示范性的。因此,本领域普通技术人员应当认识到,可以对这里描述的实施例做出各种改变和修改,而不会背离本实用新型的范围和精神。同样,为了清楚和简明,以下的描述中省略了对公知功能和结构的描述。
本实用新型的至少一个实施例提供了一种硅棒腐蚀支撑装置,如图1所示,所述硅棒腐蚀支撑装置可以包括接触面1、尖角2和底座3。在实施例中,在底座3上设置有接触面1,接触面1呈圆弧型且为整体向下削的刀口设计,以及在接触,1表面上均匀安装有至少两个尖角2。
值得说明的是,本实用新型所述的硅棒腐蚀支撑装置可以根据实际的硅棒尺寸进行调整,以及所述硅棒腐蚀支撑装置所使用材质为生产中常用材质,不会对硅棒腐蚀造成新的污染。
进一步地,在腐蚀工序中,可以在腐蚀花篮的左右两边的卡槽中分别放置两个本实用新型所述的硅棒腐蚀支撑装置,且每边的两个硅棒腐蚀支撑装置之间间隔两个卡槽。也就是说,在腐蚀工序中,将腐蚀花篮放置在设备导轨上,然后在腐蚀花篮左右两边的卡槽中分别放置两个本实用新型所述的硅棒腐蚀支撑装置,且每边的两个本实用新型所述的硅棒腐蚀支撑装置之间间隔两个卡槽,之后将硅棒分别放入腐蚀花篮内本实用新型所述的硅棒腐蚀支撑装置中,使硅棒完全接触所述硅棒腐蚀支撑装置突出的尖角(如图2所示),进入设备腐蚀。腐蚀结束后,将硅棒从腐蚀花篮中取出,检查接触面腐蚀效果,最后将所述硅棒腐蚀支撑装置从腐蚀花篮中取出,妥善存放以便下次使用。
作为本实用新型的另一些实施例,如图1所示,所述的硅棒腐蚀支撑装置在呈圆弧型接触面1的中心位置上安装有一尖角2,且在呈圆弧型接触面1中心位置的左右圆弧两边表面上对称安装有尖角2。
在较佳的实施例中,在呈圆弧型接触面1中心位置的左右圆弧两边表面上分别安装有一尖角2,从而加上接触面1中心位置上的尖角2,共在接触面1上安装有三个尖角2,以此尖角2与硅棒接触用于支撑。
还值得说明的是,如图1所示,所述硅棒腐蚀支撑装置的底座2下表面呈水平,且底座2两侧面与下表面垂直。
在本实用新型的又一些实施例中,接触面1整体向下削4mm-6mm。优选地,接触面1整体向下削5mm。
还有,在实施例中,尖角2的顶部尺寸可以为长2mm-4mm和宽1mm-3mm。优选地,尖角的顶部尺寸为长3mm、宽2mm。
值得说明的是,本实用新型所述硅棒腐蚀支撑装置的接触面尺寸可根据实际腐蚀产品的棒径进行调整,例如一般棒径的调整范围在40mm-200mm。
本实用新型所述硅棒腐蚀支撑装置可以使得硅棒接触面积最小,例如接触面积大约能小到为0.000018m2,现有技术的接触面积大约为0.00022m2,因此本实用新型所述硅棒腐蚀支撑装置的硅棒接触面积比现有技术缩小了大约12倍,腐蚀返工率降低了大约6倍。
需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”等内容可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
上述具体实施方式,并不构成对本实用新型保护范围的限制。本领域技术人员应该明白的是,取决于设计要求和其他因素,可以发生各种各样的修改、组合、子组合和替代。任何在本实用新型的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型保护范围之内。

Claims (7)

1.一种硅棒腐蚀支撑装置,其特征在于,包括接触面、底座和尖角;
其中,在底座上设置有接触面,接触面呈圆弧型且为整体向下削的刀口设计;以及在接触面表面上均匀安装有至少两个尖角。
2.根据权利要求1所述的硅棒腐蚀支撑装置,其特征在于,包括:
在呈圆弧型接触面的中心位置上安装有一尖角,且在呈圆弧型接触面中心位置的左右圆弧两边表面上对称安装有尖角。
3.根据权利要求2所述的硅棒腐蚀支撑装置,其特征在于,包括:
在呈圆弧型接触面中心位置的左右圆弧两边表面上分别安装有一尖角。
4.根据权利要求1所述的硅棒腐蚀支撑装置,其特征在于,包括:
接触面整体向下削4mm-6mm。
5.根据权利要求1所述的硅棒腐蚀支撑装置,其特征在于,包括:
尖角的顶部尺寸为长2mm-4mm和宽1mm-3mm。
6.根据权利要求1所述的硅棒腐蚀支撑装置,其特征在于,包括:
底座下表面呈水平,且底座两侧面与下表面垂直。
7.根据权利要求1-6任一所述的硅棒腐蚀支撑装置,其特征在于,包括:
在腐蚀花篮的左右两边的卡槽中分别放置两个硅棒腐蚀支撑装置,且每边的两个硅棒腐蚀支撑装置之间间隔两个卡槽。
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