CN220818660U - 一种高纯硫酸电子级提纯用加热炉 - Google Patents
一种高纯硫酸电子级提纯用加热炉 Download PDFInfo
- Publication number
- CN220818660U CN220818660U CN202322675530.3U CN202322675530U CN220818660U CN 220818660 U CN220818660 U CN 220818660U CN 202322675530 U CN202322675530 U CN 202322675530U CN 220818660 U CN220818660 U CN 220818660U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- pipe
- heating furnace
- sulfuric acid
- cooling
- heat exchanger
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 70
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 238000000746 purification Methods 0.000 title claims abstract description 10
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 49
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 14
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 abstract description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 5
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 2
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 2
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003044 adaptive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
Abstract
一种高纯硫酸电子级提纯用加热炉，其包括用于使用的加热炉，加热炉一侧设置的输入管道，输入管道上设置的第一套管换热器，第一套管换热器的一侧设置的入料管，加热炉的一侧设置的输出管道，输出管道上安装的第二套管换热器以及第二套管换热器的一侧设置的收集罩，还包括冷却组件，所述收集罩的顶端设置有散热块，收集罩的一侧设置有冷却组件，散热块的内部设置有若干个插孔，插孔的内部设置有限位盘，限位盘的一侧设置有连接柱，连接柱的顶端设置有横杆；本实用新型结构新颖，构思巧妙，便于对收集罩进行加强散热，同时，可提高对硫酸和水蒸气的冷却面积，延长冷却时间，从而提高冷却效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及连接器模具，具体为一种高纯硫酸电子级提纯用加热炉。
背景技术
高纯硫酸又称电子级硫、超纯硫酸，属于超净高纯试剂，是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂，广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程，主要用于硅晶片的清洗和蚀刻，可有效除去晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。
目前硫酸提纯原料多为工业硫酸，需要将原料中的渣滓除去，比较常见的方式是蒸馏，将工业硫酸加热至硫酸沸点，逐步冷却将硫酸保留下来，水和其他低沸物质被去除，但是目前提纯硫酸的装置在冷却提取硫酸时，温度不可控，不便于知道管中的具体温度，这会降低硫酸提纯的效率。
为此出现了申请号为：202020572601.0一种高纯硫酸电子级提纯装置可以较好的解决上述问题，但现有的高纯硫酸电子级提纯用加热炉在使用时，对于硫酸和水蒸气的冷却性能不足，冷却面积和冷却时间均较小，冷却效果差，不利于硫酸和水蒸气的冷却收集。
实用新型内容
针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种高纯硫酸电子级提纯用加热炉，有效的解决了现有的高纯硫酸电子级提纯用加热炉在使用时，对于硫酸和水蒸气的冷却性能不足，冷却面积和冷却时间均较小，冷却效果差，不利于硫酸和水蒸气的冷却收集的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：本实用新型包括用于使用的加热炉，加热炉一侧设置的输入管道，输入管道上设置的第一套管换热器，第一套管换热器的一侧设置的入料管，加热炉的一侧设置的输出管道，输出管道上安装的第二套管换热器以及第二套管换热器的一侧设置的收集罩，还包括冷却组件，所述收集罩的顶端设置有散热块，收集罩的一侧设置有冷却组件，散热块的内部设置有若干个插孔，插孔的内部设置有限位盘，限位盘的一侧设置有连接柱，连接柱的顶端设置有横杆；
所述冷却组件包括壳体、冷却腔、回液管、蛇形管、进料管、排料管和加液管，壳体的内部设置有冷却腔，冷却腔的底部设置有回液管，冷却腔的内部平行设置有两个蛇形管，蛇形管的一端设置有进料管，蛇形管的另一端设置有排料管。
