CN220821498U - 一种用于超小尺寸单片晶圆的清洗取干装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及单片晶圆的清洗取干装置技术领域，尤其为一种用于超小尺寸单片晶圆的清洗取干装置，包括清洗装置、清洗喷头、装置本体和固定组件，清洗装置下端设有清洗喷头，装置本体前端固定连接有收集装置，收集装置右端固定连接有出水管，装置本体下端内侧固定连接有支撑板，支撑板上端固定连接有吸风机，吸风机上端固定连接有输风管，装置本体左右两端内侧固定连接有防水板，防水板上端固定连接有固定组件，本实用新型中，通过设置吸风机，吸风机通过吸附孔对单片晶圆进行吸附固定，改变了固定组件对单片晶圆固定的方式，进而减少固定组件与单片晶圆接触位置堆积化学清洁液的结晶，提高了单片晶圆的清洗质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及单片晶圆的清洗取干装置技术领域，具体为一种用于超小尺寸单片晶圆的清洗取干装置。
背景技术
随着超小尺寸单片晶圆清洗质量要求进一步提高，很多生产企业选择采用湿法工艺对单片晶圆的表面进行清洗，一般是先通过承载装置支撑单片晶圆，并带动单片晶圆的转动，同时再通过相应的清洗喷头对单片晶圆的表面喷洒化学清洗液，使得化学清洗液随着单片晶圆的转动在晶圆的表面进行扩散并甩出，从而实现单片晶圆的清洗。
大多数的承载装置上均设置有用于夹持单片晶圆的组件，这种组件沿着单片晶圆的外轮廓相互配合，进而对单片晶圆进行固定，然后使用化学清洗液对单片晶圆进行清洗，然而在清洗过程中固定组件与单片晶圆的接触位置会堆积化学清洗液的结晶，难以去除，产极大地影响了单片晶圆的清洗质量，因此，针对上述问题，我们提出了一种用于超小尺寸单片晶圆的清洗取干装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于超小尺寸单片晶圆的清洗取干装置，以解决在清洗过程中固定组件与单片晶圆的接触位置会堆积化学清洗液的结晶，难以去除，产极大地影响了单片晶圆清洗质量的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种用于超小尺寸单片晶圆的清洗取干装置，包括清洗装置、清洗喷头、装置本体和固定组件，所述清洗装置下端设有清洗喷头，所述装置本体前端固定连接有收集装置，所述收集装置右端固定连接有出水管，所述装置本体下端内侧固定连接有支撑板，所述支撑板上端固定连接有吸风机，所述吸风机上端固定连接有输风管，所述装置本体左右两端内侧固定连接有防水板，所述防水板上端固定连接有固定组件，所述固定组件左端固定连接有海绵垫，所述防水板上端固定连接有放置台，所述放置台上端固定连接有防滑垫，所述装置本体上端固定连接有保护壳，所述保护壳上端内侧固定连接有过滤网，所述保护壳上端固定连接有电机，所述电机主轴末端固定连接有风扇，所述放置台前端开设有吸附孔。
优选的，所述支撑板外形为圆柱形，所述输风管数量若干，所述固定组件数量若干。
优选的，所述固定组件位于放置台左右两端，所述放置台数量为若干，所述海绵垫数量若干。
优选的，所述防滑垫数量若干，所述防滑垫外形为圆形，所述防滑垫位于吸附孔右端。
优选的，所述风扇上端转动连接有保护壳，所述吸附孔数量若干，所述吸附孔外形为圆形，所述输风管上端外侧固定连接有防水板，所述输风管上端固定连接有放置台。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型中，通过设置吸风机、输风管、防水板、放置台、防滑垫、风扇和吸附孔，方便吸风机通过吸附孔对单片晶圆进行吸附固定，改变了原有的固定组件对单片晶圆固定的方式，进而减少固定组件与单片晶圆接触位置堆积化学清洁液的结晶，提高了单片晶圆的清洗质量。
附图说明
图1为本实用新型整体结构示意图；
图2为本实用新型装置本体剖视结构示意图；
图3为本实用新型图2的A处结构示意图；
图4为本实用新型装置本体俯视结构示意图；
图5为本实用新型图4的B处结构示意图。
图中：1、清洗装置；2、清洗喷头；3、装置本体；4、收集装置；5、出水管；6、支撑板；7、吸风机；8、输风管；9、防水板；10、固定组件；11、海绵垫；12、放置台；13、防滑垫；14、保护壳；15、过滤网；16、电机；17、风扇；18、吸附孔。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：
一种用于超小尺寸单片晶圆的清洗取干装置，包括清洗装置1、清洗喷头2、装置本体3和固定组件10，清洗装置1下端设有清洗喷头2，装置本体3前端固定连接有收集装置4，收集装置4右端固定连接有出水管5，装置本体3下端内侧固定连接有支撑板6，支撑板6上端固定连接有吸风机7，吸风机7上端固定连接有输风管8，装置本体3左右两端内侧固定连接有防水板9，防水板9上端固定连接有固定组件10，固定组件10左端固定连接有海绵垫11，防水板9上端固定连接有放置台12，放置台12上端固定连接有防滑垫13，装置本体3上端固定连接有保护壳14，保护壳14上端内侧固定连接有过滤网15，保护壳14上端固定连接有电机16，电机16主轴末端固定连接有风扇17，放置台12前端开设有吸附孔18。
