CN220802369U - 过滤系统及具有其的晶体生长装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种过滤系统及具有其的晶体生长装置，过滤系统包括过滤罐、抽气机构和吹气机构和排尘机构，过滤罐设有多个且至少存在两个过滤罐之间连接有通断阀，每个过滤罐的进气端均与长晶炉连接，且每个过滤罐和长晶炉之间分别设置有一个进气开关阀，抽气机构与每个过滤罐的出气端均连接，抽气机构与每个过滤罐之间分别设有一个排气开关阀，吹气机构与每个过滤罐的进气端均连接，且吹气机构与每个过滤罐之间分别设有一个吹气开关阀，排尘机构与每个过滤罐的出气端均连接，且排尘机构与每个过滤罐之间分别设有一个排尘开关阀。根据本实用新型的过滤系统，可以避免因清洁过滤罐导致的长晶炉停机，利于保证晶体生长的连续性。

Description

过滤系统及具有其的晶体生长装置

技术领域

本实用新型涉及晶体生长技术领域，尤其是涉及一种过滤系统及具有其的晶体生长装置。

背景技术

直拉单晶制造法通常在维持成真空环境的炉室内进行，具体地，将晶种浸渍于坩埚内所积存的硅的原料熔汤中，并将浸渍的晶种缓慢提拉，通过这种方式于晶种的下方生长出单晶体。其中，通常使用真空泵抽吸炉室内的气体以保证炉室内可以保持在真空状态，但原料如硅原料在坩埚内融化的过程中，会生成少量SiO等持续性挥发物。

为避免SiO等持续性挥发物冷却后凝聚成细小粉尘进入真空泵内，单晶炉的真空系统和炉室之间设置有过滤罐，通过过滤罐过滤掉细小粉尘。正常生产时，粉尘会附着在过滤罐的滤芯中，就需要对过滤罐进行清洁。相关技术中过滤罐的清洁往往需要停止长晶，取出过滤罐的滤芯，人工使用毛刷和吸尘装置对滤芯进行清扫，影响长晶过程的连续性。

实用新型内容

本实用新型提出了一种过滤系统，所述过滤系统可以避免因清洁过滤罐导致的长晶炉停机，利于保证晶体生长的连续性。

根据本实用新型第一方面实施例的过滤系统，用于长晶炉，包括：过滤罐，所述过滤罐设有多个，多个所述过滤罐中至少存在两个所述过滤罐之间连接有通断阀，每个所述过滤罐的进气端均与长晶炉连接，且每个所述过滤罐和所述长晶炉之间分别设置有一个进气开关阀；抽气机构，所述抽气机构与每个所述过滤罐的出气端均连接，所述抽气机构与每个所述过滤罐之间分别设有一个排气开关阀；吹气机构，所述吹气机构与每个所述过滤罐的进气端均连接，且所述吹气机构与每个所述过滤罐之间分别设有一个吹气开关阀；排尘机构，所述排尘机构与每个所述过滤罐的出气端均连接，且所述排尘机构与每个所述过滤罐之间分别设有一个排尘开关阀。

根据本实用新型第一方面实施例的过滤系统，可以通过控制多个过滤罐对应的进气开关阀、排气开关阀、吹气开关阀以及排尘开关阀的通断，实现部分过滤罐通过吹气机构和排尘结构清洁的同时，其余的部分过滤罐可以保持在连通长晶炉与抽气机构连通的状态以保证长晶炉内的真空状态，从而可以避免因清洁过滤罐导致的长晶炉停机，利于保证晶体生长的连续性。

根据本实用新型的一些实施例，所述通断阀开启后，两个所述过滤罐内达到的平衡压力为25Torr。

根据本实用新型的一些实施例，至少两个过滤罐之间均设有平衡压力管，所述平衡压力管的两端分别与两个所述过滤罐连通，所述平衡压力管内设有所述通断阀，所述平衡压力管的内径范围为0.3至0.7mm。

根据本实用新型的一些实施例，所述过滤系统还包括排气支管，所述排气支管与所述过滤罐的数量相同且一一对应，所述排气支管的两端分别与所述过滤罐以及所述抽气机构连通，所述排气开关阀设于所述排气支管内，所述平衡压力管的两端分别与两个所述过滤罐对应的排气支管连接，且所述平衡压力管与所述排气支管的连接位置位于所述排气支管内的所述排气开关阀的上游侧。

根据本实用新型的一些实施例，所述抽气机构包括：真空泵；抽气管道，所述抽气管道的两端分别连通所述过滤罐以及所述真空泵；调节阀，所述调节阀设于所述抽气管道内，所述调节阀用于调节所述抽气管道内的流量。

根据本实用新型的一些实施例，所述吹气机构包括：储气罐，所述储气罐具有补气口和出气口，所述出气口与所述吹气开关阀连接；补气管道，所述补气管道与所述补气口连通；补气闸阀，所述补气闸阀设置于所述补气管道中，所述补气闸阀用于调节所述储气罐内的储气量。