优选的，所述散热块对应连接柱位置处开设有通孔。
优选的，所述横杆顶端的中部设置有推拉柄，推拉柄为一种耐高温材质的构件。
优选的，所述限位盘、连接柱和横杆均由纯铝制成。
优选的，所述壳体内的一个蛇形管的进料管与硫酸管连接，壳体内的另一个蛇形管的进料管与空气管连接。
优选的，所述壳体顶部的一侧设置有加液管。
有益效果：本实用新型使用时，收集罩产生的热量会传递给散热块通过散热块将热量散出，当需要加大散热性能时，拉动推拉柄，推拉柄拉动横杆，横杆拉动连接柱由插孔拉出，此时，连接柱伸出，可提高散热性能，不需要加强散热时，推动推拉柄，推拉柄推动横杆，横杆推动连接柱进入到插孔内，即可完成连接柱的收纳，使用时，冷却液经加液管进入到壳体的内部，这样，经过两个蛇形管的硫酸和水蒸气被冷却液进行冷却，便于对硫酸和水蒸气进行冷却收集，设置的蛇形管可提高硫酸和水蒸气的冷却面积，延长冷却时间，从而提高冷却效果。本实用新型结构新颖，构思巧妙，便于对收集罩进行加强散热，同时，可提高对硫酸和水蒸气的冷却面积，延长冷却时间，从而提高冷却效果。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
图1是本实用新型整体结构示意图；
图2是本实用新型冷却组件结构示意图；
图3是本实用新型收集罩结构示意图；
图中标号：1、加热炉；2、输入管道；3、第一套管换热器；4、入料管；5、输出管道；6、第二套管换热器；7、收集罩；71、散热块；72、插孔；73、限位盘；74、连接柱；75、通孔；76、横杆；77、推拉柄；8、冷却组件；81、壳体；82、冷却腔；83、回液管；84、蛇形管；85、进料管；86、排料管；87、加液管。
具体实施方式
下面结合附图1-3对本实用新型的具体实施方式做进一步详细说明。
实施例一，由图1-3给出，本实用新型提供一种高纯硫酸电子级提纯用加热炉，包括用于使用的加热炉1，加热炉1一侧设置的输入管道2，输入管道2上设置的第一套管换热器3，第一套管换热器3的一侧设置的入料管4，加热炉1的一侧设置的输出管道5，输出管道5上安装的第二套管换热器6以及第二套管换热器6的一侧设置的收集罩7，还包括冷却组件8，收集罩7的顶端设置有散热块71，收集罩7的一侧设置有冷却组件8，散热块71的内部设置有若干个插孔72，插孔72的内部设置有限位盘73，限位盘73的一侧设置有连接柱74，连接柱74的顶端设置有横杆76；
冷却组件8包括壳体81、冷却腔82、回液管83、蛇形管84、进料管85、排料管86和加液管87，壳体81的内部设置有冷却腔82，冷却腔82的底部设置有回液管83，冷却腔82的内部平行设置有两个蛇形管84，蛇形管84的一端设置有进料管85，蛇形管84的另一端设置有排料管86。
具体使用时：本实用新型使用时，收集罩7产生的热量会传递给散热块71通过散热块将热量散出，当需要加大散热性能时，拉动推拉柄77，推拉柄77拉动横杆76，横杆76拉动连接柱74由插孔72拉出，此时，连接柱74伸出，可提高散热性能，不需要加强散热时，推动推拉柄77，推拉柄77推动横杆76，横杆76推动连接柱74进入到插孔72内，即可完成连接柱74的收纳，使用时，冷却液经加液管87进入到壳体81的内部，这样，经过两个蛇形管84的硫酸和水蒸气被冷却液进行冷却，便于对硫酸和水蒸气进行冷却收集，设置的蛇形管84可提高硫酸和水蒸气的冷却面积，延长冷却时间，从而提高冷却效果。
有益效果：本实用新型结构新颖，构思巧妙，便于对收集罩7进行加强散热，同时，可提高对硫酸和水蒸气的冷却面积，延长冷却时间，从而提高冷却效果。
实施例二
实施例一中连接柱74使用不便，参照图1，作为另一优选实施例，与实施例一的区别在于，散热块71对应连接柱74位置处开设有通孔75，便于连接柱74的穿过使用。
实施例三
实施例一中横杆76推拉不便，参照图1，作为另一优选实施例，与实施例一的区别在于，横杆76顶端的中部设置有推拉柄77，推拉柄77为一种耐高温材质的构件，便于横杆76的推拉使用。
实施例四
实施例一中限位盘73、连接柱74和横杆76散热性能不足，参照图1，作为另一优选实施例，与实施例一的区别在于，限位盘73、连接柱74和横杆76均由纯铝制成，使得限位盘73、连接柱74和横杆76具有较好的散热性能。
实施例五
实施例一中蛇形管84使用不便，参照图1，作为另一优选实施例，与实施例一的区别在于，壳体81内的一个蛇形管84的进料管85与硫酸管连接，壳体81内的另一个蛇形管84的进料管85与空气管连接，便于蛇形管84的配合使用。
实施例六
实施例一中壳体81冷却液加入不便，参照图1，作为另一优选实施例，与实施例一的区别在于，壳体81顶部的一侧设置有加液管87，便于壳体81内冷却液的加入使用。
通过本领域人员，将本案中所有电气件与其适配的电源通过导线进行连接，并且应该根据实际情况，选择合适的控制器以及编码器，以满足控制需求，具体连接以及控制顺序，应参考下述工作原理中，各电气件之间先后工作顺序完成电性连接，其详细连接手段，为本领域公知技术，下述主要介绍工作原理以及过程，不再对电气控制做说明。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种高纯硫酸电子级提纯用加热炉，包括用于使用的加热炉(1)，加热炉(1)一侧设置的输入管道(2)，输入管道(2)上设置的第一套管换热器(3)，第一套管换热器(3)的一侧设置的入料管(4)，加热炉(1)的一侧设置的输出管道(5)，输出管道(5)上安装的第二套管换热器(6)以及第二套管换热器(6)的一侧设置的收集罩(7)，其特征在于：还包括冷却组件(8)，所述收集罩(7)的顶端设置有散热块(71)，收集罩(7)的一侧设置有冷却组件(8)，散热块(71)的内部设置有若干个插孔(72)，插孔(72)的内部设置有限位盘(73)，限位盘(73)的一侧设置有连接柱(74)，连接柱(74)的顶端设置有横杆(76)；