清洗装置1下端设有清洗喷头2，装置本体3前端固定连接有收集装置4，收集装置4右端固定连接有出水管5，装置本体3下端内侧固定连接有支撑板6，支撑板6外形为圆柱形，支撑板6上端固定连接有吸风机7，方便吸风机7通过吸附孔18对单片晶圆进行吸附固定，改变了原有的固定组件10对单片晶圆固定的方式，进而减少固定组件10与单片晶圆接触位置堆积化学清洁液的结晶，提高了单片晶圆的清洗质量；吸风机7上端固定连接有输风管8，输风管8数量若干，输风管8上端外侧固定连接有防水板9，输风管8上端固定连接有放置台12，装置本体3左右两端内侧固定连接有防水板9，防水板9上端固定连接有固定组件10，方便对单片晶圆进行处固定，减少清洗单片晶圆移动，对单片晶圆造成损坏；固定组件10数量若干，固定组件10位于放置台12左右两端，固定组件10左端固定连接有海绵垫11，方便保护单片晶圆，减少固定组件10对单片晶圆边缘挤压损坏；海绵垫11数量若干，防水板9上端固定连接有放置台12，放置台12数量为若干，放置台12上端固定连接有防滑垫13，方便对单片晶圆起到防滑作用，减少单片晶圆冲洗时移动造成损坏；防滑垫13数量若干，防滑垫13外形为圆形，防滑垫13位于吸附孔18右端，装置本体3上端固定连接有保护壳14，保护壳14上端内侧固定连接有过滤网15，保护壳14上端固定连接有电机16，电机16主轴末端固定连接有风扇17，方便电机16带动风扇17转动，将污水吹进收集装置4内，对单片晶圆进行吹干；风扇17上端转动连接有保护壳14，放置台12前端开设有吸附孔18，吸附孔18数量若干，吸附孔18外形为圆形。
工作流程：装置在使用的过程中外接电源进行通电，将单片晶圆放置在放置台12上，装置本体3左右两端内侧固定连接有防水板9，防水板9上端固定连接有放置台12，放置台12上端固定连接有防滑垫13，放置台12上端固定连接有固定组件10，固定组件10一侧固定连接有海绵垫11，固定组件10通过海绵垫11对单片晶圆进行固定，装置本体3下端内侧固定连接有支撑板6，支撑板6上端固定连接有吸风机7，启动吸风机7，吸风机7上端固定连接有输风管8，输风管8上端固定连接有放置台12，放置台12前端开设有吸附孔18，吸风机7通过吸附孔18对单片晶圆进行吸附固定，打开清洗装置1，清洗装置1下端设有清洗喷头2，化学清洗液从清洗喷头2流出，对单片晶圆进行清洗，使用化学清洗液对单片晶圆清洗完成后，打开固定组件10，将化学清洗液改成清水再次对单片晶圆进行冲洗，将单片晶圆上的化学清洗液清除，装置本体3前端固定连接有收集装置4，装置本体3上端固定连接有保护壳14，保护壳14上端固定连接有电机16，启动电机16，电机16带动风扇17转动，进而将污水通过防水板9吹到收集装置4内，收集装置4右端固定连接有出水管5，污水从出水管5流出收集装置4。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种用于超小尺寸单片晶圆的清洗取干装置，包括清洗装置(1)、清洗喷头(2)、装置本体(3)和固定组件(10)，其特征在于：所述清洗装置(1)下端设有清洗喷头(2)，所述装置本体(3)前端固定连接有收集装置(4)，所述收集装置(4)右端固定连接有出水管(5)，所述装置本体(3)下端内侧固定连接有支撑板(6)，所述支撑板(6)上端固定连接有吸风机(7)，所述吸风机(7)上端固定连接有输风管(8)，所述装置本体(3)左右两端内侧固定连接有防水板(9)，所述防水板(9)上端固定连接有固定组件(10)，所述固定组件(10)左端固定连接有海绵垫(11)，所述防水板(9)上端固定连接有放置台(12)，所述放置台(12)上端固定连接有防滑垫(13)，所述装置本体(3)上端固定连接有保护壳(14)，所述保护壳(14)上端内侧固定连接有过滤网(15)，所述保护壳(14)上端固定连接有电机(16)，所述电机(16)主轴末端固定连接有风扇(17)，所述放置台(12)前端开设有吸附孔(18)。
2.根据权利要求1所述的一种用于超小尺寸单片晶圆的清洗取干装置，其特征在于：所述支撑板(6)外形为圆柱形，所述输风管(8)数量若干，所述固定组件(10)数量若干。
3.根据权利要求1所述的一种用于超小尺寸单片晶圆的清洗取干装置，其特征在于：所述固定组件(10)位于放置台(12)左右两端，所述放置台(12)数量为若干，所述海绵垫(11)数量若干。
4.根据权利要求1所述的一种用于超小尺寸单片晶圆的清洗取干装置，其特征在于：所述防滑垫(13)数量若干，所述防滑垫(13)外形为圆形，所述防滑垫(13)位于吸附孔(18)右端。
5.根据权利要求1所述的一种用于超小尺寸单片晶圆的清洗取干装置，其特征在于：所述风扇(17)上端转动连接有保护壳(14)，所述吸附孔(18)数量若干，所述吸附孔(18)外形为圆形，所述输风管(8)上端外侧固定连接有防水板(9)，所述输风管(8)上端固定连接有放置台(12)。
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