根据本实用新型的一些实施例，所述吹气机构还包括：压力传感器，所述压力传感器与所述储气罐连接，用于检测所述储气罐内的压力。

根据本实用新型的一些实施例，所述过滤罐上设有泄压阀，所述泄压阀用于调整所述过滤罐内压力；和/或，所述过滤罐的底部呈倒锥形，所述过滤罐的下端形成有与所述排尘开关阀连接的排尘口。

根据本实用新型的一些实施例，所述过滤罐形成有过滤腔，所述过滤腔内设有滤芯，所述过滤罐包括：罐体；盖体，所述盖体可拆卸地设于所述罐体，所述罐体与所述盖体共同限定出所述过滤腔；密封圈，所述密封圈设于所述罐体与所述盖体的连接处。

根据本实用新型第二方面实施例的晶体生长装置，包括：长晶炉，所述长晶炉内形成有炉室；上述过滤系统，所述过滤罐的进气端适于与所述炉室连通。

根据本实用新型第二方面实施例的晶体生长装置，可以通过控制多个过滤罐对应的进气开关阀、排气开关阀、吹气开关阀以及排尘开关阀的通断，实现部分过滤罐通过吹气机构和排尘结构的清洁的同时，其余的部分过滤罐可以保持在连通长晶炉与抽气机构连通的状态以保证长晶炉内的真空状态，从而可以避免因清洁过滤罐导致的长晶炉停机，利于保证晶体生长的连续性。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1是根据本实用新型实施例的晶体生长装置的示意图；

图2是图1中A区域的放大图。

附图标记：

晶体生长装置1000；

过滤系统100；

过滤罐1；第一过滤罐1a；第二过滤罐1b；罐体11；盖体12；过滤腔13；进气口14；排气口15；吹气口16；排尘口17；

通断阀21；进气开关阀22；排气开关阀23；吹气开关阀24；排尘开关阀25；

抽气机构3；真空泵31；抽气管道32；调节阀33；

吹气机构4；储气罐41；补气口411；出气口412；补气管道42；补气闸阀43；压力传感器44；

排尘机构5；滤芯6；

平衡压力管71；进气支管72；排气支管73；吹气支管74；排尘支管75；

泄压阀8；

长晶炉200；炉室210。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的可应用于性和/或其他材料的使用。

下面参考附图描述根据本实用新型实施例的过滤系统100。

如图1和图2所示，根据本实用新型实施例的过滤系统100，包括：过滤罐1、抽气机构3、吹气机构4和排尘机构5。过滤罐1设有多个，这里的多个指的是两个或两个以上，例如，过滤罐1的数量可以是两个、三个、四个等等，这里不做具体限制。其中，多个过滤罐1中至少存在两个过滤罐1之间连接有通断阀。因此，可以通过通断阀21控制与通断阀21连接的两个过滤罐1之间的直接连通或截止。具体地，当通断阀21导通时，与通断阀21连接的两个过滤罐1之间可以通过通断阀21形成连通的流路以便于两个过滤罐1之间的气体流动，使得两个过滤罐1之间的压差逐渐缩小直至两个过滤罐1内的压力平衡即相同；当通断阀21截止时，与通断阀21连接的两个过滤罐1之间的流路被截止。

进一步地，每个过滤罐1的进气端均与长晶炉200连接，且每个过滤罐1和长晶炉200之间分别设有一个进气开关阀22。也就是说，进气开关阀22与过滤罐1的数量相同且一一对应，可以通过进气开关阀22控制对应的过滤罐1与长晶炉200的炉室210之间的连通或截止。具体地，当进气开关阀22导通时，过滤罐1可以通过对应的进气开关阀22与长晶炉200的炉室210之间形成连通的流路，炉室210内的空气可以通过进气开关阀22以及过滤罐1的进气端进入过滤罐1内过滤处理；当进气开关阀22截止时，炉室210与过滤罐1之间的流路被截止，炉室210内的空气无法通过进气开关阀22进入过滤罐1内。

抽气机构3与每个过滤罐1的出气端连接，抽气机构3与每个过滤罐1之间分别设有一个排气开关阀23。也就是说，排气开关阀23与过滤罐1的数量相同且一一对应，因此，可以通过排气开关阀23控制对应的过滤罐1与抽气机构3之间的连通或截止，其中，抽气机构3适于产生吸力。具体地，当排气开关阀23导通时，过滤罐1通过对应的排气开关阀23与抽气机构3之间形成连通的流路，过滤罐1内的气体可以通过出气端以及排气开关阀23被抽气机构3抽走；当排气开关阀23截止时，过滤罐1与抽气机构3之间的流路被截止。因此，过滤罐1对应的进气开关阀22和排气开关阀23均导通时，长晶炉200的炉室210内的气体可以通过过滤罐1流向抽气机构3，即，通过抽气机构3将炉室210内的气体抽离，以保持炉室210内的真空状态，为晶体的生长提供稳定的生长环境以提升晶体的生长质量，此外，在气体流经过滤罐1时可以过滤炉室210排出的气体中的灰尘等杂质，从而可以避免炉室210内的气体中的灰尘等杂质直接进入抽气机构3内影响抽气机构3的可靠性。

吹气机构4与每个过滤罐1的进气端连接，且吹气机构4与每个过滤罐1之间分别设有一个吹气开关阀24。也就是说，吹气开关阀24与过滤罐1的数量相同且一一对应，因此，可以通过吹气开关阀24控制对应的过滤罐1与吹气机构4之间的连通或截止。具体地，当吹气开关阀24导通时，吹气机构4通过吹气开关阀24与过滤罐1之间形成连通的流路，从而使得吹气机构4可以通过吹气开关阀24和过滤罐1的进气端向过滤罐1内吹气，吹向过滤罐1内的气流可以较好地将过滤罐1内拦截的灰尘等杂质吹散吹落，以保证过滤罐1的过滤性能；当吹气开关阀24截止时，吹气机构4与过滤罐1之间的流路被截止，吹气机构4无法向过滤罐1内吹气。在一个具体示例中，过滤罐1内设有用于过滤气体中灰尘等杂质的滤芯6，气体穿过滤芯6时灰尘等杂质被拦截在滤芯6上，通过吹气机构4朝向滤芯6吹气可以将滤芯6上堆积的灰尘等杂质吹落，以防止滤芯6上灰尘等杂质堆积影响滤芯6的过滤效果。

排尘机构5与每个过滤罐1的出气端均连接，且排尘机构5与每个过滤罐1之间分别设有一个排尘开关阀25。也就是说，排尘开关阀25与过滤罐1的数量相同且一一对应，因此，可以通过排尘开关阀25控制对应的过滤罐1与排尘机构5之间的连通或截止。具体地，当排尘开关阀25导通时，过滤罐1通过排尘开关阀25与排尘机构5之间形成连通的流路，因此，过滤罐1内的灰尘等杂质可以通过排尘开关阀25进入排尘机构5内，即通过排尘机构5可以较好地回收、集中过滤罐1内过滤的灰尘等杂质，以避免灰尘等杂质在过滤罐1内堆积影响过滤罐1的过滤效果；当排尘开关阀25截止时，过滤罐1与排尘机构5之间的流路被截止。

因此，过滤罐1对应的吹气开关阀24和排尘开关阀25均导通时，通过吹气机构4与排尘机构5的配合，可以较好地实现对过滤罐1内的灰尘等杂质的清洁回收，可以避免灰尘等杂质在过滤罐1内堆积影响过滤罐1内的气体流动阻力，从而可以避免过滤罐1内的气体流动阻力增大导致的长晶炉200内压力波动，利于提升晶体在长晶炉200内的生长质量。同时，可以较好地减少频繁开启过滤罐1及人工清洁过滤罐1内的次数，减轻工人的劳动强度，提高晶体的生产效率。此外，过滤罐1内的清理无需人工介入，从而可以避免工作人员接触长晶炉200内产生的挥发性强、有毒有害的物质，以提升过滤罐1清理过程的安全性。

由此，晶体在长晶炉200的生长过程中，可以通过控制多个过滤罐1对应的进气开关阀22、排气开关阀23、吹气开关阀24以及排尘开关阀25的通断，实现部分过滤罐1通过吹气机构4和排尘结构5清洁的同时，其余的部分过滤罐1可以保持在连通长晶炉200与抽气机构3连通的状态以保证长晶炉200内的真空状态，从而可以避免因清洁过滤罐1导致的长晶炉200停机，利于保证晶体生长的连续性。

根据本实用新型实施例的过滤系统100，可以通过控制多个过滤罐1对应的进气开关阀22、排气开关阀23、吹气开关阀24以及排尘开关阀25的通断，实现部分过滤罐1通过吹气机构4和排尘结构5清洁的同时，其余的部分过滤罐1可以保持在连通长晶炉200与抽气机构3连通的状态以保证长晶炉200内的真空状态，从而可以避免因清洁过滤罐1导致的长晶炉200停机，利于保证晶体生长的连续性。

具体地，过滤罐1具有过滤状态、清洁状态以及在由清洁状态切换至过滤状态过程中的切换状态，至少存在一个过滤罐1处于过滤状态，其中，在过滤状态，过滤罐1通过对应的进气开关阀22与长晶炉200连通、通过对应的排气开关阀23与抽气机构3连通、通过对应的吹气开关阀24与吹气机构4截止且通过对应的排尘开关阀25与排尘机构5截止。也就是说，在过滤罐1处于过滤状态时，长晶炉200的炉室210、过滤罐1以及抽气机构3之间形成连通的流路，因此，至少存在一个过滤罐1处于过滤状态，使得在抽气机构3的抽吸作用下，长晶炉200的炉室210内的气体至少可以通过处于过滤状态的过滤罐1流向抽气机构3，即，将炉室210内的气体抽离，以保持炉室210内的真空状态，为晶体的生长提供稳定的生长环境以提升晶体的生长质量，此外，在气体流经过滤罐1时可以过滤炉室210排出的气体中的灰尘等杂质，从而可以避免炉室210内的气体中的灰尘等杂质直接进入抽气机构3内影响抽气机构3的可靠性。

在清洁状态，过滤罐1通过对应的进气开关阀22与长晶炉200截止、通过对应的排气开关阀23与抽气机构3截止、通过对应的吹气开关阀24与吹气机构4连通且通过对应的排尘开关阀25与排尘机构5连通。也就是说，在过滤罐1处于清洁状态时，吹气机构4、过滤罐1以及排尘机构5之间形成连通的流路，通过吹气机构4吹向过滤罐1内的气流可以将过滤罐1内的灰尘等杂质吹散吹落，通过排尘机构5可以集中回收灰尘等杂质，即通过吹气机构4与排尘机构5的配合，可以较好地实现对过滤罐1内的灰尘等杂质的清洁回收，以避免灰尘等杂质在过滤罐1内堆积影响过滤罐1的过滤效果。由此，可以避免灰尘等杂质在过滤罐1内堆积影响过滤罐1内的气体流动阻力，从而可以避免过滤罐1内的气体流动阻力增大导致的长晶炉200内压力波动，利于提升晶体在长晶炉200内的生长质量。同时，可以较好地减少频繁开启过滤罐1及人工清洁过滤罐1内的次数，减轻工人的劳动强度，提高晶体的生产效率。此外，过滤罐1内的清理无需人工介入，从而可以避免工作人员接触长晶炉200内产生的挥发性强、有毒有害的物质，以提升过滤罐1清理过程的安全性。

在切换状态，过滤罐1通过对应的进气开关阀22与长晶炉200截止、通过对应的排气开关阀23与抽气机构3截止、通过对应的吹气开关阀24与吹气机构4截止且通过对应的排尘开关阀25与排尘机构5截止，处于切换状态的过滤罐1与处于过滤状态的过滤罐1通过通断阀21连通。也就是说，过滤罐1在由清洁状态切换至过滤状态的过程中与长晶炉200的炉室210不连通，其中，处于过滤状态的过滤罐1内的压力处于设定的真空状态以保证长晶炉200内的真空状态，而由于过滤罐1在切换至清洁状态后吹气机构4向过滤罐1内吹气且过滤罐1内的气体可以通过排尘机构5排出，导致过滤罐1内的气压状态产生波动，如通过高压气体冲扫过滤罐1时将导致处于清洁状态的过滤罐1内的气压远高于过滤罐1处于过滤状态时设定的气压数值，因此，处于切换状态的过滤罐1通过通断阀21与处于过滤状态的过滤罐1，使得处于切换状态的过滤罐1内的气压可以逐渐恢复至与处于过滤状态的过滤罐1内的气压相同的数值，从而保证处于切换状态过滤罐1能够达到过滤工作的要求压力，正常执行过滤功能。

由此，通过吹气机构4与排尘机构5的配合可以实现对过滤罐1内过滤的杂质的自动清洁回收，可以避免过滤罐1内的气体流动阻力增大导致的长晶炉200内压力波动，通过多个过滤罐1中至少存在两个过滤罐1之间连接有通断阀21，使得过滤罐1在清洁后可以恢复至过滤状态要求的气压，利于保证过滤系统的过滤效果。

下面以过滤系统100包括两个过滤罐1为例说明过滤系统100的运行方式，每个过滤罐1内均设有滤芯6，两个过滤罐1分别为第一过滤罐1a和第二过滤罐1b。

其中，排气开关阀23为蝶阀，具体地，在长晶炉200的开始阶段，第一过滤罐1a和第二过滤罐1b均通过对应的进气开关阀22与长晶炉200连通且均通过对应的排气开关阀23与抽气机构3连通，且，与第一过滤罐1a连接的进气开关阀22以及与第二过滤罐1b连接的进气开关阀22的开度均为百分之五十，此时，第一过滤罐1a和第二过滤罐1b均处于过滤状态，通断阀21处于截止状态。在长晶炉200运行一段时间后，控制与第二过滤罐1b连接的排气开关阀23逐渐关闭，并控制与第一过滤罐1a连接的排气开关阀23逐渐打开即开度增大，在排气开关阀23完全闭合时控制与第二过滤罐1b连接的进气开关阀22截止，并控制与第二过滤罐1b连通吹气开关阀24以及排尘开关阀25导通，此时，第二过滤罐1b处于清洁状态，第一过滤罐1a保持在过滤状态，吹气机构4向第二过滤罐1b内多次吹气以吹扫第二过滤罐1b内的滤芯6上的灰尘等杂质，灰尘等杂质从滤芯6上掉落后通过排尘开关阀25进入排尘机构5内。

在第二过滤罐1b清洁完成后，控制与第二过滤罐1b连接的吹气开关阀24以及排尘开关阀25截止，并控制通断阀21导通，此时，第二过滤罐1b处于切换状态，第一过滤罐1a处于过滤状态，第二过滤罐1b通过通断阀21与第一过滤罐1a连通，在第二过滤罐1b内恢复至设定的压力数值后，通断阀21截止，控制与第二过滤罐1b连接的进气开关阀22导通，控制与第二过滤罐1b连接的排气开关阀23逐渐打开，并控制与第一过滤罐1a连接的排气开关阀23逐渐关闭，在与第一过滤罐1a连接的排气开关阀23完全闭合后时控制与第一过滤罐1a连接的进气开关阀22截止，并控制与第一过滤罐1a连接的吹气开关阀24和排尘开关阀25导通，此时，第二过滤罐1b处于过滤状态，第一过滤罐1a处于清洁状态，吹气机构4向第一过滤罐1a内多次吹气以吹扫第一过滤罐1a内的滤芯6上的灰尘等杂质，灰尘等杂质从滤芯6上掉落后通过排尘开关阀25进入排尘机构5内。

在第一过滤罐1a清洁完成后，控制与第一过滤罐1a连接的吹气开关阀24以及排尘开关阀25截止，并控制通断阀21导通，此时，第一过滤罐1a处于切换状态，第二过滤罐1b保持在过滤状态，第一过滤罐1a通过通断阀21与第二过滤罐1b连通，在第一过滤罐1a内恢复至设定的压力数值后，通断阀21截止，控制与第一过滤罐1a连接的进气开关阀22导通，控制与第二过滤罐1b连接的排气开关阀23逐渐关闭，并控制与第一过滤罐1a连接的排气开关阀23逐渐打开。重复上述第一过滤罐1a和第二过滤罐1b切换过程直至晶体生长完成。

根据本实用新型的一些实施例，通断阀21开启后，两个过滤罐1内达到的平衡压力为25Torr。其中，25Torr为长晶炉200内为满足晶体生长所需要的气压数值，因此，处于过滤状态的过滤罐1内的压力也为25Torr。由此，通过将结束清洁状态的过滤罐1内的气压平衡至25Torr，可以较好地防止过滤罐1清洁时吹气机构4吹气的气体影响长晶炉200内的气压。

根据本实用新型的一些实施例，至少两个过滤罐1之间均设有平衡压力管71，平衡压力管71的两端分别与两个过滤罐1连通，平衡压力管71内设有通断阀21。也就是说，两个过滤罐1之间均通过对应的平衡压力管71连通，通过通断阀21可以控制平衡压力管71的连通或截止，以实现对两个过滤罐1之间连通或截止的控制。

其中，平衡压力管71的内径范围为0.3至0.7mm。即，将连通两个过滤罐1的流路的内径控制在0.3mm至0.7mm的范围内。例如，平衡压力管71的内径可以为0.3mm、或0.35mm、或0.42mm、或0.51mm、或0.7mm等等，这里不做具体限制。其中可以理解的是，平衡压力管71的内径越小，平衡压力管71的阻力越大，两个过滤罐1之间的气体流动速度越慢；反之，平衡压力管71的内径越大，平衡压力管71的阻力越小，两个过滤罐1之间的气体流动速度越快。由此，可以较好地避免平衡压力管71的内径过小导致平衡压力管71的阻力过大影响过滤罐1内的气压恢复速度，同时，可以较好地避免平衡压力管71的内径过大导致处于清洁状态的过滤罐1内的气流进入处于过滤状态的过滤罐1内后产生较大的气压波动，即，通过将平衡压力管71的内径范围为0.3至0.7mm内，可以在保证处于清洁状态的过滤罐1内的气压恢复速度的同时防止对处于过滤状态的过滤罐1内的气压产生较大的波动。

进一步地，过滤系统100还包括排气支管73，排气支管73与过滤罐1的数量相同且一一对应，排气支管73的两端分别与过滤罐1以及抽气机构3连通，排气开关阀23设于排气支管73内，平衡压力管71的两端分别与两个过滤罐1对应的排气支管73连接，且平衡压力管71与排气支管73的连接位置位于排气支管73内的排气开关阀23的上游侧。这里的上游侧是相对于排气支管73内的气体流动方向，即过滤罐1内的气流通过排气支管73流向抽气机构3时，首先流经平衡压力管71与排气支管73的连接位置，而后流经排气开关阀23。

也就是说，平衡压力管71通过排气支管73与过滤罐1连通，因此，在通断阀21导通时，其中一个过滤罐1的气体通过平衡压力管71并不会进入另一个过滤罐1中，而是通过排气支管73直接被抽气机构3抽走，可以防止气体直接进入另一个过滤罐1中导致气压波动。

根据本实用新型的一些实施例，抽气机构3包括：真空泵31、抽气管道32和调节阀33，抽气管道32的两端分别连通过滤罐1以及真空泵31，调节阀33设于抽气管道32内，调节阀33用于调节抽气管道32内的流量。由此，通过调节阀33调整抽气管道32内的流量，可以实现对长晶炉200内压力的控制。如，抽气管道32内的流量越大，则抽气机构3通过过滤罐1抽吸长晶炉200内的气体越快，长晶炉200内的压力越小；反之，抽气管道32内的流量越小，则抽气机构3通过过滤罐1抽吸长晶炉200内的气体越慢，长晶炉200内的压力越大。其中，调节阀33为蝶阀，从而可以通过调整蝶阀的开度实现对抽气管道32内流量的控制，进而实现对长晶炉200内压力的控制。

根据本实用新型的一些实施例，在所有过滤罐1均处于过滤状态或部分过滤罐1处于过滤状态且另一部分过滤罐1处于清洁状态时，两个过滤罐1之间的通断阀21处于截止状态。也就是说，过滤罐1仅在处于切换状态时与处于过滤状态的过滤罐1通过通断阀21连通。由此，可以较好地避免多个处于过滤状态的过滤罐1之间产生气体流动扰乱气流场，同时可以避免处于过滤状态的过滤罐1与处于清洁状态的过滤罐1连通导致处于清洁状态的过滤罐1内的灰尘等杂质进入抽气机构3中，从而可以避免灰尘等杂质进入抽气机构3内影响抽气机构3的可靠性。

根据本实用新型的一些实施例，吹气机构4适于多次向处于清洁模式的过滤罐1内吹气。由此，可以较好地提升吹气机构4对过滤罐1内灰尘等杂质的冲扫效果，从而可以进一步防止过滤腔13内的灰尘等杂质影响过滤罐1的过滤效果。在一个具体示例中，过滤罐1内设有滤芯6，过滤罐1处于清洁模式时，吹气机构4多次朝向滤芯6吹气，以将滤芯6拦截的灰尘等杂质从滤芯6上吹落，可以较好地避免灰尘等杂质在滤芯6上过量堆积导致气流穿过滤芯6的阻力增大，从而可以防止滤芯6处的流动阻力增加造成长晶炉200内的气压波动，同时可以提升滤芯6的洁净度，以减少人工更换滤芯6的频率。

根据本实用新型的一些实施例，过滤罐1处于清洁模式时，吹气机构4向过滤罐1内吹气后，过滤罐1内的压力P满足：600Torr<P<650Torr。即，过滤罐1在吹气机构4吹气后的压力范围为600Torr至650Torr的范围内(不包含600Torr和650Torr)，例如，过滤罐1在吹气机构4吹气后的压力可以为601Torr、或605Torr、或610Torr、或625Torr、或658Torr等等，这里不做具体限制。其中可以理解的是，过滤罐1在吹气机构4吹气后的压力越大，则吹气机构4向过滤罐1内吹气的压力要求也就越大，对过滤罐1内的灰尘的冲击能力越强，过滤罐1与排尘机构5之间的压差也就越大；反之，过滤罐1在吹气机构4吹气后的压力越小，则吹气机构4向过滤罐1内吹气的压力要求也就越小，对过滤罐1内的灰尘的冲击能力越弱，过滤罐1与排尘机构5之间的压差也就越小。由此，可以较好地避免过滤罐1在吹气机构4吹气后的压力过大对吹气机构4的需求过高，同时可以避免过滤罐1在吹气机构4吹气后的压力过小对灰尘等杂质的冲击力度不足，同时利于保证过滤罐1与排尘机构5之间具有足够的压差可以助力过滤罐1内的灰尘等杂质排入排尘机构5内。

有的示例中，过滤罐1处于清洁模式时，吹气机构4适于多次向过滤罐1内吹气，吹气机构4向过滤罐1内吹气后，过滤罐1内的压力P满足：600Torr<P<650Torr。由此，利于提升吹气机构4对过滤罐1内的清洁力度。

根据本实用新型的一些实施例，吹气机构4包括：储气罐41、补气管道42和补气闸阀43，储气罐41具有补气口411和出气口412，出气口412与吹气开关阀24连接，补气管道42与补气口411连通，补气闸阀43设置于补气管道42中，补气闸阀43用于调节储气罐41内的储气量。也就是说，在吹气开关阀24导通时，储气罐41可以通过出气口412和吹气开关阀24向过滤罐1内注入高压气流，以通过高压气流吹向过滤罐1内如堆积在滤芯6上的灰尘等杂质，从而保证吹气机构4可以冲击灰尘等杂质脱离滤芯6，当储气罐41内的储气量不足时，可以通过打开补气闸阀43，使得补气管道42与补气口411连通异响储气罐41内补充气体，即，通过补气管道42可以保证储气罐41内的高压状态，以提升吹气机构4对过滤罐1内的清洁力度。

进一步地，吹气机构4还包括压力传感器44，压力传感器44与储气罐41连接，用于检测储气罐41内的压力。由此，通过压力传感器44可以及时、准确地获取储气罐41内的压力，以便于补气管道42和补气闸阀43可以根据储气罐41内的压力及时补充气体。

根据本实用新型的一些实施例，储气罐41内的压力不小于0.3MPa。即，储气罐41内的压力保持在大于等于0.3MPa范围内，当储气罐41内的压力低于0.3MPa时，补气管道42自动向储气罐41内补气直至储气罐41内的压力恢复至设定状态。由此，可以较好地保证吹气机构4向过滤罐1内吹气的强度，以提升吹气机构4对过滤罐1内灰尘等杂质的冲击力度，进而提升对过滤罐1的清洁效果。

根据本实用新型的一些实施例，过滤罐1上设有泄压阀8，泄压阀8用于调整过滤罐1内压力。由此，通过泄压阀8可以降低过滤罐1内的压力，从而可以避免过滤罐1内的压力过高对过滤罐1的冲击力过大，以保证过滤罐1的安全性。在一个具体示例中，过滤罐1包括可拆卸连接的罐体11和盖体12，罐体11与盖体12之间设有密封圈，罐体11与盖体12之间限定出过滤腔13，过滤腔13内设有滤芯6和压力传感器44，压力传感器44用于检测过滤腔13内的压力，泄压阀8在过滤腔13内的压力大于预设值后排出过滤腔13内的压力，以避免过滤腔13内的压力过高对密封圈和滤芯6产生过大冲击导致密封失效以及滤芯6破损。此外，在需要将盖体12从罐体11上拆下时，过滤腔13通过泄压阀8与外部连通，使得过滤腔13内的压力可以恢复至大气压强，便于将盖体12从罐体11上拆下。

根据本实用新型的一些实施例，过滤罐1的底部呈倒锥形，过滤罐1的下端形成有与排尘开关阀25连接的排尘口17。由此，当过滤罐1内的灰尘等杂质被吹散后，在重力作用下，灰尘等杂质可以沿着过滤罐1呈倒锥形的内壁朝向过滤罐1的底部汇集，并通过排尘口17和排尘开关阀25排入排尘机构5中。由此，可以较好地避免灰尘等杂质在过滤罐1内残留堆积，以提升对过滤罐1的清洁效果。

有的示例中，过滤罐1上设有泄压阀8，过滤罐1的底部呈倒锥形，过滤罐1的下端形成有与排尘开关阀25连接的排尘口17。由此，利于保证过滤罐1的安全性并提升对过滤罐1的清洁效果。

根据本实用新型的一些实施例，过滤罐1形成有过滤腔13，过滤腔13内设有滤芯6，过滤罐1包括：罐体11、盖体12和密封圈，盖体12可拆卸地设于罐体11，罐体11与盖体12共同限定出过滤腔13，密封圈设于罐体11与盖体12的连接处。也就是说，罐体11与盖体12可拆卸地连接，便于进行滤芯6的更换或者清洁，密封圈可以较好地填充罐体11与盖体12连接处的间隙，以提升过滤罐1的密封性能。

在一个具体示例中，过滤罐1内形成过滤腔13，过滤罐1的进气端包括与过滤腔13连通的进气口14和吹气口，过滤罐1的出气端包括与过滤腔13连通的排气口15和排尘口17，过滤腔13内设有滤芯6，滤芯6呈开口向上的桶状，进气口14位于滤芯6的外周侧且邻近滤芯6的底部，排尘口17形成于过滤腔13的下端，吹气口16和排气口15均位于滤芯6上方，吹气口16与滤芯6向上的开口正对设置，过滤系统100还包括进气支管72、排气支管73、吹气支管74、排尘支管75和平衡压力管71，进气支管72、排气支管73、吹气支管74和排尘支管75与过滤罐1的数量相同且一一对应。具体地，进气支管72的两端分别与长晶炉200的炉室210和进气口14连通，每个进气支管72内均设有用于控制进气支管72通断的进气开关阀22；排气支管73的两端分别与排气口15和抽气机构3连通，每个排气支管73内均设有用于控制排气支管73通断的排气开关阀23；吹气机构4位于过滤罐1上方，吹气支管74的上下两端分别与吹气口16和吹气机构4连通，每个吹气支管74内均设有用于控制吹气支管74通断的吹气开关阀24，吹气支管74包括竖直段和倾斜段，竖直段沿上下方向呈直条形延伸，竖直段的下端与吹气口16连通，倾斜段的下端与竖直段的上端连通，在由下向上的方向上，多个过滤罐1对应的倾斜段朝向互相靠近的方向倾斜延伸，利于降低气体在吹气支管74内的流动阻力；排尘支管75的两端分别与排尘口17和排尘机构5连通，每个排气支管73内均设有用于控制排气支管73通断的排尘开关阀25；平衡压力管71的两端分别与两个过滤罐1内的过滤腔13连通，平衡压力管71内设有用于控制平衡压力管71通断的通断阀21。

下面参考附图描述根据本实用新型实施例的晶体生长装置1000。

根据本实用新型实施例的晶体生长装置1000，包括：长晶炉200和过滤系统100，长晶炉200内形成有炉室210，过滤罐1的进气端适于与炉室210连通。

根据本实用新型实施例的晶体生长装置1000，可以通过控制多个过滤罐1对应的进气开关阀22、排气开关阀23、吹气开关阀24以及排尘开关阀25的通断，实现部分过滤罐1通过吹气机构4和排尘结构5的清洁的同时，其余的部分过滤罐1可以保持在连通长晶炉200与抽气机构3连通的状态以保证长晶炉200内的真空状态，从而可以避免因清洁过滤罐1导致的长晶炉200停机，利于保证晶体生长的连续性。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种过滤系统，用于长晶炉，其特征在于，包括：

过滤罐，所述过滤罐设有多个，多个所述过滤罐中至少存在两个所述过滤罐之间连接有通断阀，每个所述过滤罐的进气端均与长晶炉连接，且每个所述过滤罐和所述长晶炉之间分别设置有一个进气开关阀；

抽气机构，所述抽气机构与每个所述过滤罐的出气端均连接，所述抽气机构与每个所述过滤罐之间分别设有一个排气开关阀；

吹气机构，所述吹气机构与每个所述过滤罐的进气端均连接，且所述吹气机构与每个所述过滤罐之间分别设有一个吹气开关阀；

排尘机构，所述排尘机构与每个所述过滤罐的出气端均连接，且所述排尘机构与每个所述过滤罐之间分别设有一个排尘开关阀。

2.根据权利要求1所述的过滤系统，其特征在于，所述通断阀开启后，两个所述过滤罐内达到的平衡压力为25Torr。

3.根据权利要求1所述的过滤系统，其特征在于，至少两个所述过滤罐之间设有平衡压力管，所述平衡压力管的两端分别与两个所述过滤罐连通，所述平衡压力管内设有所述通断阀，所述平衡压力管的内径范围为0.3至0.7mm。

4.根据权利要求3所述的过滤系统，其特征在于，还包括排气支管，所述排气支管与所述过滤罐的数量相同且一一对应，所述排气支管的两端分别与所述过滤罐以及所述抽气机构连通，所述排气开关阀设于所述排气支管内，所述平衡压力管的两端分别与两个所述过滤罐对应的排气支管连接，且所述平衡压力管与所述排气支管的连接位置位于所述排气支管内的所述排气开关阀的上游侧。

5.根据权利要求1所述的过滤系统，其特征在于，所述抽气机构包括：

真空泵；

抽气管道，所述抽气管道的两端分别连通所述过滤罐以及所述真空泵；

调节阀，所述调节阀设于所述抽气管道内，所述调节阀用于调节所述抽气管道内的流量。

6.根据权利要求1所述的过滤系统，其特征在于，所述吹气机构包括：

储气罐，所述储气罐具有补气口和出气口，所述出气口与所述吹气开关阀连接；

补气管道，所述补气管道与所述补气口连通；

补气闸阀，所述补气闸阀设置于所述补气管道中，所述补气闸阀用于调节所述储气罐内的储气量。

7.根据权利要求6所述的过滤系统，其特征在于，所述吹气机构还包括：

压力传感器，所述压力传感器与所述储气罐连接，用于检测所述储气罐内的压力。

8.根据权利要求1所述的过滤系统，其特征在于，所述过滤罐上设有泄压阀，所述泄压阀用于调整所述过滤罐内压力；和/或，所述过滤罐的底部呈倒锥形，所述过滤罐的下端形成有与所述排尘开关阀连接的排尘口。

9.根据权利要求1所述的过滤系统，其特征在于，所述过滤罐形成有过滤腔，所述过滤腔内设有滤芯，所述过滤罐包括：

罐体；

盖体，所述盖体可拆卸地设于所述罐体，所述罐体与所述盖体共同限定出所述过滤腔；

密封圈，所述密封圈设于所述罐体与所述盖体的连接处。

10.一种晶体生长装置，其特征在于，包括：

长晶炉，所述长晶炉内形成有炉室；

根据权利要求1-9中任一项所述的过滤系统，所述过滤罐的进气端适于与所述炉室连通。