所述冷却组件(8)包括壳体(81)、冷却腔(82)、回液管(83)、蛇形管(84)、进料管(85)、排料管(86)和加液管(87)，壳体(81)的内部设置有冷却腔(82)，冷却腔(82)的底部设置有回液管(83)，冷却腔(82)的内部平行设置有两个蛇形管(84)，蛇形管(84)的一端设置有进料管(85)，蛇形管(84)的另一端设置有排料管(86)。
2.如权利要求1所述的一种高纯硫酸电子级提纯用加热炉，其特征在于：所述散热块(71)对应连接柱(74)位置处开设有通孔(75)。
3.如权利要求1所述的一种高纯硫酸电子级提纯用加热炉，其特征在于：所述横杆(76)顶端的中部设置有推拉柄(77)，推拉柄(77)为一种耐高温材质的构件。
4.如权利要求1所述的一种高纯硫酸电子级提纯用加热炉，其特征在于：所述限位盘(73)、连接柱(74)和横杆(76)均由纯铝制成。
5.如权利要求1所述的一种高纯硫酸电子级提纯用加热炉，其特征在于：所述壳体(81)内的一个蛇形管(84)的进料管(85)与硫酸管连接，壳体(81)内的另一个蛇形管(84)的进料管(85)与空气管连接。
6.如权利要求1所述的一种高纯硫酸电子级提纯用加热炉，其特征在于：所述壳体(81)顶部的一侧设置有加液管(87)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322675530.3U CN220818660U (zh) | 2023-09-28 | 2023-09-28 | 一种高纯硫酸电子级提纯用加热炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322675530.3U CN220818660U (zh) | 2023-09-28 | 2023-09-28 | 一种高纯硫酸电子级提纯用加热炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN220818660U true CN220818660U (zh) | 2024-04-19 |
Family
ID=90673855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202322675530.3U Active CN220818660U (zh) | 2023-09-28 | 2023-09-28 | 一种高纯硫酸电子级提纯用加热炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN220818660U (zh) |
-
2023
- 2023-09-28 CN CN202322675530.3U patent/CN220818660U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN201293597Y (zh) | 电场强化传热换热器 | |
| CN220818660U (zh) | 一种高纯硫酸电子级提纯用加热炉 | |
| CN112794285B (zh) | 一种制氢方法及制氢系统 | |
| CN201180088Y (zh) | 新型快开式、水冷结构的多晶硅还原炉 | |
| CN217541513U (zh) | 一种方形石墨坩埚余热冷却炉 | |
| CN206935918U (zh) | 一种太阳能电池硅片酸洗槽 | |
| CN212417999U (zh) | 用于消解回流设备的多工位独立加热及转移样品的装置 | |
| CN213613041U (zh) | 一种硅片清洗装置 | |
| CN101377300A (zh) | 带有冷却设施的电站锅炉除渣装置 | |
| CN212632206U (zh) | 一种污泥制砖生产烘干窑高温蒸汽回收装置 | |
| CN201245444Y (zh) | 石英玻璃精馏塔 | |
| CN213866053U (zh) | —种具有快速降温功能的石墨用碳化炉 | |
| CN217067726U (zh) | 一种二氧化碳提纯高效精馏洗装置 | |
| CN201242376Y (zh) | Cvd或stc反应尾气热回收装置 | |
| CN221217559U (zh) | 一种锅炉冷凝水循环利用装置 | |
| CN221147230U (zh) | 一种大型工业炉余热回收处理设备 | |
| CN218529830U (zh) | 一种回收热量的环保型的精馏塔 | |
| CN217302808U (zh) | 一种co炉电加热装置 | |
| CN212976496U (zh) | 一种用于模具加工的冷却液循环装置 | |
| CN205164158U (zh) | 一种微型蒸发浓缩装置 | |
| CN211688271U (zh) | 一种石墨烯高效剥离装置 | |
| CN214570794U (zh) | 一种硫酸锰蒸发结晶用表面冷凝器 | |
| CN215217278U (zh) | 一种工业余热回收用换热器 | |
| CN211078477U (zh) | 一种工业生产电子级硝酸的纯化装置 | |
| CN219531758U (zh) | 一种甲醛溶液生产线冷却装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |